Приспособление для обработки плоских поверхностей

 

Изобретение относится к оптикомеханической промьюшеннос и и может быть использовано для обработки поверхностей плоских деталей. Целью изобретения является повышение качества обработки за счет ликвидации влияния сил трения в приспособлении Фиг./ на процесс изготовления деталей. Приспособление содержит основание , держатель 2 детали, упругий элемент 3, регулировочную гайку 4, два блока плоских пружин 5 и 6, распорки 7, вставку 8 держателя 2, четыре вставки 9 корпуса основания 1, шток 10 с резьбой, накладки 12. При перемещении приспособления с деталью по полировальнику происходит сохранение взаимной параллельности рабочей поверхности 13 и опорной плоскости 14, так как плоские пружины 5 и 6 работают как двойные параллелограммы . Силы трения между держателем 2 детали и основанием 1 отсутствуют . Держатель 2 подвешен на внутренних частях плоских пружшг 5 и 6. 4 ил. с (Л 4:; 4 Х СО ГС со

СО)ОЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (Н) А1 (51) В 24 В 37/04

ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4162869/31-08 (22) 15. 12.86 (46) 07.01.89. Бюл. В 1 (71) Институт полупроводников

АН УССР (72) Г.В.Бекетов, Н.О.Давидовская, Е.А.Сальков и Д.Д.Шуптар (53) 621.923.9 (088.8) (56) Проспе т фирмы Logitech Ltd, Великобритания, 1980. (54) ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ДЛЯ ОБРАБОТКИ

ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к оптикомеханической промышленности и может быть использовано для обработки поверхностей плоских деталей. Целью изобретения является повышение качества обработки за счет ликвидации влияния сил трения в приспособлении на процесс изготовления деталей.

Приспособление содержит основание 1, держатель 2 детали, упругий элемент

3, регулировочную гайку 4, два блока плоских пружин 5 и 6, распорки

7, вставку 8 держателя 2, четыре вставки 9 корпуса основания 1, шток

10 с резьбой, накладки 12. При перемещении приспособления с деталью по полировальнику происходит сохранение взаимной параллельности рабочей поверхности 13 и опорной плоскости 14, так как плоские пружины

5 и 6 работают как двойные параллелограммы. Силы .трения между держателем 2 детали и основанием 1 отсут- с

Ю ствуют. Держатель 2 подвешен на внутренних частях плоских пружин 5 и 6.

4 ил.

С:

14«Ч3?9

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для обработки плоских поверхностей, а также механического, х мического, 5 химико-механического и электролити— ческого полирования и доводки плоскопараллельных пластин, в частности пластин полупроводниковых материалов.

Целью изобретения является повышение качества обработки за счет повышения степени плоскопараллельности деталей.

На фиг.1 изображено приспособление для обработки плоских поверхностей, общий вид, разрез; на фиг.2 разрез А-А на фиг. 1; на фиг.3 — приспособление с частичным разрезом, аксонометрия, на фиг.4 — конфигура- 20 ция блока плоских пружин с I -образными вырезами.

Приспособление (фиг.1-3) содержит основание 1 корпуса, держатель . 2 детали, упругий элемент 3, регу- 25 гировочную гайку 4, два блока плоских пружин 5 и 6, распорки 7,вставку

8 держателя 2, четыре вставки 9 корпуса основания 1, шток tp с резьбой накладки 11 и 12. 30 !

Держатель 2 детали помещен внутри корпуса основания 1 таким образом, что внутренняя поверхность корпуса основания и внешняя поверхность держателя не. соприкасаются между собой.

Держатель 2 связан с корпусом основания 1 посредством блоков плоских пружин 5 и 6. Каждый блок имеет крестообразную форму и в нем выполнены четыре Г-образные сквозные прорези, 40 отделяющие периферийную часть блока от внутренней. Внутренняя часть блока имеет крестообразную форму, а периферийная охватывает ее по периметру, причем внутренняя часть свои.†. 45 мч концами соединена с периферийной.

Вставка 8 и накладка 11 держателя образца имеют в плане крестообразную форму, соответствующую форме внутренней части блока пружин. ВнутРен няя часть блока плоских пружин 5 размещена между накладкой 11 и вставкой

8, а внутренняя часть блока плоских пружин 6 — между вставкой 8 и держателем 2 и крепление этих деталей осуществляется при помощи стяжных болтов. Тем самым внутренняя часть обоих блоков жестко закреплена на вставке

8 держателя образца.

