Травильный раствор
Изобретение относится к технике травления стекла и может быть использовано при вытравливании рисунка на стеклянных подложках методом фотолитографии. С целью повышения качества травления за счет увеличения глубины и снижения неравномерности края рисунка травильный раствор включает, мас.%: H<SB POS="POST">2</SB>SO<SB POS="POST">4</SB> 12-13 HNO<SB POS="POST">3</SB> 10-11 NH<SB POS="POST">4</SB>F 23,5-24 H<SB POS="POST">2</SB>O остальное. Применение раствора обеспечивает максимальную глубину рисунка без искажений при использовании в качестве маски тантала или титана 8,1 мкм неравномерность края рисунка 1-1,3 мкм и величину шероховатости 0,15-0,25 мкм.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
<59 4 С 03 С 15/00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4284200/23-33 (22) 13,07,87 (46) 30,09,89. Бюп. N - 36 (72) К,С,Золотухин и С,В,Павлов (53) 666,1,053,63(088.8) (56) Заявка ФРГ Ф 2541205, кл С 03 С 1 5/00 у опубликр 1 976у
Авторское свидетельство СССР
Р 1159905, кл, С 03 С 15/00, 1984, (54) ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР (57) Изобретение относится к технике травления стекла и может быть использовано при вытравливании рисунка на
Изобретение относится к технике травления стекла и может быть использовано при вытравливании рисунка на стеклянных подложках методом фотолитогр афин, Цель изобретения — повышение качества травления за счет увеличения глубинй и снижения неравномерности края рисунка, Пример 1, На подложках из натрий-кальциевого стекла ионно-плазменным методом напыля!от пленку тантала толщиной 0,5 мкм, 11етодом фотолитографии формируют рисунок, через который стекло травят в течение 3 мин в растворе, содержащем, мас. K:
HySO (987-ный раствор) 12,0
NHyF 23,5
HN0 (657-ный раствор) j1 0 .Н,о 53,5
Глубина .вытравленной структуры составила 11,4 мкм, т,е, скорость
„„Я0„„1511229 A1
2 стеклянных подложках методом фотолитографии, С целью повышения качества травления за счет увеличения глубины и снижения неравномерности края рисун— ка травильный раствор включает, мас;Е:
Н SO 12-13; HNO3 10-11; БН Р 23,5-24;
Е! Π— остальное. Применение раствора обеспечивает максимапьную глубину рисунка беэ искажений при использовании в качестве маски тантала или титана
8, 1 мкм; нерав! .:::ерность края рисунка 1-1,3 мкм и величи у шероховатости О, 1)-0,?5 мкм. травления равна 3,8 мкм/мин, при этом шероховатость поверхности в углублениях равна 0,15 мкм.
Пример 2, В травильном растворе состава, мас„Х:
H NI-; F 23.5 навоз 10,0 H„0 54,5 скорость травления стек=а с=ставляет 3,5 мкм/мин, шероховатость края не превышает 1 мкм, используемый в ка-. честве маски фоторезист начинает отслаиваться через 140 с, т, е, максимальная глубина вытравленного рисунка без искажений составляет 8, 1 мкм. П р и м е .р 3, В травичьном раст", воре, Содержащем в своем составе. мас,Ж: Н Вс 13,0 ИН Р 24,0 ныо, 11 0 Н 0 52,0 скорость травления, стекла составляет 1511229 в целом, соотношения компонентов подобраны таким образом, что поверхность стекла в, вытравленных углублениях имеет вышеуказанную шероховатость, Формула изобретения Составитель О,Самохина Редактор Т.Лазоренко Техред N.Äèäûê КоРРектоР О„Кравцова Заказ 5858/26 Тираж 418 Подписное SHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Рауновская наб, д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. " àãàðèíà,, 101 4,0 мкм/мин, шероховатость равна 0,15 мкм, неравномерность краев рисунка не превышает 1,3 мкм, Используемый в качестве маски фоторезист начинает отслаиваться через 90 с, т,е, максимапьная глубина выть . равленного рисунка составляет 6.мкм, Применение в качестве маски пленок тантала или титана способствует улуч-10 шению качества формируемого рисунка за счет уменьшения величины подтрава и количества дефектов типа "прокол", что обусловпено значительно более высокими адгезией металлических пле- 15 нок к стеклу и устойчивостью этих пленок к используемому травильному раствору. Введение в состав травильного раст 7о вора азотной кислоты предотвращает o6=0 разование плохорастворимых сульфатов Травипьный раствор,, включающий Н SO, HN03„ Н О, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения качества травления за счет увеличения глубины и снижения неравномерности края рисунка, он дополнительно содержит NH Р при следующем соотношении компонентов, мас.F.: Н SO. 12-13 HN0ç 10-11 NH F 23,5-24 «0 Н,О Остальное
