Сильфонный эксцентриковый ввод вращения в герметизированный объем

 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в прогреваемых сверхвысоковакуумных установках. Цель изобретения - повышение надежности ввода. Ввод содержит корпус 1, размещенные в нем ведущий 2 и ведомый 3 эксцентриковые валы. Валы 2 и 3 связаны между собой посредством промежуточного звена 4. Звено 4 и корпус 1 соединяются с сильфоном 5 посредством компенсирующих вкладышей 6, состоящих из металлических частей 7 и 8 с различными коэффициентами теплового расширения, таким образом, что наибольший прогиб вкладышей 6 при прогреве соответствует местам наибольших деформаций сильфона 5 и уменьшается до нуля к местам, расположенным на оси, перпендикулярной оси максимальных деформаций, положение которой определяется положением эксцентриковых валов 2 и 3 при прогреве. Это положение задается по меткам, нанесенным на эксцентриковый вал 2 и корпус 1. Метка на корпус наносится при совпадении осей металлических частей 7 и 8 на вкладышах 6, а метка на эксцентриковом валу 2 - в соответствии с осью, характеризующей направления эксцентрика. Предлагаемый ввод позволяет исключить возникновение остаточных деформаций в сильфоне при прогреве в статическом состоянии. Это ведет к уменьшению средних напряжений цикла в сильфоне, влияющих на усталостное разрушение последнего. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (511 4 Е 16 Н 21/18

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21 ) 4256684/31-27 (22) 04.06.87 .(46) 07.09.89. Бюл., № 33 (71) МВТУ им. Н„З.Баумана (72) Н.И.Камышный, Е.А.Деулин, А.И.Фролов, Д.P„Ахмадиев, А.И,Гадовский и И,В,Гущин (53) 621.337.7 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 599119, кл. F 16 Н 21/18, 1978. (54) СИЛЬФОННЫЙ 3КСЦЕНТРИКОВЫЙ ВВОД

ВРАЩЕНИЯ В ГЕРМЕТИЗИРОВАННЫЙ OBhEM (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в прогреваемых сверхвысоковакуумных установках. Цель изобретения— повьппение надежности ввода, Ввод содержит корпус 1, размещенные в нем ведущий 2 и ведомый 3 эксцентриковые валы. Валы 2 и 3 связаны между собой посредством промежуточного звена 4, Звено 4 и корпус 1 соединяются с сильфоном 5 посредством компенсирующих вкладышей 6, состоящих из металлических частей 7 и 8 с раз„,SU„„1 06206 А 1 личными коэффициентами теплового расширения, таким образом,что наибольший прогиб вкладышей 6 при прогреве соответствует местам наибольших деформаций сильфона 5 и уменьшается до нуля к местам, расположенным на оси, перпендикулярной оси максимальных деформаций, положение которой определяется положением эксцентриковых валов 2 и 3 при прогреве. Это положение задается по меткам, нанесенным на эксцентриковый вал 2 и корпус 1.

Метка на корпусе наносится при совпадении осей металлических частей

7 и 8 на вкладьппах 6, а метка на эксцентриковом валу 2 — в соответсте вии с осью, характеризующей направления эксцентрика. Предлагаемый ввод позволяет исключить возникновение остаточных деформаций в сильфоне при прогреве в статическом состоянии.3то ведет к уменьшению средних напряжений цикла в сильфоне, влияющих на усталостное разрушение последнего.

3 ил.

206

10

3 1506

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для герметизации подвижных деталей в .снерхвысоковакуумном прогренаемом оборудовании.

Цель изобретения — повышение надежности ввода за счет исключения возникновения остаточных леформаций в сильфоне при обеэгаживающем прогреве в статически фиксированном положении ведущего вала.

На фиг.1 приведен эксцентриковый ввод вращения, общий виц„ на фиг. 2 вид Л на фиг.1; на фиг„ 3 — вид Б на фиг.1 °

Эксцентриковьп ввод вращения содержит корпус 1, размещенные в нем ведущий 2 и ведомый 3 эксцентриковые валы, которые связаны между собой промежуточным звеном 4. Звено 4 и корпус 1 соединяются с сильфоном 5 посредством компенсирующих вкладьппей

6, состоящих из металлических частей

7 и 8, с различными коэффициентами теплового расширения, таким образом, что наибольший прогиб кольцевых вкладьнпей 6 при прогреве соответствует местам наибольших деформаций сильфона 5 и уменьшается до нуля к местам, расположенным на оси, перпЕндикулярной оси максимальных деформаций, положение которой определяется положением эксцентриковых валов 2 и 3 при прогреве, которое задается по меткам

9 и 10, нанесенньм на входной эксцентриковый вал 2 и корпус 1. Причем метка 10 на корпусе наносится в соответствии с положением оси металлических частей 7 и 8 на вкладьппах 6 таким образом, чтобы они совпадали, а метка 9 — на входном эксцентриковом валу 2 в соответствии с осью, характеризующей направление эксцентрика.

Реализация переменной величины прогиба вкладышей 6 достигается за счет переменного поперечного сечения металлических частей 7 и 8, имеющих клиновидную форму. Таким образом, сочетание утолщенной части клина 7 с большим коэффициентом температурного расширения с утоненной частью клина 8 с меньшим коэффициентом температурного расширения при прогреве приводит к неравномерному прогибу вкладьппей 6 в соответствии с требуемой величиной, определяемой принудительно деформированным состоянием сильфона, то принодит к выпрямлению упругой линии сильфона и, как следствие, к устранению остаточной деформации. Подбор материалов пары металлических частей 7 и 8 производится н соответствии с конструктивно заданным экспентриситетом и температурой обезгажинающего прогрева.

Преимущество предлагаемой конструкции по сравнению с известной состоит н поньппении надежности. Так, использование вкладышей с биметаллическими полукольцами в стандартном эксцентриконом вводе ВЗС-5 показало, что наработка до разрушения сильфона после проведения обезгаживающего прогрева до 350 Г увеличилась с

5,5 10 до 1,5 ° 10 циклов. Это поз5 и воляет увеличить надежность вакуумного технологического оборудования и повысить коэффициент выхода годных изделий

Формула изобретения

Гильфонный эксцентриковый ввод вращения в герметизированный объем, содержащий корпус, размещенные в нем ведущий и ведомый эксцентриковые валы, связывающее их промежуточное звено и соединяющий последнее с корпусом упругодеформированный сильфон, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности за счет исключения возникновения остаточных деформаций н сильфоне при обезгажинающем прогреве н статически фиксированном положении ведущего вала, сильфон соединен с корпусом и промежуточным звеном посредством компенсирующих вкладьппей, каждый из которых состоит из двух биметаллических полуколец переменного поперечного сечения, металлы пар которых с большим и меньшим коэффициентами теплового расширения соответственно размещены диаметрально противоположно друг другу на протиноположньrx торцовых поверхностях соответствующего вкладьппа, при этом положение Gimeталлических полуколец, связывающих сильфон с промежуточным звеном,соответствует положению почуколеп,связывающих сильфон с корпусом.

) 506206

Вил

Фиг.2

Фиг.

Корректор М.Пожо

Тираж 72) Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101 Редактор Н.Лазаренко

Заказ 54)0/38

Составитель А.Храмцов

Техред М.Хоаанич