Способ изготовления интерференционного узкополосного фильтра

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 G 02 В 5/28!

/

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ тб

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTKPblTHA (21) 3733455/24-10 (22) 26.04.84 (46) 07.01.86. Бюл. № 1 (71) Специальное конструкторское бюро средств аналитической техники (72) И. И. Беца и В. В.. Беца (53) 535.345.67 (088.8) (56) Фурман Ш. А. и др. Оптика и спектроскопия, 1970, т. 28, с. 766.

Фурман Ш. А. Тонкослойные оптические покрытия. — Л.: Машиностроение, 1977, с. 205, 237. (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО УЗКОПОЛОСНОГО ФИЛЬТРА, включающий нанесение на прозрачную в рабочей области спектра подложку путем термического испарения диэлектрического покрытия, выполненного из

„„SU„„1203456 А чередующихся слоев сульфида цинка или сульфида сурьмы и фторида магния, фторида стронция или криолита, и последующую термообработку, отличающийся тем, что, с целью сокращения длительности процесса стабилизации спектрального положения мак симума коэффициента пропускания фильтра при одновременном улучшении оптического качества за счет увеличения максимального пропускания и уменьшения полуширины полосы пропускания, термообработка включает циклические нагрев до 140 — 180 Ñ со скоростью 1,6 — 1,8 град/мин, последующее охлаждение до 100 С со скоростью 1,2 град/

/мин, нагрев до 145 — 155 С со скоростью

1,1 — 1,3 град/мин, нагрев до 160 — 180 С со скоростью 1,0 град/мин, охлаждение до 135 С со скоростью 1,! — 1,3 град/мин, нагрев до Ж

155 Ñ со скоростью 1,0 град/мин и охлаждение до 60 — 70 С со скоростью 1,1 град/мин. Ц ф

1203456

Составитель П. Яковлев

Техред И. Верес Корректор И. Эрдейи

Тираж 525 Г1одписное

ВНИИГ1И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор В. Петраш

Заказ 8412/49

Изобретение относится к интерференционным узкополосным фильтрам и может быть использовано для монохроматизации излучения в оптическом диапазоне спектра.

Цель изобретения — сокращение длительности процесса стабилизации спектрального положения максимума коэффициента пропускания фильтра при одновременном улучшении оптического качества за счет увеличения максимального пропускания и уменьшения полуширины полосы пропускания.

На чертеже показаны зависимости коэффициента пропускания Т от длины волны Л девятислойного интерференционного фильтра из пленок сульфида сурьмы и фторида стронция.

Спектральная характеристика полосы пропускания фильтра после нанесения диэлектрического покрытия обозначена кривой 1, кривая 2 соответствует фильтру, прошедшему термообработку в оптимальном режиме.

Прил1ер. На прозрачную в рабочем диапазоне спектра подложку методом термического испарения наносят диэлектрическое покрытие. Покрытие состоит из чередующихся слоев сульфида цинка или сульфида сурьмы, имеющих высокий показатель преломления, и фторида магния, фторида стронция или криолита с низким показателем преломления. После нанесения диэлектрического покрытия фильтр подвергается термообработке.

Термообработку выполняют в сушильном шкафу типа ШСУ, и она включает циклические нагрев до 160 С со скоростью 1,7 град/

/мин, последующее охлаждение до 100 С со скоростью 1,2 град/мин, нагрев до 150 С со скоростью 1,22 град/мин, нагрев до 176 С со скоростью 1,0 град/мин, охлаждение до

135 С со скоростью 1,16 град/мин и охлаждение до 70 С со скоростью 1,! град/мин.

Способ изготовления позволяет увеличить максимальное пропускание узкополосного фильтра более, чем на 10 /p, уменьшить полуширину полосы пропускания на 5 — 10о/p и сократить длительность процесса стабилизации максимума пропускания до 6 10 ч.