Устройство для измерения распределения заряда по поверхности диэлектрика

 

Изобретение относится к эл.измерениям . Цель изобретения - повышение точности измерения. Устройство содержит измерительный зонд 1, установленный в сквозном отверстии 2 заземленной металлич. пластины (ЗМП) 3, расположенной параллельно поверхности зондируемого диэлектрика (д-ка) 4, расположенного на плоской заземленной металлич. подложке 5, механизм вибрирования (МБ) 6, механизм 7 перемещения подложки 5, блок 8 регистрации эл. сигнала с зонда 1. ЗМП 3 закреплена на MB 6, причем торец зонда 1 расположен на одном уровне с обращенной к д-ку 4 плоскостью ЗМП 3, Синхронное вибрирование с одной частотой и амплитудой зонда 1 и ЗМП 3 позволяет резко ограничить площадь зондируемой поверхности д-ка 4 и уменьшить искажение истинного значения заряда в зондируемой области. Это способствует повышен1по точности измерения распределения заряда по поверхности д-ка. 1 ил. сл

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

2519 А1 (19) (111 (51)4 С 01 R 29/12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТЯЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А BTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4087090/24-09 (22) 20. 05. 86. (46) 30,04. 88. Б(ол. 9 16 (71) Томский политехнический институт им. С.М. Кирова (72) С.Г.Боев, А.П.Суржиков и А.М.Притулов (53) 621.317.321 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 781717, кл. С 01 R 29/12, 1975.

Боев С.Г., Галанов А.И. Заряжение монокристалла фтористого лития при раскалывании. — Физика твердого тела, 1980, т. 22, 1(10, с. 30653075. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЗАРЯДА ПО ПОВЕРХНОСТИ

ДИЭЛЕ KTPHKA (57) Изобретение относится к эл.измерениям. Цель изобретения — повышение точности измерения. Устройство содержит измерительный зонд 1, установленный в сквозном отверстии 2 заземленной металлич. пластины (ЗМП) 3, расположенной параллельно поверхности зондируемого диэлектрика (д-ка) 4, расположенного на плоской заземленной металлич. подложке 5, механизм вибрирования (МВ) Ь, механизм 7 перемещения подложки 5, блок 8 регистрации эл. сигнала с зонда 1. ЗМП 3 закреплена на MB 6, причем торец зонда

1 расположен на одном уровне с обращенной к д-ку 4 плоскостью ЗМП 3, Синхронное вибрирование с одной частотой и амплитудой зонда 1 и ЗМП 3 позволяет резко ограничить площадь зондируемой поверхности д-ка 4 и уменьшить искажение истинного значения заряда в зондируемой области.

Это способствует повыпению точности измерения распределения заряда по поверхности д-ка. 1 ил, 1392519

ТиРаж 772 П и

ВНИИПИ Заказ 1888/51 одп сное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технике электрических измерений и может быть использовано для измерения распределечия заряда по поверхности диэлект5 рика при определении опасных и вредных проявлений статического электричес тв а.

Цель изобретения — повышение точности измерения.

На чертеже приведена конструкция устройства для измерения распределения заряда по поверхности диэлектрика.

Устройство для измерения распреде- 15 ления заряда по поверхности диэлектрика содержит измерительный зонд 1, установленный в сквозном отверстии

2 заземленной металлической пластины

3, расположенной параллельно поверхности зондируемого диэлектрика 4, помещенного на плоской заземленной металлической подложке 5, механизм

6 вибрирования измерительного зонда

1 и металлической пластины 3, меха- 25 низм 7 перемещения заземленной металлической подложки 5 и блок 8 регистрации электрического сигнала е измерительного зонда 1.

Устройство для измерения распреде- 30 ления заряда по поверхности диэлектрика работает следующим образом.

Над поверхностью расположенного на заземленной металлической подложке

5 испытываемого диэлектрика 4 уста35 навливают измерительный зонд 1, помещенный в сквозном отверстии 2 заземленной металлической пластины 3 °

Заземленная металлическая пластина 3 параллельна поверхности диэлектрика

4 и не соприкасается ни с зондом 1, ни с диэлектриком 4. С помощью механизма 6 вибрирования измерительный зонд 1 и заземленная металлическая пластина 3 вибрируют синхронно с од45 ной частотой и амплитудой в направлении, перпендикулярном поверхности диэлектрика 4. На измерительном зонде 1 при этом индуцируется электрический сигнал, пропорциональный по величине заряду в зондируемой точке поверхности диэлектрика 4, который регистрируется блоком 8 регистрации.

С помощью механизма 7 перемещения заземленной металлической подложки 5 осуществляется перемещение диэлектрика 4 вместе с заземленной подложкой 5 над измерительным зондом 1, что позволяет измерить распределение заряда по поверхности диэлектрика 4.

Синхронное вибрирование с одной частотой и амплитудой измерительного зонда 1 и заземленной металлической ппастины 3, в сквозном отверстии 2 которой установлен измерительный зонд 1, позволяет резко ограничить площадь зондируемой поверхности диэлектрика 4 и уменьшить искажение истинного значения заряда в эондируемой области зарядом с соседних участков поверхности. Все это и способствует повышению точности измерения распределения заряда по поверхности диэлектрика.

Формула изобретения

Устройство для измерения распределения заряда по поверхности диэлектрика, содержащее измерительный зонд, размещенный в сквозном отверстии, выполненном в заземленной металлической пластине, которая параллельна поверхности диэлектрика, расположенного на плоской заземленной металлической подложке, механизм вибрирования измерительного зонда в направлении, перпендикулярном плоскости заземленной металлической пластины, механизм перемещения плоской заземленной металлической подложки и блок регистрации, вход которого соединен с выходом измерительного зонда, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, заземленная металлическая пластина закреплена на механизме вибрирования измерительного зонда, причем торец измерительного зонда расположен на одном уровне с обращенной к диэлектрику плоскостью заземленной металлической пластины.