Способ выделения гелия
Авторы патента:
Похожие патенты:
Способ разделения углеводородных газов // 132246
Ректификационный аппарат // 128878
Способ получения криптона и ксенона // 61026
Способ получения аргона // 51441
Способ очистки аргона от азота // 99135
Способ получения криптона и ксенона // 51564
Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Автономная малогабаритная станция для регенерации ксенона из отработанных газонаркотических смесей // 2181604
Изобретение относится к технике получения чистых (98,0-99,0%) инертных газов, в частности ксенона из отработанных газонаркотических смесей наркозных аппаратов
Изобретение относится к области очистки и разделения многокомпонентной смеси