Способ испытания на герметичность изделий

 

Изобретение касается контроля герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить точность путем корреляции чувствительности системы при контроле изделий сложной конфигурации. Измеряют максимальную концентрацию пробного газа в вакуумной камере с изделием при поочередной подаче в нее порции пробного газа и потока его контрольной течи. По измеренным значениям определяют значения чувствительности S<SB POS="POST">п</SB> и S<SB POS="POST">кт</SB> и величину измеренной суммарной утечки из изделия корректируют на коэффициент K = S<SB POS="POST">п</SB>/S<SB POS="POST">кт</SB>. 2 ил.

союэ сОВетсних

СОЦИАЛИСтичЕсних

РЕСПУБЛИН (51)5 G 01 M 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

IlQ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPbfTHRM пРи Гннт сссР

1 (21) 4448947/25-28 (22) 27. Об. 88 (46) 23.03.90.„Бюл. Р 11 (72) Б.В. Иванов, Л.В. Липняк и В.И. Тройников (53) 620. 165.29(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1357737, кл. С 01 М 3/02, 1987, (54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ

ИЗДКЛИЙ (57) Изобретение касается контроля герметичности изделий масс-спектромет-!

Изобретение относится к области .контроля герметичности изделий массспектрометрическим методом.

Цель изобретения — повышение точности путем корреляции порции пробного газа и потока пробного!газа от контрольной течи при оценке чувствительности системы испытания.

На фиг. 1 приведена схема испытания изделия способом накопления при .. . атмосферном давлении; на фиг. 2— график изменения регистрируемых параметров во времени.

Устройство дпя контроля герметичности содержит камеру 1 с размещенным в ней изделием 2 с теплоизоляцией 3, соединенным с трубопроводом 4 для подачи в него контрольного газа. В камере 1 размещена контрольная течь 5, соединенная с трубопроводом 6 для подачи пробного газа. Вентилятор 7 с помощью трубопроводов 8 и 9 соеди-. нен с камерой 1. С трубопроводом 8

„„SU„„1552027 А1

2 рическим методом и позволяет повысить точность путем корреляции чувствительности системы при контроле изделий сложной конфигурации. Измеряют максимальную концентрацию пробного газа в вакуумной камере с изделием при по-. очередной подаче в нее порции пробного газа и потока его контрольной течи.

По измеренным значениям определяют значения чувствительности Sä и Бк„и величину измеренной суммарной утечки из изделия корректируют на коэффициент К =, S„/S « 2 ил. соединены анализатор 10 и баллон 11 с пробным газом.

Способ контроля герметичности из- С, делий осуществляется следующим образом.

После включения вентилятора 7 иэ баллона 11 в камеру 1 подают порцио Cjl пробного газа. При этом на анализато- (,Д ре 10 наблюдается резкое увеличение 1 выходного сигнала (фиг. 2, участок 1), 1 ) пропорциональное концентрации проб- ф ного газа в системе. Конец участка 1 (фиг. 2) характеризуется максимумом сигнала, который при герметичности системы должен иметь плато с ординатой Б„. В реальной системе этого не происходит иэ-за потерь, которые выражаются в спаде сигнала на участке 2 (фиг. 2). Длительность участка 1 со- 3 ставляет до 17 от длительности на участке 2 (фиг. 2), поэтому потерей пробного rasa на участке 1 (фиг.2) можно пренебречь. Затем по трубопроводу 6 подают пробный газ в контрольную

1552027 течь 5, при этом длительность экспозиции контрольной течи 5 выбирают та кой, что количество газа, прошедшее ва время экспозиции через контрольную

Фечь 5, оказывается равным ранее по-. данной порции пробного rasa. При герметичной камере 1 беэ изделия в конце времени накопления (фиг. 1, участок 3), максимальная величина сигнала от конт-1р вольной течи 5 должна соответствовать максимальной величине S сигнала от порции пробного газа. Ввиду того, что

Камера 1 не абсолютно герметична и размещенное в ней изделие содержит лементы конструкции с сорбирующими поверхностями, этого не происходит. актическое увеличение сигнала от ,онтрольной течи происходит под углом

, к оси абсцисс и соответствует ве- 2р ине S сигнала меньшей максимальой величины.

После закрытия контрольной течи 5 цроисходит снижение уровня сигнала

1 фиг. 2, участок 4). Затем после по- 25 ачи по трубопроводу 4 пробного газа изделие 2 сигнал от реальной течи безделия 2 увеличивается под углом оси абсцисс (фиг. 2, участок 5) °

1 оэтому при определении величины реальной течи изделия вводится коэффиент коррекции, определяемый соотноением чувствительностей системы от

Порции пробного газа и потока пробного газа от контрольной течи и характериэующий потерю пробного газа в камере 1.

Предлагаемое техническое решение позволяет повысить точность определения негерметичности на 30-50Х.

Формула иэо бре тения

Способ испытания на герметичность иэделий, заключающийся в том, что помещают испытуемое изделие в камеру, подают в нее калиброванный поток пробного газа, измеряют концентрацию пробного газа в камере, определяют по ней чувствительность системы контроля, saполняют изделие пробным газом, измеряют концентрацию пробного газа в камере и по ней с учетом чувствительности системы контроля определяют негерметичность иэделия, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности, в отсутствие калибровочного потока пробного газа подают порцию пробного газа в камеру, измеряют в ней максимальную концентрацию пробного газа, определяют по ней чувствительности системы контроля, в качестве измеряемой концентрации при подаче калиброванного потока также используют максимальное значение и при Ofl ределении негерметичности учитывают соотношение чувствительностей от калиброванного потока и порции пробного газа.

1552027

Фи@.2

Корректор М. МаксиМишинец

Редактор А. Шандор

Подписное

Тираж 443

Заказ 323

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Составитель В. Черноусов

Техред А, Кравчук