Способ обработки оптических деталей
Изобретение относится к технологии оптического производства в оптикомеханической и электронной промьшшенности. Цель изобретения - повьшение скорости травления и снижение трудоемкости процесса обработки. Способ обработки оптических деталей включает предварительную подготовку их поверхности перегретым паром при 110-130 0 в течение 5-10 мин и травление в растворе фтористоводородной кислоты. Скорость травления составляет 5 - 29 мкм/мин. 1 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
1 11 4 С 03 С 15/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4282875/26-33 (22) 13.07.87 (46) 15.01.89. Бюл. !"- 2 (72) А. A. Дворский, В. П. !1аслов и А. П. Жужнева (53) 666.1.053.63(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
Р 581105, кл. С 03 С 15/00, 1975.
Авторское свидетельство СССР
N - 1212997, кл. С 03 С 15/00, 1984. (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ
„„Я0„„1451115 А1 (57) Изобретение относится к технологии оптического производства в оптикомеханической и электронной промыпленности. Цель изобретения — повышение скорости травления и снижение трудоемкости процесса обработки. Способ обработки оптических деталей включает предварительную подготовку их поверхо ности перегретым паром при 110-130 С в течение 5-10 мин и травление в растворе фтористоводородной кислоты. Скорость травления составляет 5—
29 мкм/мин. 1 табл.
1451115
Изобретение относится к технологии оптического производства и может быть использовано в оптико-механи .еской и электронной промьпиленностях, например,5 при изготовлении несущих элементов конструкций повышенной прочности из стекла и ситалла.
Цель изобретения — повьш|ение скорости травления и снижение трудоемко-10 сти процесса обработки.
11редварительно перед травлением детали обрабатывают перегретым водяным паром при 110-130 С в течение 510 мин. !5
Способ обработки оптических деталей из хрупких материалов реализуют следующим образом, Обработку оптических деталей перегретым водяным паром проводят в авто-20 клаве марки ГК-200 по следующему режиму: температура водяного пара 110130 С, время обработки 5-10 мин.
Травление осуществляют в растворе
40 -ной фтористоводородной кислоты до 25 съема на глубину 50 мкм. Съем материала определяют индикатором часового типа, который имеет шкалу измерений
0 О С О ОН
) l /x
Si Si Si + Н,С Si Si б, б /, О 0 0 О+ Н Б10 + (Si0<) (Н О) трудоемкость изготовления деталей повышенной конструкционной прочности.
Использование изобретения позволяет повысить скорость травления оптических материалов за счет дополнительного воздействия водяного пара с обрабатываемой поверхностью деталей, расщеплением силоксановых связей каркаса стекла и ситалла и образованием активных силанольных групп; снизить трудоемкость изготовления деталей повышенной конструкционной прочности в
4-5 раз за счет уменьшения времени обработки.
Таким образом, повышение скорости травления оптических материалов можно объяснить гидролитическим расщепО лением силоксановых связей (Si
0 45 Si ) при автоклавировании стекла г и ситалла с образованием активных си, . ОН ., Он ланольных групп (Si + Б1 )
0- О50
Из данных таблицы видно, что оптимальные режимы обработки деталей в среде перегретого пара с последующим травлением лежат в следующем интервале температура водяного пара 120 С, 55 время обработки 7,5 мин. При этих режимах наблюдается максимальное увеличение скорости травления оптических материалов„что резко снижает мкм, время травления контролируюч секундомером.
Результаты сравнительных испытаний приведены в таблице.
Анализ полученных экспериментальных данных позволяет заключить, что в предлагаемом способе наблюдается повышенная скорость травления исследованных оптических материалов за счет введения в производственный цикл дополнительной операции обработки поверхностей деталей в среде перегретого водяного пара, что снижает трудоемкость изготовления деталей повышенной конструкционной прочности в 4
5 раз.
ИК-спектральный анализ показал, что в процессе автоклавирования стекла и ситалла íà их поверхности образуются реакционно-способные =Si-ОН группы (валентные колебания в области
2700-3000 см ), возмущенные Н-связя< ми с адсорбированной водой, кремниевая и поликремневая кислоты по схеме:
Формула изоб ре тени я
Способ обработки оптических деталей путем предварительной подготовки их поверхности и травления в растворе
14511 фтористоводородной кислоты, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения скорости травления и снижеI
l5
4 ния трудоемкости, предварительную подготовку ведут перегретым паром о при 110-130 С в течение 5-10 мин.
Способ травления
Марка оптического материала
0,4
Стекло 6Ва4
Стекло К8
Ситалл СО-115М
0,3
24 время обработки 10 мин
0,4
Кварцевое стекло
КВ
0,5 о температура водяного пара 120 С Стекло 6Ва4
0,4
0,3
Стекло К8 время обработки 7,5 мин
0,4
Ситалл СО-115M
Кварцевое стекло
КВ
0,5 температура водяного пара 130 С Стекло 6Ва4
0,4
0,3
Стекло К8
Ситалл СО-115М
25 время обработки 5 мин
0,4
Кварцевое стекло
КВ
0 5
Составитель О. Самохина
Редактор Н. Киштулинец Техред Л.Сердюкова Корректор М. Самборская
Заказ 7031/18 Тираж 416 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Предварительная обработка перегретым водяным паром по следующему режиму: о температура водяного пара 110 С
Ско рость Трудоемкость травления процесса, н/ч, мкм/мин при съеме
50 мкм
