Датчик внутреннего напряжения покрытий для устройств электрохимического осаждения
Изобретение относится к элейтрохимии и может быть применено для определения внутреннего напряжения покрытий при электролизе. Цель изобретения - повьшение точности измерений путем компенсации изменения температуры электролита и обеспечение много
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
„BU 1382 80 А1 (51)4 С 25 D 21 12 опислни изовгктьния
И А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4078130/23-02 (22) 12.05.86 (46) 23.03.88.Бюл. Р 11 (71) Научно-производственное объединение "Медоборудование" (72) А.С.Лев и А.А.Егорычев (53) 621.357.7 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
11 362072, кл. G 01 В 7/06,,1971.
Авторское свидетельство СССР
У 449110, кл. С 25 D 21/12, 1970.
2 (54) ДАТЧИК ВНУТРЕННЕГО НАПРЯЖЕНИЯ
ПОКРЫТИЙ ДЛЯ УСТРОЙСТВ ЗЛЕКТРОХИИИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ (57) Изобретение относится к электрохимии и может быть применено для определения внутреннего напряжения покрытий при электролизе. Цель изобретения — повышение точности измерений путем компенсации изменения температуры электролита и обеспечение много1382880
Таким образом, использование предлагаемого датчика позволит деформацию с помощью тензорезисторов преобразовать в электрический сигнал,обес5 печивающий автоматизацию измерений, По окончании измерений электропроводящий слой вместе с осажденным на нем металлом снимается и заменяется новым для последующегО использования датчика. Экранирование одной стороны пластины необходимо для обеспечения изгиба пластины, а наклейка тенэореэисторов 3 и на обе стороны пластины обуславливает компенсацию изменения температуры электролита, как следствие этого, повышает точность измерений внутреннего напряжения. На последнее также влияет то, что, используемая в качестве пластины балка равного сопротивления обеспечивает равномерное распределение деформации по всей длине тензореэист0ров ° формулаизобретения
Датчик внутреннего напряжения покрытий для устройств электрохимнческого осаждения, содержащий балку, на боковую поверхность которой наклеены поцключенные к измеритель.-. ой схеме тензорезисторы и нанесена услойное покрытие, один из слоев которого выполнен иэ изоляционного материала, и элементы креп."ения, о т— л и ч а ю шийся тем, -то, с целью повышения точности измерений путем компенсации изменения температуры электролита и многократного использования датчика, тензорезисторы наклеены симметрично на обе стороны балки, внешний слой покрытия одной из сторон балки выполнен из такоправодящего материала, а элементы крепления смонтированы на одном конце балки, которая имеет равное сопротивI ление деформации.
1382880
Составитель Л.Груднева
Техред Ц.Дидык
Корректор А. Зимокосов
Редактор Н.Гунько
Тираж 621 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
Заказ 1265/24
Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4



