Устройство для селекции дефектов фотошаблонов

 

Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и является усовершенствованием известного устройства по авт.св.N1120376. Цель дополнительного изобретения - повышение точности устройства за счет возможности дополнительно обнаруживать дефекты фотошаблонов в виде узких царапин. Поставленная цель достигается введением в устройство третьего и четвертого формирователей сигналов, первого и второго элементов ИЛИ, элемента И-НЕ и четвертого элемента И. 7 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 с 06 K 9/36

- f.- Æ:IÇÍÀ

ПАй.!;Тс! ; i.":r.:û×

Б -:.БЛИС 2

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (61) 1120376 (21) 4409722/24-24 (22) 26.01.88 (46) 07.02.90. Бюл. У 5 (72) А.Ф.Гнидченко (53) 68!.327.12 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР 1120376, кл. с 06 K 9/36, 1983. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ДЕФЕКТОВ

ФОТОШАБЛОНОВ (57) Изобретение относится к автоматиИзобретение относится к автоматике и вычислительной технике, может быть использовано, например, для контроля фотошаблонов и является усовершенствованием известного устройства по авт. св. Р" 1120376.

Целью изобретения является повышение точности устройства.

На фиг.1 представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг,2 .фрагмент исследуемого обьекта (а,б) и диаграммы, поясняющие работу .уст" ройства (в); на Фиг.3 - принцип формирования выходных сигналов второго формирователя сигналов; на фиг,4-7дефекты фотошаблонов. !

Устройство содержит блок 1 сканирования, первый 2 и второй 3 компараторы, сумматор 4, первый 5 и второй

6 формирователи сигналов, первый 7 и второй 8 элементы ИЛИ-НЕ, первый 9, второй 10 и третий 11 элементы И, группы 12 и 13 элементов И, входы 14 и 15 компараторов, третий 16 и чет,.SU„„541638 А 2

2 ке и вычислительной технике и является усовершенствованием -известного устройства по авт. св. Y 1120376. Цель дополнительного изобретения - повышение точности устройства за счет возможности дополнительно обнаруживать дефекты фотошаблонов в виде узких царапин.

Поставленная цель достигается введейием в устройство третьего и четвертого формирователей сигналов, первого и второго .элементов ИЛИ, элемента И-HE и четвертого элемента И. 7 ил. вертый 17 формирователи сигналов, первый 18 и второй 19 элементы ИЛИ, элемент И-НЕ 20, четвертый элемент С., И 21, выходы 22-25 устройства.

Устройство работает следующим образом.

Видеосигнал, поступающий с выхода блока 1 сканирования, подается на 4ь первые входы компараторов 2 и 3, с помощью которых квантуется по амплитуде на два уровня (уровни соответствуют логическому "0" и "1") путем сравнения с пороговыми уровнями напряжений, соответствующими эталонному уровню белого по входу 14 (фиг.2в, B,) и эталонному уровню черного по входу 15 (Фиг.2а, B<) которые подают" ся на вторые входы компараторов 2 и 3. Таким образом, на выходе первого р компаратора 2 формируется первыи опорный сигнал, а на выходе второго компаратора 3 — второй опорный сигнал (W,(i,j); Wz(i,j) на фиг.2а,в). С выходов компараторов 2 и 3 опорные сигз 15416 налы поступают на входы сумматора 4.

B результате сложения на выходе сум" матора 4 формируется сигнал суммы (G(i,j) йа Фиг.2б,в).

С выхода сумматора 4 сигнал суммы одается на формирователь 5 сигналов (блок электронного окна), с которого снимаются сигналы, соответствующие функциям яркости данного элемента ок- 10 на. Первая группа сигналов, соответствующая элементам Х,-Х +(фиг.3), по" дается на формирователь 6, на выходе старого появляется сигнал, если растояние между объектами или размер амого объекта меньше минимально до" пустимого. Вторая группа сигналов, оответствующая элементам окна Y, — У (фиг.3), подается на входы первого лемента И 9 и на входы первого элемента ИЛИ-НЕ 7. Сигнал с выхода формирователя .6 подается на один вход лемента И 10, на другой вход которого подается сигнал с выхода элемента

ИЛИ-НЕ 7. На выходе элемента И 10 сигнал появляется в том случае, если расстояние между участками серого меньше минимально допустимого (фиг.4).

