Диффузионный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет увеличить быстроту откачки. Насос содержит корпус 1, частично заполненный жидкостью 2, размещенный в нем паропровод 3 с соплом 4, нагреватель 5 и источник 6 напряжения, подключенный электродом 7 к корпусу 1. Насос снабжен кольцом 8, расположенным между корпусом 1 и паропроводом 3, причем оси симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии. Паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой, а электрод 10 источника 6 подключен к соплу 4. Такое размещение кольца 8 против образующих сопла 4 способствует переводу сверхзвукового потока паров рабочей жидкости в звуковой, обладающий большим коэффициентом эжекции, и расслаивает поток, увеличивая его площадь, что также увеличивает эжекцию откачиваемого газа. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

r !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

0m атначиВаанио сьена

13

3 качГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4421897/25-29 (22) 29.03.88 (46) 30.11.89. Бюл. № 44 (7! ) Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (72) Л. Н. Орликов (53) 621.517.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1270427, кл. F 04 F 9/06, 1984. (54) ДИФФУЗИОННЪ|Й НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет увеличить быстроту откачки. Насос содержит корпус 1, частично заполненный жидкостью 2, размещенный в нем паропровод 3 с соплом 4, нагреватель 5 и

„„SU„„1525343 А 1

©11 4 F О4 Г 9/ОО источник 6 напряжения, подключенный электродом 7 к корпусу I. Насос снабжен кольцом 8, расположенным между корпусом 1 и паропроводом 3, причем оси симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии. Паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой, а электрод 10 источника 6 подключен к соплу 4. Такое размещение кольца 8 против образующих сопла 4 способствует переводу сверхзвукового потока паров рабочей жидкости в звуковой, обладающий большим коэффициентом эжекции, и расслаивает поток, увеличивая его площадь, что также увеличивает эжекцию откачиваемого газа.

1 ил.

152534

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в диффузионных вакуумных насосах.

Целью изобретения является увеличение быстроты откачки.

На чертеже изображен диффузионный насос, продольный разрез.

Диффузионный насос содержит корпус 1, частично заполненный жидкостью 2, размещенные в нем по оси паропровод 3 с 10 соплом 4, нагреватель 5 и источник 6 напряжения, подключенный электродом 7 к корпусу 1, причем насос снабжен кольцом 8, размещенным между корпусом 1 и паропроводом 3, причем осн симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии, паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой 9, а электрод !О источника 6 напряжения подключен к соплу 4.

Насос содержит также входной патру - 2ц бок 11, выходной патрубок !2 и рубашку 13 охлаждения.

Диффузионный насос работает следующим образом.

После предварительной откачки форвакуумным насосом (не показан) включается нагреватель 5. Жидкость 2 доводится до кипения. Давление паров жидкости 2 в сопле 4 в несколько раз больше, чем давление газа внутри насоса. Пары жидкости 2 истекают из сопл 4 в виде сверхзвуковой струи.

На пути потока пара установлено кольцо 8, толщиной не более критического сечения сопла, струя расслаивается, ее площадь возрастает, а скорость становится дозвуковой.

Увеличение площади струи способствует

4 повышению коэффициента эжекции и.увеличению быстроты откачки. Приложение потенциала позволяет создать дополнительное движение паров жидкости 2 на стенку корпуса l. Это поддерживает скорость струи на уровне, близком к звуковой, и предотвращает обратную диффузию паров в откачиваемый объем. Величина потенциала выбирается такой, чтобы не происходило полимеризации рабочей жидкости. Откачиваемый гаэ, проходя через входной патрубок 11, диффундирует в струю пара. Пар, попадая на охлаждаемые стенки корпуса 1, конденсируется, стекает в нижнюю часть корпуса 1, а откачиваемый газ удаляется в выходной патрубок 12.

И спол ьзо ва н не и зобрете ни я позволяет существенно повысить быстроту откачки насоса за счет увеличения коэффициента эжекции вследствие увеличения площади струи пара жидкости 2.

Формула изобретения

Диффузионный насос, содержащий корпус, частично заполненный жидкостью, размещенные в нем по оси паропровод с соплом, нагреватель и источник напряжения, подключенный одним электродом к корпусу, отличающийся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки, насос снабжен кольцом, размещенным между корпусом и паропроводом, причем оси симметрии профилей кольца и сопла в продольном сечении размещены на одной линии, паропровод в верхней части снабжен диэлектрической вставкой, а другой электрод источника напряжения подключен к соплу. (. < и (;) и и (с.т! 1... S l () « I (i t I

1 с.(tt 1<)() М ()(:)i,l«() < 1< «()<.(1(Б< ()« К<)ррсл.ор О. h();t()t(<») ) 3;tt,t» 1!(!("Т l l ); I

1 (30;35, Москва, Ж 35, Раун(ская наб., д 4)5 (lроиаводствснно-и((датвльский t <)«1()t(t((I «1(атс нт», I Ужгород, «ë. Гагарина, l () I