Участки нс риф риииои час ти блока пло< ких пружин 5 и 6, прилежащие к вершинам Г-образных вырезов, помещены соответственно между накладкой 12 и вставкой 9 и между вставкой 9 и основанием 1 (фиг.2 и 3) и стянуты болтами. Таким образом периферийная часть каждого из блоков плоских пружин 5 и 6 жестко закреплена на вставках 9 корпуса основания, а корпус основания связан с держателем 2 при помощи блоков пружин.

Блоки пружин расположены таким образом, что их стороны параллельны друг другу. Между соответствующими внешними концами блоков плоских пружин 5 и 6 помещены распорки 7, при этом внутренняя и периферийная части каждого иэ блоков жестко смонтированы на этих распорках. К верхней части держателя образца присоединен шток с резьбой, по которой может перемещаться гайка 4. Между гайкой

4 и корпусом основания помещен упругий элемент 3.

Приспособление работает следующим образом.

В исходном положении рабочая поверхность 13 держателя образца параллельна опорной плоскости основания 14. При установке приспособления с наклеенной на поверхность 13 пластиной на полировальный или шлифоваль- ный диск плоскость 14 и обрабатывае-, мая поверхность пластины приходят в соприкосновение с поверхностью диска. Необходимое для этого перемещение держателя 2 детали относительно основания 1 осуществляется эа счет изгиба плоских пружин 5 и 6, связывающих держатель 2 с основанием.При перемещении происходит сохранение взаимной параллельности рабочей поверхности 13 и опорной плоскости 14, так как плоские пружины совместно с распорками 7 работают как двойные параллелограммы. Контур одного параллелограмма образован участком внутренней части блока плоских пружин 5 между точками его присоединения к вставке 8 и распорке 7, распоркой 7, участком внутренней части блока плоских пружин 6 между точками его присоединения к вставке 8 и распорке 7 и отрезком между точками присоединения внутренних частей блоков плоских пружин 5 и 6 к вставке

8. Контур второго, связанного с пре1449329 ками.

Фиг. 2 дыдущим, параллелограмма образован участком периферийной части блока плоских пружин 5 между точками присоединения к вставке 9 и распорке

7, распоркой 7, участком периферийной части блока 6 между точками его присоединения к распорке 7 и вставке 9 и отрезком между точками присоединения периферийных частей блоков плоских пружин 6 и 5 к вставке

9. Контуры остальных связанных параллелограммов образованы аналогичным образом.

Поскольку рабочая поверхность 13 остается параллельной опорной плоскости 14, то и тыльная сторона пластин остается параллельной поверхности полировальника. Благодаря этому улучшается плоскопараллельность детали в результате обработки.

Для повышения точности приспособления и улучшения его способности сохранять параллельность между рабочей 13 и опорной 14 поверхностями 2б отрезки пружин между точками их закрепления на распорках 7 и, соответственно, на вставках 8 и 9 могут быть снабжены накладками 15 (фиг.4).

Эти накладки препятствуют прогибу средней части указанных отрезков пружин и вызываемому этим искажению контуров параллелограммов.!

1рижим обрабатываемо ". детали к поверхности полированьника осуществляется под действием веса держателя

2 детали и усилия изгиба плоских пружин 5 и 6. Упругий элемент 3 через гайку 4 и шток 10 воспринимает на себя часть веса держателя образца и уменьшает усилие прижима. Перемещение гайки 4 по резьбе штока 1О регулирует усилие прижима. ф о р м у л а изобретения

Приспособление для обработки плоских поверхностей, содержащее основание, держатель детали,размещенный в корпусе основания с возможностью осевого перемещения, регулируемый упругий элемент, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества обработки, за счет повышения степени плоскопараллельности деталей, приспо-; собление снабжено парой плоских крестообразных пружин, установленных соосно с держателем детали, при этом пружины выполнены с Г-образными прорезями, образующими периферийную и внутренние части, каждая из которых жестко связана с введенными вставками корпуса основания и вставками держателя, установленными соосно с держателем, а внешние концы пружин попарно соединены введенными распор1449329 сриг.4

Составитель А.Дроздецкий

Редактор И.Шулла Техред А.Кравчук Кор рек тор С . Че рн н

Заказ Ь911/15 Тирал 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Укгород, ул. Проектная, 4