Способ измерения толщины покрытия

 

Изобретение относится к измери- . тельной технике для неразрушающего кoнтpoлk толщины покрытия с помощью проникающего ионизирующего излучения и флуоресценции. Целью изобретения является повышение точности измерения толщины покрытий на несплошных изделиях путем корректировки времени измерения . Выделяются последовательности характеристического излучения покрытия и фона обратнорассеянного излучения, а толг;ину покрытия определяют по числу импульсов характеристического излучения, подсчитанных за время регистрации импульса фона обратнорассеянного излучения. 1 ил. SS

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!! 4 G Ol В 15/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО.ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4175997/24-28 (22) 06.0!.87 ,.(46) 23.11.88. Бюл. Р 43 (7!) Ереванское опытно-конструкторское бюро автоматики Научно-производственного объединения Химавтоматика" (7-2) С. Т. Казанджян, С. Н. Сукиасян, Ж, А. Аноян и Х. Н. Салахов (53) 531.717.1(088.8) (56) Бунис 3. А., Венц Б. Н., Ярченко Л, Н. Радиоизотопные рентгенофлуоресцентные толщиномеры покрытий. М.:

Атомиздат, 1979, с. 67-68. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ

„„SU„„3 439396 (57) Изобретение относится к измерительной технике для неразрушающего контролй толщины покрытия с помощью проникающего ионизирующего излучения и флуоресценции. Целью изобретения является повышение точности измерения толщины покрытий на несплошных изделиях путем корректировки времени измерения. Выделяются последовательности характеристического излучения покрытия и фона обратнорассеянного излучения, а толщину покрытия определяют по числу импульсов характеристического излучения, подсчитанных за время регистрации импульса фона обратнорассеянного излучения. 1 ил.

1439396

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для нераэрушающего контроля толщины покрытия с помощью проникающего ио5 низирующего излучения и флуоресценции.

Цель изобретения — повышение точности измерения толщины покрытий на несплошных изделиях путем корректировки времени измерения.

На чертеже изображена структурная схема устройства для реализации предлагаемого способа.

Устройство содержит измерительный преобразователь 1, в котором расположены источники 2 излучения, например

2. 41 радиоизотопы A детектор 3, выполненный в виде сцинтиллятора 4 и фото" электронного умножителя (ФЭУ) 5, уси- 20 литель 6 принимающий сигналы с ФЭУ, амплитудные дискриминаторы 7 и 8, подключенные к выходу усилителя 6 для выделения двух последовательностей соответственно с импульсами ха- 25 рактеристического излучения и фона и с импульсами обратнорассеянного от изделия первичного возбуждающего излучения, схему 9 антисовпадений, один из входов которой подключен к выходу дискриминатора 7, а другой через делитель 10 частоты (с коэффициентом давления К = — — к вы oEо

Иф ходу дискриминатора 8, счетчик 11 счетный вход которого подключен к выходу схемы 9 антисовпадений, счетчик 12, счетный вход которого подключен к, выходу дискриминатора 8, а выход старшего разряда — к входу "0c-,1р тановка" счетчика Il, и преобразователь 13, сопряженный со счетчиком 11.

Способ измерения толщины покрытия осуществляют следующим образом.

Потоком первичного возбуждающего излучения источников 2, например ра Ф1 диоизотопов А, облучают контролируемое иэделие со стороны покрытия

14, нанесенного на основание 15.

Поток первичного излучения возбуждает характеристическое излучение элементов, входящих в состав контролируемого изделия. и обратно рассеивается контролируемым изделием.

При помощи детектора 3 например сцинтилляционного, энергии характеристических излучений, входящих в состав контролируемого изделия, энергии обратнорассеянного от иэделия первичного излучения и энергии фона, обусловленного обратным рассеянием, преобразуются в электрические импуль-, сы, которые усиливаются по амплитуде в усилителе 6 и подак1тся на входы амплитудных дискриминаторов 7 и 8 для выделения двух последовательностей соответственно с импульсами характеристического излучения покрытия и фона и с импульсами обратнорассеянного от .изделия первичного возбуждающего излучения.

С целью выделения последовательности импульсов характеристического излучения покрытия импульсы с выхода дискриминатора 7 подаются на один из входов схемы 9 антисовпадений, на другой вход которой через делитель

10 частоть: (с коэффициентом деления

ИоЕр

К = подаются импульсы с выхода

Я дискриминатора 8. Затем выделенные импульсы характеристического излучения с выхода схемы 9 антисовпадений подаются на вход счетчика ll, который подсчитывает их количество N„, N oFp равное 11 = 1х — — = N - N в х 1 К 1 ф течение времени измерения, задаваемогоо емкостью С счетчика 12, на вход которого подаются импульсы обратнорассеянного излучения с выхода дискриминатора 8, а выход старшего раэря" да подключен K входу Остановка счет счетчика 11. Причем емкость С счетчика 12 определяется из условия обеспечения требуемой статистической погрешности.

Таким образом, счетчик 11 за время t заполнения емкости С счетчика

12 подсчитывает количество импульсов характеристического излучения N„, равное

f. С

1хх= к" . ) обР где „, и 1- р — частоты следов ания импульсов соответственно характеристического излучения покрытия и обратнорассеянного от изделия первичного излучения.

По окончании цикла измерения количество импульсов N, с помощью преоб х раэователя 13, сопряженного со счет1439396

20 з чиком 1, преобразовывается в единицы поверхностной плотности покрытия, Значения частот следования f» и прямо пропорциональны плошади изделия S, перекрывающей поток пер5 вичного возбуждающего излучения, однако их соотношение не зависит от S.

Можно измерить также толщину покрытий сплошных и несплошных изделий, ip так как результаты измерения при прочих равных условиях не зависят от площади изделия, перекрывающей поток первичного возбуждающего излучения.

15 формула изобретения

Способ измерения толщины покрытия, заключающийся в том, что на контролируемое изделие направляют поток первичного ионизирующего излучения, преобразовывают энергии характеристических излучений, обратнорассеянноro от изделия первичного излучения и энергии фона обратного рассеяния в электрические импульсы, из которых выделяют последовательность импульсов характеристического излучения покрытия и последовательность импульсов обратнорассеянного от изделия первичного возбуждающего излучения, регистрируют количество импульсов характеристического излучения покрытия и оп- ределяют толщину покрытия, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения толщины покрытий на несплошных изделиях, регистрацию импульсов характеристического излучения покрытия осуществляют эа время регистрации заданного числа импульсов обратнорассеянного от иэделия первичного ионизирующего излуче-! ния, которое определяется из условия задаваемой статистической погрешности.

1439396

Составитель В. Парнасов

Редактор А. Козориз Техред Л.Сердюкова Корректор М. Васильева

Заказ 6065/38 Тираж 680 Подписное

В11ИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4