Интерференционное устройство для измерения штриховых мер

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к средствам для измерения длины штриховых мер. Цель изобретения - повьппение точности измерений - достигается за счет четырехкратного прохождения световым потоком измеряемого расстояния. Перемещение отража-/ телей приводит к смещению интерференционных полос, соответствующему алгебраической сумме перемещений их вершин вдоль объекта, что соответствует удвоенной величине перемещения фокуса микроскопа в силу его. расположения на каретке, установленной в такое положение, при котором фокус микроскопа совмещен со ттрнг хом меры, т.е. объектом, удвоенное перемещение фокуса микроскопа вдоль которого соответствует удвоенному расстоянию между штрихами меры. 1 ил. I (Л го ю д; СП 05 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) : 1) 4 С 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA

К АВТОРСКОМ / СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3544777/24-28 (22) 21.01.83 (46) 15,04,86. Бюл. № 14 (72) А.А. Болонии (53) 53!.715.27 (088.8) (56) Патент ГДР № 111735, кл. G 01 В ll/14, 1975.

Патент ФРГ № 2425006, кл. G Ol В 2/02, 1979. (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ШТРИХОВЫХ МЕР (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к средствам для измерения длины штриховых мер. Цель изобретения - повышение точности измеренийдостигается за счет четырехкратного прохождения световым потоком измеряе" мого расстояния. Перемещение отража- телей приводит к смещению интерференционных полос, соответствующему алгебраической сумме перемещений их вершин вдоль объекта, что соответствует удвоенной величине перемещения фокуса микроскопа в силу его, расположения на каретке, установленной в такое положение, при котором фокус микроскопа совмещен со штри-, хом меры, т.е. объектом, удвоенное перемещение фокуса микроскопа вдоль которого соответствует удвоенному

Я расстоянию между штрихами меры. 1 ил.

1224568

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частнос» ти к средствам для измерения длины штриховых мер.

Цель изобретения — повышение точности измерений.

На чертеже изображено интерфеC ренционное устройство для измерения штриховых мер.

Устройство содержит станину 1, интерферометр, включающий установленные на станине 1 осветитель 2, полупрозрачные пластины 3 и 4, регистрирующий узел S и уголковые отражатели 6 и 7. На станине 1 уста новлена с возможностью перемещения вдоль объекта 8 каретка 9 с расположенными на ней уголковыми отражателями 6 и 7 и микроскопом 10, размеденным таким образом, что era фокус расположен симметрично относительно оптических центров отражателей 6 и 7.

На станине 1 установлена также система из отражающих элементов, последо-, вательно размещенных один за другим под углом один относительно другого, отражающими поверхностями навстречу друг другу. Отражатель 6 оптически связан с элементом.11, а отражатель 7 оптически связан с элемен» том 12 и через пластину 4 с регистрирующим узлом 5.

Устройство работает следующим образом.

Световой поток от .осветителя

2 через пластину 3 проходит на отражатель 6, образуя измерительный поток, и отражается на пластину 4, образуя опорный поток. От отражателя 6 световой поток через отражательные элементы 11 и 12 падает . на отражатель 7, а от него, пройдя через пластину 4 — на регистрирующий узел 5, Таким образом, световой поток проходит измеряемое расстояние четыре раза. Измерительный поток, прошедший через пластину 4, смеши-. вается с опорным потоком, отражен" ным этой пластиной 4, и образует на регистрирующем узле 5 интерферен« ционную картину в виде полос. Перемещение оптических центров кажцого из отражателей 6 и 7 вдоль объекта

8 приводит к смещению интерференционных полос, соответствующему величине и направлению перемещения.

Перемещение двух отражателей 6 и 7

30

Интерференционное устройство для измерения штриховых мер, содержащее станину, интерферометр, включающий осветитель, установленный на станине, и уголковый отражатель, микроскоп, каретку, установленную с возможностью перемещения вдоль объекта измерения, и регистрирующий узел, установленный на станине, а уголковый отражатель и микроскоп расположены на каретке, о т л и ч а ю щ е е— с я тем, что, с целью повышения точности измерений, оно снабжено вторым уголковым отражателем, установленным на каретке, и системой из отражающих элементов, установленных на станине последовательно один эа другим под углом один относительно другого, отражающими поверхностями навстречу друг другу, первый из отражателей оптически связан с первым; из отражающих элементов, а второй оптически связан с последним из отражающих элементов и с регистрирующим элементом, а микроскоп размещен таким образом, что его фокус располо жен симметрично относительно оптических центров отражателей, 35

55 приводит к смещению интерференционных полос, соответствующему алгеб-, раической сумме перемещений их вершин вдоль объекта 8, что соответствует удвоенной величине перемещения фокуса микроскопа 10 в силу его расположения на каретке 9. Каретку

9 устанавливают в такое положение, при котором фокус микроскопа 10 совмещен со штрихом меры, которая является объектом 8, Перемещая каретку 9 до совмещения фокуса микроскопа 1О с другим штрихом меры, регистрируют смещение интерференционных полос, величина которого, соответствующая удвоенному перемещению фокуса микроскопа вдоль объекта 8 (штриховой меры), соответствует удвоенному расстоянию между штрихами меры, В устройстве используется ва-. куумированный корпус.

Предлагаемое размещение микроскопа приводит в совокупности с остальными признаками к исключению погрешt ности Аббе, что позволяет повысить точность измерения, в частности, штриховых мер. формула изобретения

1224568

9 lZ

Составитель В. Климова

Редактор А. Orap Техред Н. Бонкало Корректор! Л. Пилипенко

Заказ 1913/36 Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113033, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4