Способ измерения поверхностной плотности покрытия
Изобретение относится к измерительной технике, к средствам контроля толщины и плотности покрытий с использованием ионизирующих излучений. Цель изобретения - повышение точности измерения на подложках с переменным составом путем автоматической коррекции результатов контроля по интенсивности прошедшего через подложку излучения источника. Выходящее из изделия излучение регистрируется детектором, подключенным к устройству амплитудной селекции. Сопоставляя интенсивности излучений флуоресценции покрытия и излучение источника, ослабленного в подложке, получают коэффициент, являющийся мерой величины поверхностной плотности покрытия. 1 ил.
СОЮЗ COBETCHHX
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (111 (511 4 С 01 В 15/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
1 (21) 4395657/24-28 (22) 18.02.88 (46) 23.10.89. Бюл. Р 39 (71) Научно-исследовательский институт интроскопни при Томском политехническом институте им. С.М.Кирова (72) О.И.Недавний (53) 531.717.11 (088.8) (56) Бунж З.А., Вейц Б.Н., Ядченко Л.Н. Радиоизотопные рентгенофлуоресцентные толщиномеры покрытий.
М.: Атомиздат, 1979, с. 5-6.
Завьялкин Ф.N. Осипов С,П. Методика оценки погрешности радиационного измерения концентрации бинарных систем в условиях сопутствующей примеси. — Измерительная техника, 1986, В 5, с. 55-56.
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к средствам контроля толщины и плотности покрытий с использованием ионизирую- щих излучений.
Цель изобретения — повышение точности измерения поверхностной плотности покрытия на подложках с переменным составом путем автоматической коррекции результатов контроля по интенсивности прошедшего через подложку излучения источника.
На чертеже приведен пример реализации предлагаемого способа.
Изделие, состоящее иэ сложнопрофнльной алюминиевой подложки 1 с хао2 (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ
ПЛОТНОСТИ ПОКРЫТИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике, к средствам контроля толщины и плотности покрытий с использованием ионизирующих излучений. Цель изобретения — повышение точности измерения на подложках с переменным составом путем автоматической коррекции результатов контроля по интенсивности прошедшего через подложку излучения источника. Выходящее из изделия излучение регистрируется детектором, подключенным к устройству амплитудной селекции. Сопоставляя интенсивности излучений флуоресценции покрытия и излученйе источника, ослабленного в подложке, получают коэффициент, являющийся мерой величины поверхностной плотности покрытия. 1 ил. тически расположенными каналами 2 и покрытия 3, со стороны подложки облучают узким пучком 4 моноэнергетического ионизирующего излучения, находящегося в конвейере — формирователе 5 радионуклида 6. Выходящее иэ изделия излучение регистрируют сцинтилляционным детектором 7, под:кпюченным к устройству 8 амплитудной селекции электрических импульсов со счетчиками на выходе. Один канал устройства 8 настраивают на регистрацию импульсов с амплитудами, соответствующими энергии источника. Второй канал настраивают на регистрацию импульсов с амплитудами, соответствующими энергии рентгеновской флуорес1516781
В
Формула изобретения
1О
" ф К
У и -"ф 1 где Х вЂ” чи,..io регистрируемых фотонов и гочника в отсутствии иэделия;
)(а, ; — коэффициент ослабления ! пото .«;i (учения подложкой для фотонов и "f<> ièiiêÿ, покрытием для фотонов источни! а, покрытием для фотонов
pe» r> он-.—.„.;;.: флуоресценции покрытия соотвстiтг,.н .о; К вЂ” коэффициент преобрв:огч:и - фотонов излучения источ- ника и .,1:.о ж рентгеновской флуоресц е н i (и и и О к! i ь! 1 и я, Составитель В.Парнасов
Техред А.Кравчук Корректор Л,Патай
Ре™эктор Е.Iiа»п
Заказ 6373/39
Тираж 683
Подписное
ВШЯПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 ценции покрытия, возбужденной источником. Таким образом, первый счетчик за установленный интервал наблюдения зафиксирует N импульсов, вызванных фотонами радионуклида 6, и N импульсов, вызванных фотонами рентгеновской флуоресценции покрытия 3. Сопоставляя N и И„ путем деления, получают коэфАициент, являющийся мерой величины поверхностной плотности покрытия.
Следовательно, =".- Х,», -.м.р,А 1 и Ю у
-Р" ", К -/фаей.
Ч =Ч е -------- (е ." Гi h е )
Таким образом, результаты измерения не зависят не только от свойств подложки, но и от стабильности начального потока излучения.
Способ измерения поверхностной плотности покрытия, заключающийся s том, что на объект контроля направляют первичный поток ионизирующего излучения, регистрируют интенсивность
15 прошедшего через объект контроля излучения, соответствующую двум уровням энергий, и определяют величину поверхностной плотности, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повы20 шения точности измерения поверхностной плотности покрытия на подложках с переменным составом, первичный поток излучения направляют на объект контроля со стороны подложки, в каче25 стве одного уровня энергии выбирают уровень энергии источника ионизирующего излучения, в качестве другого уровня — уровень энергии рентгеновс" кой флуоресценции, возбужденной первичным потоком в покрытии, а величину поверхностной плотности определяют по отношению интенсивностей излуче ния выбранных уровней.
