Патент ссср 153084
№ 153084
Класс 6 01г; 21е, 361а
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Поописная группа М 95
В. И. Фистуль и О, Б. Оржевский
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Заявлено 18 апреля 1962 г. за № 774692/26-10 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 4 за 1963 r.
Известны способы измерения удельного сопротивления полупроводников — высокочастотный и зондовый. Однако большая глубина проникновения высокочастотного поля в полупроводник приводит, с одной стороны, к зависимости результатов измерений от конфигурации образца и, с другой, к слабому взаимодействию образца с полем, что снижает чувствительность измерений.
В предлагаемом способе измерения удельного сопротивления полупроводников повышается чувствительность измерений и исключается зависимость результатов измерений от конфигурации образца. Это достигается тем, что катушка индуктивности выполнена на тороидальном сердечнике из магнито-мягкого материала, например феррита, с зазором, в который помещена проводящая пластинка.
На чертеже изображена принципиальная схема катушки.
Катушка состоит из тороидального сердечника 1 из магнитомягкого материала (феррита) с обмоткой 2 и зазором 3, в который помещена проводящая пластинка 4.
Такая конструкция катушки способствует концентрации поля в зазоре и прилегающем к нему пространстве и создает сильное взаимодействие поля катушки с замыкающим зазор образцом 5. № 153084
Предмет изобретения
Способ измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов по изменению добротности высокочастотной катушки индуктивности, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения чувствительности измерений и исключения зависимости результатов измерений от конфигурации образца, катушка индуктивности выполнена на тороидальном сердечнике из магнита-мягкого материала, например феррита, с зазором, который замыкают исследуемым образцом.
Составитель П. И, Пятушко
Текред T. П. Курилко Корректор Г. Кудрявцева
Редактор Кутафина
Формат бум. 70)С1081/
Тираж 1100 Цена 4 коп. комитета по делам изобретений и открытий СССР
Центр, проезд Серова, дом 4.
П1од. к печ. 28/II — 63 r.
Зак. б00/14
ЦНИИПИ Государственного
Москва, Типография, пр. Сапунова, 2.

