Устройство для закрепления полупроводниковых пластин
Устройство для закрепления полупроводниковых пластин, содержащее основание с токоподводами и с элементами фиксации полупроводниковой пластины и хвостовик, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено элементами разъемного соединения хвостовика и основания в виде выполненных в основании фигурных пазов и фигурных штифтов, установленных на хвостовике с возможностью сочленения с фигурными пазами основания и с токоподводами, причем фигурные штифты электрически изолированы один от другого.
Похожие патенты:
Захват // 1381620
Изобретение относится к робототехнике и может быть использовано в качестве захвата при производстве полупроводниковых микроприборов и интегральных схем для манипулирования деталями типа пластины, имеющими невысокую механическую прочность и небольшую массу
Спутник-носитель для интегральных микросхем // 1380547
Способ сборки многозондовой головки // 1272378
Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники
Тара-спутник // 1264782
Изобретение относится к области производства электрорадиоизделий
Устройство для переноса изделий // 1211228
Устройство для ориентации пластин // 2131155
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов
Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины
Приспособление для закрепления пластины // 2380786
Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов
Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования
Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования
Устройство и способ для управления температурой поверхности подложки в технологической камере // 2435873
Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD
Изобретение относится к микроэлектронике
Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме