Способ определения газопроницаемости вакуумного покрытия

Авторы патента:

G01N7 - Анализ материалов путем измерения давления или объема газа или паров

Изобретение относится к те.хнологии оптического приборостроения и может быть использовано в качестве метода контроля и исследования свойств вакуумных покрытий на подложках из стекла. Цель - измерение газопроницае.мости тонкого вакуумного покрытия . На подложку наносят покрытие из пористого стекла, а затем непрерывно взвешивают и определяют газопроницаемость покрытия по изменению массы подложки.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

15@ 4 G Ol lii 7!00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3800813/23-26 (22) 11.10.84 (46) 23.07.88. Бюл. № 27 (72) В. А. Толмачев, М. А. Окатов и Н. В. Малько (53) 546.17 (088.8) (56) Ничуговский А. В. Определение влажности химических веществ. Л.: Химия, 1975, с. 149.

ÄÄSUÄÄ 1411642 А 1 (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГАЗОПРОНИЦАЕМОСТИ ВАКУУМНОГО ПОКРЪ|ТИЯ (57) Изобретение относится к технологии оптического приборостроения и может быть использовано в качестве метода контроля и исследования свойств вакуумных покрытий на подложках из стекла. Цель вЂ” измерение газопроницаемости тонкого вакуумного покрытия. На подложку наносят покрытие из пористого стекла, а затем непрерывно взвешивают и определяют газопроницаемость покрытия по изменению массы подложки.

1411642

Формула изобретения

Составитель С.Киселев

Редактор А. Ворович Техред И. Верес Корректор М. Шароши

Заказ 3647 39 Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 i 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технологии оптического приборостроений и может быть ,использовано в качестве метода контроля ,:свойств вакуумных покрытий.

Цель изобретения вЂ” измерение газопроницаемости тонких пленок.

Пример. На полированную подложку из

: пористого стекла ДВ вЂ” IM в виде диска

1, ф 18,5 мм и d=0,43 мм наносят покрытие . Ti0 а гидролизом паров TiCl. Затем подложку с покрытием на тонкой калиброванной спиральной пружине (чувствительностью 2,54 мг/мм) помещают в трубку, которую термостатируют при Т =20,0+0,1 С.

Затем в этой трубке создают постоянное давление паров воды (17,54 мм рт. ст.) и проводят непрерывный отсчет изменения положения образца (Ь + 0,02 мм) и времени взвешивания (+1 с). Результаты эксперимента изображают в координатах m/$ =

= f (t), рассчитывают (dm/dt)/$ и Ь (dm/

/dé ) /S. Проницаемость данного покрытия составила Р=0,007 0,006, Измерения потребовали 2 ч (исключая время нанесения покрытия) .

Способ определения газопроницаемости вакуумного покрытия, заключающийся в регистрации поличества поглощенного газа, прошедшего через покрытие, по изменению массы поглощающего элемента и расчета по этому изменению газопроницаемости, отличаюи4ийся тем, что, с целью измерения газопроницаемости тонких пленок, пленку наносят непосредственно на поглощающий элемент, а в качестве поглощающего элемента используют пористое стекло,

Изобретение относится к термобарогеохимии, к методам определения объема жидкой углекислоты в микровключениях, может быть использовано при поисках рудных месторождений

Устройство для измерения концентрации растворенных газов // 1409890

Тензиометр // 1408258

Способ определения места повреждения металлической оболочки подземных маслонаполненных высоковольтных кабелей // 1406463

Изобретение относится к области измерительной техники

Способ определения кокса на катализаторах крекинга // 1402841

Установка для определения концентрации газа,растворенного в жидкости // 1395990

Изобретение относится к технике измерений концентрации газа, растворенного в жидкости, и позволяет обеспечить безопасность измерений концентрации газа, растворенного в агрессивной низкокипящей жвдкости

Газоанализатор // 1394106

Изобретение относится к области, связанной с определением содержания диоксида углерода в воздухе

Устройство для контроля степени диссоциации аммиака // 1394105

Устройство для измерения концентрации газов,растворенных в жидкостях // 1392450

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, может быть использовано для контроля малых концентраций растворенного газа в жидкости и позволяет повысить точность измерений концентрации газов

Способ определения содержания газов в жидкостях // 1390528

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам измерения и контроля содержания воздуха в растворах полимерных материалов, применяемых в производстве химического волокна

Способ определения характеристик сорбции газов материалами // 2105284

Изобретение относится к области исследования физических и химических материалов, в частности к определению коэффициентов растворимости и концентраций газов в материалах

Устройство для измерения давления // 2112953

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к приборам для измерения давления среды

Способ определения расширения объекта с помощью тензометрического датчика, а также тензометрический датчик для его осуществления // 2126535

Изобретение относится к области измерительной техники и заключается в определении расширения объекта посредством тензометрического датчика

Устройство для испытания индикаторных трубок под давлением // 2136536

Изобретение относится к средствам обеспечения водолазных спусков, а именно к средствам анализа дыхательных газовых смесей индикаторными трубками, и может быть использовано в водолазных дыхательных аппаратах и водолазных комплексах

Способ анализа пористой структуры // 2141642

Изобретение относится к анализу физико-механических свойств материалов, а именно пористой структуры и сорбционных свойств разнообразных объектов, таких как мембраны, катализаторы, сорбенты, фильтры, электроды, породы, почвы, ткани, кожи, строительные материалы и др., и может быть использовано в тех областях науки и техники, где они применяются

Способ экологического мониторинга органических соединений и устройство для его осуществления // 2146811

Способ получения градуировочных парогазовых смесей // 2153158

Индикатор степени взрывоопасности газовоздушной смеси // 2161823

Изобретение относится к анализу газовоздушных смесей с каталитическим окислением и может быть использовано преимущественно для индикации в системах взрывопредупреждения и контроля степени взрывоопасности соответствующих объектов

Способ определения воздухопроницаемости объемных материалов // 2165609

Изобретение относится к материаловедению изделий легкой промышленности, в частности к методам изучения структуры и свойств материалов

Устройство для контроля скважности силосной массы в горизонтальных силосных хранилищах // 2169456

Изобретение относится к сельскому хозяйству, в частности к устройствам для контроля скважности силосной массы в процессе ее уплотнения в горизонтальных силосных хранилищах