Способ контроля кривизны плоской поверхности

 

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля кривизны плоских поверхностей. Целью изобретения является повышение производительности контроля путем измерения суммарной и разностной стрелок кривизны контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнения с последующим вычислением радиуса крив11зны. Получают интерференционную картину между пучками лучей, отраженными от контролируемой поверхности контролируемого объекта 6 и объекта 4 сравнения. Полученная интерференционная картина характеризует суммарную стрелку кривизны этих поверхностей. Далее поочередно, не нарушая положения интерферометра и объектива 3, определяют дефокусировку интерферометра , т. е. его эталонного пучка и пучка лучей, отраженного от поверхности контролируемого объекта 6. а потом от поверхности объекта 4 сравнения. Разность полученных дефокусировок определяет разностную стрелку кривизны, этих поверхностей. По су.ммарной и разностной стрелкам кривизны вычисляют радиус кривизны контролируемой поверхности объекта 6. 2 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1402802 А 1 дц 4 G Ol В 9/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

1.-;.

ЩЯ(

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

hD

С0

lg7V2 j (21) 4022245/24-28 (22) 11.02.86 (46) 15.06.88. Бюл. № 22 (72) А. В. Ребров (53) 531.715.1 (088.8) (56) Fritr В. S. Absolute calibration о1

an optical flat. — Optical Engineering, 1984, v. 23, N4,,р. 379. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ КРИВИЗНЫ

ПЛОСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля кривизны плоских поверхностей. Целью изобретения является повышение производительности контроля путем измерения суммарной и разностной стрелок кривизны контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнения с последующим вычислением радиуса кривизны. Получают интерференционную картину между пучками лучей, отраженными от контролируемой поверхности контролируемого объекта 6 и объекта 4 сравнения. Полученная интерференционная картина характеризует суммарную стрелку кривизны этих поверхностей. Далее поочередно, не нарушая положения интерферометра и объектива

3, определяют дефокусировку интерферометра, т. е. его эталонного пучка и пучка лучей, отраженного от поверхности контролируемого объекта 6. а потом от поверхности объекта 4 сравнения. Разность получеHHblx дефокусировок определяет разностную стрелку кривизны этих поверхностей.

По суммарной и разностной стрелкам кривизны вычис IHK)T радиус кривизны контролируемой поверхности объекта 6. 2 ил.!

402802

Форл1ула изобретения

45 с,йехие. Z

Составитель А. Заболотский

Редактор А. Долинич Техред И. Верес Корректор И. Эрдейи

Заказ 2843/27 Тираж 580 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Г!роектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля кривизны плоских поверхностей.

Цель изобретения — повышение производительности контроля за счет измерения суммарной и разностной стрелок кривизны контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнения с последующим вычислением радиуса кривизны.

На фиг. 1 преставлена функциональная схема устройства для получения интерференционной картины от контролируемой поверхности и поверхности обьекта сравнения; на фиг. 2 — функциональная схема устройства для последовательного получения с помощью интерферометра величины дефокусировок от контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнения.

Предложенный способ реализуется с помощbe устройства (см. фиг. 1), содержащего точечный источник 1 когерентных пучков лучей, последовательно установленные по ходу лучей точечного источника 1 светоделитель 2, коллиматорный объектив 3, в передней фокальной плоскости которого установлен точечный источник 1, объект 4 сравнения, а также диафрагму 5, оптически сопряженную со светоделительной плоскостью светоделителя 2 в передней фокальной плоскости объектива 3.

Контролируемый объект 6 устанавливают между объективом 3 и объектом 4 сравнения так, чтобы их рабочие поверхности были параллельны, а нормали к ним совпадали с оптической осью устройства.

При определении дефокусировок используют (см. фиг. 2) интерферометр 7, коллиматорный объектив 3, передняя фокальная плоскость которого совмещена с точечным источником интерферометра 7. Перед коллиматорным объективом 3 последовательно устанавливают контролирующий объект 6 и объект 4 сравнения.

Наклоняя или объект 4 сравнения (см. фиг. 1), или контролируемый объект 6 получают интерференционную картину между пучками лучей, отраженными от контролируемой поверхности контролируемого объекта 6 и поверхности объекта 4 сравнения. Наблюдатель визирует интерференцион5

25 ную картину через светоделитель 2. циафрагма 5 устраняет паразитные засветки.

Полученная интерференционная картина характеризует суммарную стрелку кривизны контролируемой поверхности 6 и поверхности объекта 4 сравнения. Эту картину регистрируют с помощью фотографии или телекамерой (не показано). При определении дефокусировок (см. фиг. 2) поочередно, не нарушая положения интерферометра 7 и объектива 3, определяют дефокусировку интерферометра 7, т. е. его эталонного пучка, и пучка лучей, отраженного от поверхности контролируемого объекта 6, а затем от поверхности объекта 4 сравнения. Затем определяют разность полученных дефокусировок, которая соответствует разностной стрелке кривизны этих поверхностей.

По полученным величинам составляют систему из двух уравнений, решение которой определяет стрелку кривизны контролируемой поверхности.

Предложенный способ обеспечивает более высокую производительность контроля, так как по сравнению с известными техническими решениями в нем отсутствует дополнительные юстировочные операции второго объекта сравнения.

Способ контроля кривизны плоской поверхности, заключающийся в том, что с помощью коллимированного когерентного пучка лучей формируют интерференционную картину от контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнения, по которой определяют суммарную стрелку кривизны этих поверхностей, и вычисляют радиус кривизны, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности контроля, с помощью дополнительного интерферометра последовательно определяют по интерференционным картинам от контролируемой поверхности и поверхности объекта сравнения величины дефокусировок, по разности дефокусировок определяют разностную стрелку кривизны этих поверхностей, а радиус кривизны контролируемой поверхности вычисляют с учетом суммарной и разностной стрелок кривизны.