Первая группа сигналов, соответст"

Ьующая элементам абсциссы (фиг.3), Подается также.на элементы И 11 и

ИЛИ-НЕ 8, с выхода последнего подаетСя на первый вход элемента И группы

12. На второй вход данного элемента И подается сигнал с выхода элемента И 9 °

На выходе элемента И группы t2 сигнал

Появляется в случае наличия дефекта

Типа вкрапления (фиг.5 и 26), Сигнал выхода элемента И 11 подается на первый вход другого элемента И группы 13, на второй вход которого пода тся сИгнал с выхода элемента И 9.

Иа выходе элемента И группы 13 сигнал появляется в слуЧае наличия дефекта

Оптической плотности фотошаблона (фиг.6 и 26), т,е. когда ширина учаСтка серого больше допустимой величины.

Опорные сигналы W,(i, j); W (i, j) (фиг.2в) с выходов компараторов 2 и 3 поступают также на входы третьего и четвертого Формирователей 16 и 17 сигналов (блоки электронного окна), с которых снимаются сигналы Х „-X «

1 1 и X -Х, соответствующие функциям яркостй данного элемента окна. Распо-5 ложение выходов элементов Х1-Х +и

1» 1

Х

Х,-Х Формирователей 16 и 17 сигналов соответствует расположению выходов элементов У,-Х,+Формирователя 5 сигналов (фиг.3). Группа сигналов Х -Х . подается на вход элемента ИЛИ 18, на выходе которого появляется сигнал, если хотя бы один элемент окна Х,-Х, . принадлежит светлому участку Фотошаблона. Группа сигналов Х, -Х.,подается на вход элемента ИЛИ 19, на выходе которого появляется сигнал, если хотя бы один элемент окна Х,-Х принадлежит черному участку контролируемого

Фотошаблона. Одновременное наличие сигналов на выходах элементов ИЛИ 18 и 19 свидетельствует о наличии зоны перехода из белого в черное .(из черного в белое).

Сигналы с выходов элементов ИЛИ

18 и 19 подаются на входы элемента

И-НЕ 20, с выхода которого сигнал поступает на первый вход элемента И 21, На второй вход элемента И 21 подается сигнал с выхода второго формирователя

6 сигналов. Таким образом, на выходе элемента И 21 появляется сигнал, если ширина участка серого меньше допустимой величины .и отсутствует переход из белого в черное (из черного в белое), т.е. в случае наличия на фотошаблоне узкой царапины (фиг.7 и 26).

Введение предлагаемых узлов и эле-. ментов позволяет повысить точность устройства .за счет. возможности допол» нительно обнаруживать дефекты фото" шаблонов в виде узких царапин.

Формула изобретения

Устройство для селекции дефектов

Фотошаблонов по авт. св. М 112037б, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности устройства, оно содержит третий и четвертый Фор" мирователи сигналов, элемент И-НЕ, четвертый элемент И, первый и второй элементы ИЛИ, причем входы третьего и четвертого формирователей сигналов подключены соответственно к выходам первого и второго компараторов, выходы третьего и четвертого формирователей сигналов подключены соответствен" но к входам первого и второго элементов ИЛИ, выходы которых подключены к входам элемента И-НЕ, выход которого подключен к входу четвертого weмента И, другой вход которого подключен к выходу второго формирователя сигналов, а выход является выходом устройства.

1541638

1541638

Составитель А.Баранов

Редактор О.йрковецкая Техред Л.Олийнык Корректор М.Куцерявая

» « « » «««««««««е»

Заказ 283 Тираж 559 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.„ д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г»Ужгород, ул.Гагарина, 191