Способ измерения шероховатости поверхности изделия

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности, а также информативности способа за счет определения интервала корреляции высот микронеровностей. Поверхность изделия 9 освещают пучком излучения. Затем предварительно формируют дифракционный угловой спектр когерентного излучения освещающего пучка, регистрируют угловое распределение интенсивности в этом спектре, определяют дисперсию S<SB POS="POST">I</SB> углового распределения интенсивности освещающего пучка излучения, формируют дифракционный угловой спектр когерентного излучения, отраженного от поверхности изделия 9, регистрируют угловое распределение интенсивности рассеянного излучения, определяют коэффициент T зеркального отражения и дисперсию S<SB POS="POST">S</SB> углового распределения интенсивности рассеяного излучения, по которым судят о среднеквадратической высоте микронеровностей и интервале ρ корреляции высот микронеровностей, причем последний определяют из условия ρ = √-T LN T/(S<SB POS="POST">S</SB>-S<SB POS="POST">I</SB>). 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК щ)5 G 01 В 11/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

). 1 ил.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4423290/25-28 (22) 12.05.88 (46) 07.05 ° 90..Бюл. N - 17 (71 ) Киевский политехнический институт им.50-летия Великой Октябрьской социалистической революции (72) В.А.Остафьев, С.П,Сахно и Г,С.Тымчик (53) 531.715.27 (088.8) (56) Патент США М 4017188, кл. 356-120, 1976. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ

ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения повышение точности, а также информативности способа за счет определения интервала корреляции высот микронеровностей. Поверхность изделия 9 освещают пучком излучения. Затем пред„„SU„„1562692 A 1 варительно формируют дифракционный угловой спектр когерентного излучения освещающего пучка, регистрируют угловое распределение интенсивности в этом спектре, определяют дисперсию

S углового распределения интенсив-! ности освещающего пучка излучения, формируют дифракционный угловой спектр когерентноГо излучения, отраженного от поверхности изделия 9, регистрируют угловое распределение интенсивности рассеянного излучения, определяют коэффициент t зеркального отражения и дисперсию S 5 углового распределения интенсивности рассеянного излучения, по KoT îðûì судят о среднеквадратической высоте микронеровностей и интервале корреляции высот микронеровностей, причем последний определяют из условия

1562692

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для измерения шероховатости поверхности изделия при металлообработке.

Цель изобретения — повышение точности измерения, а также информативности способа за счет определения интервала корреляции высот микронеров- 10 ностей.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего предлагаемый способ измерения шерохо, ватости поверхности изделия. 15

Устройство содержит источник I когерентного излучения, например лазер, фокусируюцую осветительную оптическую систему 2, расположенную по ходу излучения, приемную оптическую 20 систему 3, расположенную по ходу отI раженного от контролируемой поверхности излучения, Фурье-объектив 4, в задней плоскости фокусировки кото, рого установлен приемник 5 изображе- 25 ния, выход которого подключен к входу аналого-цифрового преобразователя

6, блок 7 ввода цифровых сигналов и микропроцессор 8.

Способ осуществляется следующим 3р образом.

Предварительно с помощью источника

1 когерентного излучения, фокусирующей осветительной оптической системы

2, приемной оптической системы 3 и

Фчрье-объектива 4 в задней плоскости фокусировки последнего формируют угловой дифракцнонный спектр освещающего пучка излучения. При этом вместо контролируемой поверхности 9 помещают зеркаль-,р но-. гладкую отражающую поверхность (не показана).

Распределение интенсивности излучения в дифракционном спектре освещающего пучка,, сформированным указанным выше образом, регистрируют при помощи приемника 5 изображения, выходной видеосигнал которого подают на аналоговый вход аналого-цифрового преобразователя 6 Цифровые коды„ со- 50 ответствующие значениям интенсивности на фотоэлементах приемника 5 изобра жения с цифрового выхода аналого-цифрового преобразователя 6, передают через блок 7 ввода цифровых сигналов в оперативное запоминающее устройство микропроцессора 8, где формируют массив чисел и выполняют программную цифровую обработку этого массива. Обработка заключается в том, что значения массива нормируют на величину полной интенсивности, равную сумме всех значений элементов массива, и определяют дисперсию S. углового рас1 пределения интенсивности дифракционного спектра освещающего пучка. Затем с..помощью источника 1 когерентного излучения и фокусирующей осветительной оптической системы 2 освещают контролируемую поверхность 9 пучком когерентного излучения, при помощи оптической системы 3 и Фурье-объектива 4 формируют угловой дифракционный спектр излучения, отраженного от контролируемой поверхности 9, и выполняют последовательность ранее указанных действий за исключением определения дисперсии S. углового распреде1 ления интенсивности дифракционного спектра освещающего пучка, определенной предварительно. Таким образом, формируют дифракционный угловой спектр когерентного излучения освещающего пучка, регистрируют угловое распределение интенсивности в этом спектре, определяют дисперсию S, углового рас1 пределения интенсивности освещающего пучка излучения, формируют дифракционный угловой спектр когерентного излучения, отраженного от поверхнос я

9 изделия, регистрируют угловое распределение интенсивности рассеянного излучения, определяют коэффициент t зеркального отражения и дисперсию S„ углового распределения интенсивности рассеянного излучения, по которым судят о среднеквадратической высоте

b микронеровностей и интервале о корреляции высот микронеровностей, причем последний определяют из условия, где у — интервал корреляции высот микронеровностей.

Формула и з обретения

Способ измерения шероховатости поверхности изделия, заключающийся в том, что осьещают поверхность изделия пучком излучения, измеряют интенсивность излучения, отраженного от поверхности изделия, н судят о среднеквадратической высоте микронеровностей поверхности изделия, о т л ичающий с я тем, что, с целью

1562692

Составитель Л.Лобзова

Редактор Г. Гербер Техред Л.Олийнык Корректор Т.Малец

Заказ 1054 Тираж 490 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 повышения точности измерения, а также информативности способа за счет определения интервала корреляции высот микронеровностей, формируют дифракционный угловой спектр когерентного излучения освещающего пучка, регистрируют угловое распределение интенсивности в этом спектре, определяют дисперсию S. углового распределения

1 интенсивности освещающего пучка излучения, формируют дифракционный угловой спектр когерентного излучения, отраженного от поверхности иэделия, регистрируют угловое распределение интенсивности рассеянного излучения, определяют коэффициент t зеркального отражения и дисперсию S> углового

5 распределения интенсивности рассеянного пучка излучения, которые учитывают при определении среднеквадратической высоты микронеровностей поверхности изделия, а интервал Р корреляции высот микронеровностей определяют из выражения