Смазочно-охлаждающая жидкость для полирования керамики

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„, 1247414

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н A ВтОРскому свидетельству д!с;,.„ Т! .МА

0,5-1,5 (21) 3857535/23-04 (22) )7.12.84 (46) 30.07.86, Бюл. № 28 (7!) Ивановский ордена Трудового

Красного Знамени химико-технологический институт (72) Г. А. Смирнов и Т. П. Антюфеева (53) 621.892;621.7.016.3(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 420655, кл. С 10 M 3/16, 1975.

Авторское свидетельство СССР № 810764, кл. С 10 M 1/06, 1981. (54)(57) смАзочно-охлАлщАющАЯ жидКОСТЬ ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ КЕРАМИКИ, содержащая воду, нефтепродукт и полиоксиэтилированное поверхностно-активное вещество, о т л и ч а ю щ а я— с я тем, что, с целью повышения смазочных свойств, жидкость в каче(511 4 С 10 М 173/00 //(С 10 М 173/00 э

129:16, 159:04) С 1О М 30:06, 40:22 стве нефтепродукта содержит дизельное топливо и в качестве полиоксиэтнлированного поверхностно-активного вещества — полиэтиленгликолевые эфиры олеиновой кислоты, полиэтиленгликолевые эфиры стеариновой кислоты и полиэтиленгликолевые эфиры высших жирных спиртов при следующем,соотношении компонентов, мас,X:

Дизельное топливо 28-32

Полиэтиленгликолевые эфиры олеиновой кислоты 3,5-4,5

Полиэтиленгликолевые эфиры стеарино. вой кислоты

Полиэтиленгликолевые эфиры высших жирных спиртов 0,04-0,08

Вода Остальное

1247414

Изобретение относится к смазочноохлаждающим жидкостям (СОЖ),, применяемым при полировании керамики, в частности,при полировании алмазными пастами подложек из высокоглиноземи- 5 стой керамики, используемых в качестве плат микросхем в электронной и радиотехнической промышленности.

Целью изобретения является повышение смазочных свойств жидкости.

Для приготовления СОЖ используют дизельное топливо марки,цС в качестве полиэтпленгликолевых эфиров олеиновой кислоты используют товарный продукт "Олеокс-5", в качестве полиэтиленгликолевых эфиров стеариновой кислоты и высших жирных спиртов целесообразно использовать соответственно товарный продукт "Стеарокс-6" и

ОС-20. 20

Приготовление смазочно-охлаждающей жидкости производится следующим образом.

В емкость заливается необходимое количество дизельного топлива., добавляется расчетное количество полиэтиленгликолевых эфиров стеариновой и олеиновой жирных кислот и в течение нескольких минут (2-3) содержимое перемешивается при комнатной температуре. Затем вводится поповина расчетного количества воды с растворенным в ней полиэтиленгликолевым эфиром высших жирных спиртов и снова производится перемешивание (8-10 мин) 35 до образования концентрированной молочно-белой эмульсии дизельного топлива в воде. После этого доливаетсл до нормы вода и продолжается перемешивание еще 3-4 мин. Были приготов- 4О лены следуюшие составы СОЖ (табл. 1), Приготовленные СОЖ испытаны на полировке подложек из высокоглиноземистой керамики "поликор" на станке ЗЙП. 45

Размер подложек в плане 60 х 48 мм, толщина 1 мм. Подложки наклеивались специальной канифольно-шеллаковой мастикой на стальные диски. Инструментом служил горизонтально:вращаю- g0 щийся диск с концентрическими кольцевыми канавками, изготовленный из серого чугуна С4 15-32. Стальные диски с наклеенными подложками накпадывадись íà TIpHTHpjcBepxy и прижимались у

< помощью стальной штанги, установленной на конце поводка. Рабочее движение поводка возвратно-вращательное.

50

Из табл. 2 следует, что предложенная СОЖ позволяет увеличить по сравнению с прототипом выход годных деталей на полировке керамических изделий " 38 до 94-96%, Режим обработки:

Скорость вращения притира, об/мин 100

Число двойных ходов поводка в минуту

Удельное давление на подложку, кг/см 1

Время обработки, мин 15

Применялась серийная алмазная паста на органической основе ACM 5/3

ПОМ, которая наносилась на подложки перед обработкой намазыванием. Исходная шероховатость поверхности подло-жек соответствовала 6-му классу чистоты. СОЖ подавалась в зону обработки периодическим поливом, С каждой СОЖ было обработано по 100 подложек. Визуально контролировалось качество их обработки. Родными считались подложки с зеркальной поверхностью без дефектов,царапин). Сравнение провоf дилось с известной СОЖ (табл, 2, состав 6).

Результаты испытаний приведены в табл. 2, Как показали лабораторные исследования,, при содержании дизельного топлива в эмульсии менее 28 мас.% смазочное и растворяющее действие ее ухудшаегся,. что отрицательно сказывается на качестве обработки. При содержании дизельного топлива в эмульсии более 32 вес.% увеличивается вязкость эмульсии, ухудшается смывание шлама с притира и начинается рост числа поверхностных дефектов (царапин).

К аналогичным результатам приводят отклонения от заданного содержания в предложенной СОЭ полиэтиленгликолевых эфиров =òåàðèíîâîé и олеиновой кислот.

Содержание полиэтиленгликолевых эфиров высших жирных спиртов в эмульсии выбиралось таким образом, чтобы устойчивость ее против коалесценции была не ниже 2 сут. Это условие BbI полняется при содержании этого нродукта в эмульсии в пределах 0,04

0,.08 мас,%. Увеличение его количест.ва сопровождается ухудшением полирующих свойств СОН.

1247414

Таблица 1

Компоненты СОЖ

Содержание, мас.Ж, состава 11

Дизельное топливо

30

27 33

Полиэтиленгликолевые эфиры кислот: стеариновой

0,5

1,0

1,5

0,4 1,6

3 5 олеиновой

4,5

Полиэтиленгликолевые эфиры высших жирных спиртов 0,04

0,06

0,08

0,02 0,1

Вода

Таблица 2 бщий брак

Сос- Число обтав, работанР ных деталей

Число

Распределение брака по видам годных детале

Царапины Недополировка рапины и дополироводновренно

96

89

10

38

62

Составитель Е. Пономарева

Редактор М. Келемеш Техред B.Kapap Корректор Е. Сирохман

Тираж 482 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 4080/26

Производственно-полиграфическое предприятие, r, Ужгород, ул. Проектная, 4

1 100

2 100

3 100

4 100

5 100

6 100

До 100, До 100 До 100 До 100 До 100