Многоцелевая термовакуумная установка
Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет экономить криопродукт. Внутри корпуса 1 с образованием зазора 9 выполнена криогенная камера (КК) 8, соединенная с камерой 2 посредством промежуточной полости (ГОО 10. В зазоре 9 установлен криосорбционный насос (КН) 5. Верхняя часть 11 1Ш 10 соединена через вентили с форвакуумным насосом 6 и верхней частью 15 КК 8. Нижняя часть 16 ПП 10 соединена через вентили с нижней частью 21 КК 8, с каналами 3 и с КН 5. Криопродукт из КК 8 подается в КН 5, который поглощает газы в полости корпуса и в зазоре 9, поддерживая давление в камере 2 на заданном уровне. По мере насыщения КН 5 поступление кpиoпpoдyктa в него прекращается и проводится регенерация КН 5 путем подачи в него теплоносителя из системы 7 отогрева. 1 ил. g f 11 Ю 15 л/и /77 го л 1в (Л
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
А1 (19) (11) (594 1" 04 В 3 08
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
1Р/
К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4045420/25-06 (22) 31.03.86 (46) 23.10.87. Бюл. N- 39 (72) Л.А,Жукова и Е.Г.Коробицын (53) 621,528.3(088.8} (56) Авторское свидетельство СССР
Р 700681, кл. F 04 В 37/08„ 1978. (54) МНОГОЦЕЛЕВАЯ ТЕРМОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет зкономить криопродукт. Внутри корпуса 1 с образованием зазора 9 выполнена криогенная камера (КК) 8, соединенная с камерой 2 посредством промежуточной полости (ПП) 10. В зазоре 9 установлен криосорбционный насос (КН) 5.
Верхняя часть Il ПП 10 соединена через вентили с форвакуумным насосом
6 и верхней частью 15 КК 8. Нижняя часть 16 ПП 10 соединена через вентили с нижней частью 21 КК 8, с каналами 3 и с KH 5. Криопродукт из
КК 8 подается в KH 5, который поглощает газы в полости корпуса и в зазоре 9, поддерживая давление в камере
2 на заданном уровне. По мере насыщения КН 5 поступление криопродукта . . в него прекращается и проводится регенерация КН 5 путем подачи в него теплоносителя из системы 7 отогрева.
1 ил.
6852 2 на заданном уровне. По мере насыщения криосорбционного насоса 5 закрывается вентиль 20 и отключается по5 дача криопродукта в криосорбционный насос 5, закрываются вентили 4 и 12 и проводится регенерация криосорбционного насоса 5 путем подачи в него теплоносителя из системы 7 отогрева.
Удаление выделяемых при этом газов производят форвакуумным насосом б.
Затем вновь повторяется цикл откачки камеры 2, Испытание объекта при высоких температурах в вакууме осуществляют закрытием вентилей 12, 17 и 14, открытием вентилей 20, 19, 18, 13 и 4 и подачей теплоносителя из системы
7 отогрева в промежуточную полость
8 и каналы 3 при работающем форвакуумном насосе 6.
Ф о р м у л а изобретения
Составитель Г.Соломонов
Редактор А.Ворович ТехредА.Кравчук
Корректор И.Муска
Заказ 5108/35 Тираж 570 Подписное
ВНИИПИ Г осударственного комитета СССР . по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
1 134
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к термовакуумным установкам.
Цель изобретения — экономия криопродукта.
На чертеже представлена схема установки.
Многоцелевая термовакуумная установка содержит корпус 1 с концентрично расположенной в его полости камерой 2, охватываемой каналами 3 и связанной с полостью корпуса 1 через вентиль 4, криосорбционный и форвакуумный насосы 5 и 6, систему 7 отогрева, причем установка снабжена криогенной камерой 8, выполненной внутри корпуса 1 с образованием зазора 9 и соединенной с камерой 2 посредством дополнительно выполненной промежуточной полости 10, а криосорбционный насос 5 установлен в зазоре
9, при этом верхняя часть 11 промежуточной полости 10 соединена через дополнительно установленные вентили
12-14 с форвакуумным насосом: б, верхней частью 15 криогенной камеры
8, а нижняя часть 16 промежуточной полости 10 соединена через дополнительно установленные вентили 17-20 с нижней частью 21 криогенной камеры
8, с каналами 3 и с криосорбционным насосом 5.
Установка работает следующим образом.
После загрузки объекта в камеру
2 открываются вентили 4 и 12 и откачивается полость корпуса. 1, камера
2 и промежуточная полость 10 форвакуумным насосом 6. Криогенная камера
8 заполняется криопродуктом, откуда он подается в криосорбционный насос
5 через вентили 17 и 20, а также в каналы 3 через вентиль 19 и промежуточную полость 10 через вентиль 18.
Криосорбционный насос 5 поглощает газы в полости корпуса 1 и в зазоре
9, поддерживая давление в камере 2
ЗО
Многоцелевая термовакуумная установка, содержащая корпус с концентрично расположенной в его полости камерой, охватываемой каналами и связанной с полостью корпуса через вентиль, криосорбционный и форвакуумный насосы, систему отогрева, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью экономии криопродукта, она снабжена криогенной камерой, выполнен-, ной внутри корпуса с образованием зазора и соединенной с камерой посредством дополнительно выполненной промежуточной полости, а криосорбци" онный насос установлен в зазоре, при этом верхняя часть промежуточной полости соединена через дополнительно установленные вентили с форвакуумным насосом, верхней частью криогенной камеры, а нижняя часть промежуточной полости соединена через дополнительно установленные вентили с нижней частью криогенной камеры, с каналами и с криосорбционным насосом
