Инструментальная головка

 

Изобретение относится к механической обработке монокристаллов, преимущественно полупроводниковых. Целью изобретения является автоматизация процесса натяжения алмазного круга и повышение производительности обработки. Установка и натяжение алмазных отрезных кругов с внутренней режущей кромкой осуществляется с псшощыо упругого натяжного элемента , заполняемого сжатым газом или жидкостью под давлением. Соединение упругого элемента 5 с канавкой прижимного кольца 8 каналов 10 через клапан давления. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

255 А2 (19) (И) (51) 4 В 28 D 1/12 5/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н A ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (61) 1114561 (21) 3911662/29-33 (22) 10.06.85 (46) 30. 11.86. Бюл. У 44 (71) Брянский ордена "Знак Почета" институт транспортного машиностроения (72) В.Т. Муцкий и В.В. Агафонов (53) 679.8.053.11(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1114561, кл. В 28 D 1/12, В 28 D 5/02, 1984. (54) ИНСТРУМЕНТАЛЬНАЯ ГОЛОВКА (57) Изобретение относится к механической обработке монокристаллов, преимущественно полупроводниковых.

Целью изобретения является автоматизация процесса натяжения алмазного круга и повышение производительности обработки. Установка и натя:кение алмазных отрезных кругов с внутренней ревущей кромкой осуществляется с помощью упругого натяжного элемента, заполняемого сжатым газом или жидкостью под давлением. Соединение упругого элемента 5 с канавкой прижимного кольца 8 каналов 10 через клапан давления. 2 ил.

12732

Формула изобретения

Фив. 2

Составитель Е.Булеков

Техред В.Кадар

Редактор В.Ковтун

Корректор С.Шекмар

Заказ 6376/ 13

Тираж 555 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к механической обработке монокристаллов, а именно к устройствам для установки и равномерного натяжения алмазных кругов с внутренней режущей кром- 3 кой и является дополнительным к авт.св. У 1114561.

Цель изобретения — автоматизация процесса натяжения алмазного круга и повьппение производительности обработки.

На фиг. 1 изображена инструментальная головка; на фиг. 2 — узел I на фиг. 1.

Инструментальная головка содержит корпус 1 с кольцевой канавкой 2 и базирующим фланцем 3, нажимное кольцо 4 и установленным на нем кольцевым упругим элементом 5, заполненным сжатым газом или жидкостью под давлением, алмазный круг 6, закрепленный между корпусом 1 и нажимным кольцом 4 посредством винтов 7. Эффективная поверхность элемента 5 представляет собой кольцо, внутренний контур которого очерчен окружностью, а наружный — кривой, образованный наложением на окружность косинусоиды четырехкратного значения текущего угла. Инструментальная го- 30 ловка снабжена прижимным кольцом 8 и имеет расположенную со стороны алмазного круга 6 канавку 9 в нажимном кольце 4. При этом прижимное кольцо

8 установлено в канавке 9 нажимного кольца 4 с возможностью осевого

его перемещения при прижатии алмазного круга 6 к базирующему фланцу 3.

55 2

Полость кольцевой канавки 9 нажимного кольца 4 соединена с полостью упругого элемента 5 каналом 10, снаб женным клапаном давления 11.

Инструментальная головка работает следующим образом.

Алмазный круг 6 устанавливают между корпусом 1 и нажимным кольцом 4 и закрепляют по периферии с помощью винтов 7. Натяжение круга осуществляют нагнетанием в полость упругого элемента 5 газа или жидкости под давлением.

При этом открывается клапан давления 11 и сжатый воздух или жидкость под давлением по каналу 10 поступает в полость кольцевой канавки 9, воздействует на торец прижимного кольца

8, автоматически перемещая его в осевом направлении до полного прижатия плоскости круга 6 к поверхности базирующего фланца 3, что приводит к выравниванию плоскости алмазного круга.

Инструментальная головка по авт.св. 11 - 1114561, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью автоматизации процесса натяжения алмазного круга и повышения производительности обработки, нажимное кольцо выполнено с каналом, при помощи которого полость упругого элемента сообщена с канавкой прижимного кольца, причем канал выполнен с вмонтированным в него клапаном давления.