Патент ссср 156316

Класс G 02d; 42h, 14в, .й!в 1563I6

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 1

Подписная группа М 170

С. И. Торопин и Л. К. Каяк

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

РАЗНОСТЕЙ ДЛИН ДВУХ ШТРИХОВЫХ МЕР

Заявлено 23 июля 1962 г. за X«788!62,26-10 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» Ке 15 за !963 г.

Известный фотоэлектрический микроскоп содержит осветительную систему, два оптических капала и вибратор. Но точность измерений разности длин двух штриховых мер этими микроскопами затруднена тем, что вибратор установлен в ходе лучей, освещающих измеряемые штриховые меры.

Для получения точных измерений в предлагаемом фотоэлектрическом микроскопе зеркало вибратора установлено в ходе лучей, строящих изображение штрихов измеряемых мер. Благодаря этому производится сканирование не изображения нити лампы осветителя по поверхности измеряемых мер, а изображения самих штрихов измеряемых мер в плоскости щели.

На чертеже представлена оптическая схема предлагаемого фотоэлектрического микроскопа.

Изображение штрихов (на чертеже не показаны) измеряемых штриховых мер 1 и 2, освещаемых пучком лучей от источи!на 8, сформированным оптической системой 4, передается объектами 5 и призмами б и 7 через зеркало 8 вибратора (на чертеже не показан), которое колеблется с частотой 50 гц, в плоскость шелевой диафрагмы 9

Из-за колебания зеркала вибратора изображения штрихов сканируют в плоскости щелевой диафрагмы 9 и она освещается переменным световым потоком, отраженным от полированных поверхностей измеряемых

IIITpHXIIHbIX Mep. Оптическая система 10 IIepQ+3eT уfi333HffhIIf поток на фотоэлементы 11. Для визуального наблюдения измеряемых штриховых мер в предлагаемом микроскопе предусмотрс:f oêóëffð 1". № 156316

За время одного колебания зеркала вибратора (не показан) изображение штрихов измеряемых штриховых мер дважды проходит через щелевуюдиафрагму и при каждом таком прохождении в цепи фотоэлемента возникают электрические импульсы в каждом канале микроскопа.

Если сравниваемые интервалы между штрихами измеряемых штриховых мер равны между собой и штрихи (на чертеже не обозначены) лежат в одной плоскости, параллельной плоскости щелевой диафрагмы, то импульсы в обоих каналах микроскопа будут совпадать по времени появления. Расхождение между штрихами вызовет соответствующее расхождение во времени появления импульсов фототока в обоих каналах, которое может быть измерено либо непосредственно с помощью эталонной частоты, либо с помощью компенсатора И.

Предмет изобретения

Фотоэлектрический микроскоп для измерения разностей длин двух штриховых мер по методу продольного компарирования, содержащий осветительную систему; два оптических канала и вибратор, от л и ч а ющи и с я тем, что, с целью увеличения точности измерения, зеркало вибратора установлено в ходе лучей микроскопа, строящих изображение штрихов измеряемых мер.

p>-

Составизель В. Д. Ванторин

Редак, ор П. Ф. Старцева Текред T. П. Курилко Корректор И. С. Дроздова

Поди. к печ. 22,ТП1 — 63 г. Формат бум. 70 ..; 1081, а Обьем 0,18 изд. л.

Заказ 2114/13 Тираж 650 Цена 4 кол.

ЦНИИПИ Го" óäàðñòâåííîãî комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр, Серова, д, 4

Типография, пр. Сапунова, 2.