Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений

 

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для измерения угловых перемещений объекта и может быть использовано в машиностроении для проверки угломерных устройств. Целью изобретения является повышение точности за счет выполнения отражательного блока и использования диафрагмы как вторичного источника . При вращении объекта 6 вокруг оси вместе с ним вращается и оптический клин 5, вносящий сдвиг в оптическую разность хода лучей, прошедших клин 5 и отраженных от покрытия 7. В зависимости от угла поворота объекта 6 изменяются оптические пути лучей, дважды проходящих клин 5 и падающих на щелевую диафрагму 8, щели которой образуют вторичные источники излучения. Оптическая система 9 формирует интерференционную картину в плоскости щелевой диафрагмы 10. Изменение оптической разности хода интерферирующих лучей приводит к движению интерференционных полос на регистрирующей системе 11, которая преобразует полосы в импульсы фототока и производит их подсчет с последующим вычислением значения угла поворота. 1 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 С 01 В 11 26

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3880353/24-28 (22) 05.04.85 (46) 07.01.88, Бюл, В 1 (71) Горьковский инженерно-строительный институт им. В.П. Чкалова (72) В.В. Виноградов (53) 531.715.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 697809, кл. С 01 В 11/26, 1975. (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ

ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для измерения угловых перемещений объекта и может быть использовано в машиностроении для проверки угломерных устройств. Целью изобретения является повышение точности за счет выполнения отражательного блока и использования диафрагмы как вторичного ис„„SU„„1 64866 А1 точника. При вращении объекта 6 вокруг оси вместе с ним вращается и оптический клин 5, вносящий сдвиг в оптическую разность хода лучей, прошедших клин 5 и отраженных от покрытия 7. В зависимости от угла поворота объекта 6 изменяются оптические пути лучей, дважды проходящих клин

5 и падающих на щелевую диафрагму

8, щели которой образуют вторичные источники излучения. Оптическая система 9 формирует интерференционную картину в плоскости щелевой диафрагмы 10. Изменение оптической разности кода интерферирующих лучей приводит к движению интерференционных полос на регистрирующей системе 11, которая преобразует полосы в импульсы фототока и производит их подсчет с последующим вычислением значения угла поворота. 1 ил.

1364866

Формула изобретения

Составитель Н. Захаренко

Корректор С. Шекмар

Редактор П. Гереши

Техред М.Дидык

Заказ 6576/31 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государстенного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для измерения угловых перемещений объекта и может быть использовано в машино5 строении для проверки угломерных устройств.

Цель изобретения — повышение точности измерения за счет выполнения отражательного блока и использования диафрагмы как вторичного источника, На чертеже представлена оптическая схема устройства.

Интерференционное устройство содержит последовательно расположенные ос- i5 ветитель 1, включающий лазер 2 и коллиматор 3, светоделитель 4 для деления падающего излучения на два потока, в одном из которых установлен отражательный блок в виде оптического клина 5, скрепляемый с объектом 6.

На оптический клин 5 нанесено зеркальное покрытие 7 со стороны, обращаемой к объекту 6. Во втором потоке от светоделителя 4 последовательно установ- 25 лены двухщелевая диафрагма 8, оптическая система 9, щелевая диафрагма

10 и регистрирующая система 11.

Устройство работает следующим об- ЗО разом.

Излучение от лазера 2, пройдя коллиматор 3 и светоделитель 4, делится на два потока, один из которых направляется на клин 5 другой-- на диафрагФ

35 му 8.

При вращении объекта 6 вокруг оси вместе с ним вращается и оптический клин 5, вносящий сдвиг в оптическую разность.хода соответствующих лучей, 40 прошедших клин 5 и отраженных от по-

1 крытия 7. В зависимости от угла поворота объекта 6 изменяются оптические пути лучей, дважды проходящих клин 5 и падающих на щелевую диафрагму 8, щели которой образуют вторичные источники излучения. Оптическая система 9 формирует интерференционную картину в плоскости щелевой диафрагмы 10. Изменение оптической разности хода интерферирующих лучей, вызванное поворотом объекта 6, приводит к движению ннтерференционных полос на регистрирующей системе 11, которая преобразует их в импульсы фототока и производит их подсчет с последующим вычислением значения угла поворота.

Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений, содержащее последовательно расположенные осветитель и светоделитель для деления падающего излучения на два потока, в одном из которых установлен отражательный блок, скрепляемый с объектом, в другом последовательно установлены оптическая система, щелевая диафрагма и регистрирующая система, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено двухщелевой диафрагмой, установленной между оптическим блоком и светоделителем, а отражательный блок выполнен в виде оптического клина с зеркальным покрытием со стороны, обращаемой к объекту.