Электролит для травления алюминия

 

-ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯ, покрытого окисной пленкой, преимущественно при наличии тока, содержащей ферроцианид калия и воду, отличающийся тем, что, с целью уменьшения степени растравливания пленки, он дополнительно содержит хлористый аммоний и серную кислоту при следующем соотнощении компонентов , мас.%; Ферроцианид калия 5-20 Хлористый аммоний 0,5-0,7 Серная кислота 2,5-3,6 ВодаОстальное

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

PECflYEiËÈH (51)4 С 25 F 3 04

ОГ1ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ""

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР пО делАм изОБРетений и ОткРытий (21) 3533794/22-02 (22) 06.01.85 (46) 07. 10. 86. Бюл. N 37 (72) Т. В. Гиоева, И. В. Берг и Н, А. Сибирякова (53) 621.357.8(088,8) (56) Соболева Н, Т., Забелко А.Г.

Электрохимические методы формирова.ния рисунка металлизации интегральных схем. — Вопросы радиоэлектроники.

Сер, "Технология производства и обо" рудования", 1978, вып. 1, с. 61-70, Патент Великобритании У !499037, кл. С 23 F 1(02, 1978.

„„SU„„32619?7 А1 (54)(57).ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ

А1ПОИИНИЯ, покрытого окисной пленкой, преимущественно при наличии тока, содержащей ферроцианид калия и воду, отличающийся тем, что, с целью уменьшения степени растравливания пленки, он дополнительно содержит хлористый аммоний и серную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Ферроцианид калия 5-20

Хлористый аммоний 0,5-0,7

Серная кислота 2,5-3,6

Вода Остальное

1261977

Составитель Ю. Поздеева

Техред Ц.Попович Корректор А Тяско

Редактор Н. Егорова

Заказ 5301/2! Тираж 615 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул,Проектная, ч

Изобретение относится к области прикладной химии и может найти применение в технологических процессах химической обработки поверхности алюминия.

Целью изобретения является уменьшение степени растравливания пленки, Электролит готовят следующим образом.

В водный раствор серной кислоты вводят водный раствор ферроцианида калия. После перемешивания полученной смеси добавляют водный раствор хлористого аммония и раствор тщательно перемешивают. рН полученного раствора составляет 1,5-2, Пример l, Готовят электролит следующего состава, мас,7.:

Ферроцианид калия 5

Хлористый аммоний 0,5

Серная кислота 2,5

Вода 92

Режим травления: напряжение 5В; плотность тока 0,2 А/сн, Соотноше2

\ ние скорости травления алюминия и скорости травления окиси алюминия

1:0,15, Пример 2. Готовят электролит следующего состава, мас ° 7:

Ферроцианид калия, 20

Хлористый аммоний 0,7

Серная кислота 3,6

Вода 75,7

Режим травления: напряжение 5 В, плотность тока 0,2 А/сн, Соотноше2 ние скорости травления алюминия и окиси алюминия i:0 3.

Пример 3. Готовят электролит .следующего состава, мас,7.:

Ферроцианид калия 10

Хлористый аммоний 0,5

Серная кислота 3,0

Вода 86 5

Режим травления: напряжение 8 В, плотность тока 0,3 А/сн . Соотношение скорости травления алюминия и скорости травления окиси алюминия в электролите l:0,1.