Способ гальванического титанирования полупроводниковой пленки из двуокиси олова

№ 134090

Класс 48а, 5

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMV СВИДКтьльотВУ

Подписная группа JH 208

А. М. Иванова

СПОСОБ ГАЛЬВАНИЧЕСКОГО ТИТАНИРОВАНИЯ

ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛЕНКИ ИЗ ДВУОКИСИ ОЛОВА, НАНЕСЕННОЙ НА ИЗОЛЯТОР

Заявлено 18 апреля 1960 г. за № 663650/22 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» М 23 за 1960 г.

Известные способы титанирования из водных растворов предусматривают применение металлического катода (сталь, медь, цинк) и основаны на электролизе трехвалентных соединений титана, что обусловливает большую сложность приготовления электролитов и их нестабильность

По предлагаемому способу титанирование полупроводниковой пленки, нанесенной на изолятор, производится из водных растворов, содержащих только двойные соли органических кислот титана, например щавелевой, винной, лимонной и других солей, гидролизующихся с образоBd èñì двухвалентного иона TiO . Применение описываемого способа позволяет получать на полупроводниковой пленке из двуокиси олова металлическую пленку титана, обладающую высоким омическим сопротивлением, стабильным переходным сопротивлением, низкотемпер атурным коэффициентом сопротивления и хорошей износостойкостью.

Титанирование полупроводниковой пленки производится в водном растворе любой из двойных солей титана: калий титан щавелевокислый, натрии титан виннокислый или натрий титан лимоннокислый. Концентрация соли титана в электролите выбирается в зависимости от толщины и омического сопротивления полупроводниковой пленки двуокиси олова, служащей катодом. Гальваническое осаждение титана проводится при плотностях тока порядка 4 — 8 ма/см - и температуре раствора 18 — 25. рН раствора поддерживается в пределах 2,0 — 2 3 и корректируется серной кислотой. В качестве нерастворимых анодов применена платина.

Процесс титанирования полупроводниковой пленки из двуокиси олова продолжается от 8 до 30 мин. Полученная пленка хорошо облуживается мягкими припоями. № 134090

Предмет изобретения

Редактор Н. Л. Леонтьева Текред А. А. Камышникова Корректор О. П. Филиппова

Формат бум. 70Х108 /i6 Объем О,IT п. л.

Тираж 1100 Цена 25 коп.; с 1.1-61 г. — 3 коп.

ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6

Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14.

Поди. к печ. IО,XI-60 r

Зак. 9511

Способ гальванического титанирования полупроводниковой пленки из двуокиси олова, нанесенной на изолятор, отличающийся тем, что, с целью получения высокого омического сопротивления, стабильности переходных сопротивлений, низких температурных коэффициентов сопротивления и хорошей износостойкости, полупроводниковую пленку из окиси олова титанируют из растворов, содержащих только двойные соли органических кислот титана, например щавелевой, винной, лимонной и других солей гидролизующихся с образованием двухвалентного иона при плотностях тока от 4 до 8 иа/с,нз, температуре раствора 18—

25 и рН вЂ” 2,0 — 2,3.