Криоадсорбционный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет расширить функциональные возможности насоса путем обеспечения его дополнительной защиты, а также защиты иных средств вакуумирования, входящих в состав вакуумных установок совместно с насосом , от легкоконденсируемых газов.В полости 7, образованной коаксиальными цилиндрами 5 и 6 и заполненной хладагентом , расположен вакуум-провод (ВП) 9, огибающий внутренний цилиндр 6 и имеющий форму полувитка спирали. Концы 10 и 11 ВП 9 герметично выведены из корпуса 1 через крьшки 2 и 3. Радиус полувитка спирали больше диаметра ВП 9 и больше 1/6 шага спирали. ВП 9 выполняет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой конденсируются легкоконденсируемые газы и пары. Форма и размеры ВП обусловлены обеспечением оптической непрозрачности противоположных его концов. 1 ил. (Л с

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

А3 (19) (11) (5D 4 F 04 В 37/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ фД-(ДЦ1 41;(,Я

1):

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3945392/25-06 (22) 19.08.85 (46) 30.08.87. Бюл. N- 32 (72) М.П.Ларин (53) 621.528.3(088.8) (56) Ларин М.П. Сверхвысоковакуумный агрегат с гелиевым криогенным насосом. — "Приборы и техника эксперимента. М.: Наука, 1983, 11 - 6, с. 129. (54) КРИОАДСОРБЦИОННИЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет расширить функциональные возможности насоса путем обеспечения его дополнительной защиты, а также защиты иных средств вакуумирования, входящих в состав вакуумных установок совместно с насосом, от легкоконденсируемых газов. В полости 7, образованной коаксиальными цилиндрами 5 и 6 и заполненной хладагентом, расположен вакуум-провод (ВП) 9, огибающий внутренний цилиндр

6 и имеющий форму полувитка спирали.

Концы 10 и 11 ВП 9 герметично выведены из корпуса 1 через крьппки 2 и 3 °

Радиус полувитка спирали больше диаметра ВП 9 и больше 1/6 шага спирали.

ВП 9 выполняет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой конденсируются легкоконденсируемые газы и пары. Форма и размеры ВП обусловлены обеспечением оптической непрозрачности противоположных его концов.

1 ил.

Криоадсорбционный насос, содержащий цилиндрический корпус с верхней и нижней крьппками и -осевым входным

30 патрубком на одной из них, расположенный в корпусе сосуд, выполненный в виде двух коаксиальных цилиндров, расположенных соосно входному патрубку и образующих между собой полость, 5 заполненную хладагентом, и размещенный на внутренней поверхности внутреннего цилиндра адсорбент, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью расширения функциональных возможнос40 тей путем обеспечения защиты насоса от легкоконденсируемых газов, он снабжен расположенным s полости вакуум-проводом, огибающим внутренний цилиндр и имеющим концы, герметично

45 выведенные из корпуса через крышки, причем вакуум-провод имеет форму полувитка спирали и размеры, опреде" ляемые следующими неравенствами:

R>d;

50 R >»

6 где R — радиус полувитка спирали;

d - диаметр вакуум-провода;

h - mar спирали.

ВНИИПИ Заказ 3938/30 Тираж 574 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

13

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криоадсорбционных вакуумных насосов, Целью изобретения является расширение функциональных возможностей насоса путем обеспечения его дополни-.

1 тельной защиты, а также защиты иных средств вакуумирования, входящих в состав вакуумных установок совместно с насосом, от легкоконденсируемых газов.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Криоадсорбционный насос содержит цилиндрический корпус I с верхней и нижней крьппками 2 и 3 и осевым входным патрубком 4 на одной из них, на пример на крышке 2, расположенный в корпусе 1 сосуд, выполненный и виде двух коаксиальных цилиндров 5 и 6, расположенных соосно входному патрубку 4 и образующих между собой полость 7,. заполненную хладагентом, и размещенный на внутренней поверхности внутреннего цилиндра 6 адсорбент

8. Насос снабжен также расположенным в полости 7 вакуум-проводом 9, огибающим внутренний цилиндр 6 и имеющим концы 10 и 11, герметично выведенные из корпуса 1 через крышки 2 и

3, причем вакуум-провод 9 имеет форму полувитка спирали и размеры, определяемые следующими неравенствами:

R) d

R где R — радиус полувитка спирали;

d — - диаметр вакуум-провода;

h — - шаг спирали.

Кроме того, на поверхности адсорбента 8 размещен пористый гаэопрони" цаемый экран 12 иэ высокотеплопроводйого материала, и на торце внутренне" го цилиндра 6, обращенном к входному патрубку 4, установлен шевронный экран 13.

Насос работает следующим образом.

В полость 7 между цилиндрами 5 и

6 заливается хладагент, и адсорбент

8 охлаждается до рабочей температуры, при которой интенсивно поглощает откачиваемый газ, поступающий в насос через входной патрубок 4. Одновреу33833 2 но с охлаждением адсорбента 8 осуществляется охлаждение вакуум-провода 9, который используется либо в качестве коммутации; соединяющей насос с откачиваемым объемом,,либо в качестве коммутации, соединяющей откачиваемый объем с вспомогательным насосом. И в том и в другом случае вакуум-провод 9 выполняет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой происходит конденсация легко конденсируемых газов и паров, например паров воды. Форма и размеры ва15 куум-провода обусловлены обеспечением оптической непрозрачности противоположных его концов 10 и 11 и надежности защитных свойств.

Таким образом, предлагаемый насос, Z0 кроме функции собственно насоса, выполняет также функции ловушки, т.е.

его функциональные возможности расширяются.

25Формула изобретения