Устройство для контроля шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к приборам, предназначенным для исследования и контроля шероховатости поверхности по методу темного поля. Цель изобретения - уменьшение габаритов устройства за счет исключения из конструкции световода большой длины и диафрагм (зон нечувствительности). Устройство содержит точечный монохроматический источник 1 излучения, установленный в отверстии фотоприемника 2, подключенного к регистратору 3. На чувствительную площадку фотоприемника 2 нанесено интерференционное покрытие 4 переменной толщины, определяемой из условия максимального отражения зеркальной составляющей лучистого потока. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

С 01 В 1)/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4376519/25-28 (22) 12.02.88 (46) 30.10.89. Вюл. )) 40 (7) ) Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической револ ации (72) И. С.))ельник, Л.А.Г .ихеенко, И.В.Соботюк tt Е.В.Лазаренко (53) 53) .7)5. ) (088 8) (56) Лвторское свиде телт ство СССР

)г 1374045,кл. С Ol В ) )/30, 28,04.86. (54) УСТРОЙСТВО,ПЛЯ ЕО))ТРОЛЯ ШЕРОХО—

ВАТОСТИ ПОВЕРХ))ОСТИ (57) Изобретение относится к измеригельной технике, в частности к при орам, предназначенным для исследоваÄ SUÄÄ 15))8670 А1 ния и контроля шероховатости понерх— ности по методу темного поля. Цель изобретения — уменьшение габаритов устройства за счет исключения иэ конструк цпи световода большой длины и диафрагм (зон нечувствительности) .

Устройство содержит точечный монохроматический источник 1 излучения, ус— тановленный в отверстии фотоприемника 2, подключенного к регистратору 3.

На чувствительную площадку фотоприемника 2 нанесено интерфсренционное покрытие 4 переменной толщины, определяемой из условия максимального отражения зеркальной составляющей лучис— того потока. 3 ил.

1518670

h (х) где п

40

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к приборам, предназначенным для исследования и контроля шероховатости поверхности по методу темного поля.

Цель изобретения — улучшение ra1 баритон устройства sa счет исключения иэ конструкции снетонода большой длины и диафрагм (зон нечувствительности).

На фиг.1 показана принципиальная схема устройства; на фиг.2 и 3 — ход лучей в покрытии при выделении рассеянной составляющей отраженного от контролируемой поверхности потока из— лучения °

Устройство состоит из монохроматического точечного источника 1 излучения, установленного н отверстии чувствительной площадки фотоприемника 2, подключенного к регистратору 3. На чувствительную площадку нанесено интерференционное покрытие 4 переменной толщины, определяемой по формуле показ атель преломления пле— ночного покрытия; длина волны излучения; толщина покрытия;

1, 2, 3 — .. — целое число", расстояние от центра отверстия фотоприемника до точки падения луча.

Источник 1 излучения, фотоприемник 2 и электрические вын оды к ним установлены в корпусе 5. Устройство удалено от контролируемой поверхности 6 на заданное расстояние 1.

Устройство работает следующим образ ом.

От источника 1 излучение падает на контролируемую поверхность б, отражается от нее и попадает на интерференционное покрытие 4. При этом отраженный поток содержит две составляющие: зеркальную, интенсивностью

I попадающую на фотоприемник 2 под

Э углом падения g и рассеянную, интенсивностью I которая попадает на фотоприемник 2 под углами, отличными от 8

Если в точке, удаленной от центра отверстия фотоприемника 2 на расстояние х, толщина пленки будет такоц, что оптическая разность хода между интерферирующими лучами а и Ь кратная длине волны, то попадающая н эту точку под углом 8 зеркальная составляющая будет максимально усилена при отражении и не проходит через пленку. В то же нремя рассеянная составляющая (лучи е, f),ïîïàäàþщая в эту же точку от других участков контролируемой поверхности 6, имеет углы падения, отличные от 0 . Вследствие этого интерферирующие на грани1 If II це покрытия лучи е, е и f, f имеют разность фаз, не кратную ф, н рассеянная составляющая (лучи е, f ) поступает на чунствительную площадку фотоприемника 2. По величине электрического сигнала фотоприемника 2, пропорционального рассеянной составляющей, в регистратора 3 оценивается ше1 рохонатость контролируемой поверхности 6. !

В качестве источника 1 излучения

E устройстве могут быть использованы бескорпусные полупроводниковые светодиоды 1 например, арсенид-галлиеные типа ЛЛ 109), отличающиеся узким спектром излучен я, фотоприемником 2 могут служить чувствительные площадки фотодиодон на основе кремния, onecrre вливающие хорошее согласование по спектру с арсенид-галлиевыми светодиодами.

Формула изобретения

Устройство для контроля шероховатости поверхности, содержащее источник излучения, фотоприемник с отверстием, в котором установлен источник излучения, и регистратор, подключенный к фотоприемнику, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения габаритов устройства, на чувствительную площадку фотоприемника нанесено интерференционное покрытие переменной толщины, определяемой из условия максимального отражения зеркальной составляющей потока излучения.

1518670 е

Составитель Л.Лобзова

Техред Л. Сердюкова Корректор . К рав иова

Редактор И.Касарда

Заказ 6597/46 Тираж 683 Подписное

ВНИИ1П1 Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГК!1Т ССС!

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101