Интерференционный отрезающий фильтр

 

1. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ОТРЕЗАЮЩИЙ ФИЛЬТР, содержащий прозрачную подложку с последовательно располо-женными на ней первой и второй многослойными системами, состоящими из чередующихся четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показателями преломления и выполненными с центром на длине волны / и -соответственно, при этом riepDbrfi и последний слои первой и вторрй многослойньк систем выполнены из материала с высоким показателем преломления и оптической толщиной и соответственно, отличающийся тем, что, с целью уменьшения интегрального коэффициента фона при сохранении максимального пропускания, между первой и второй многослойными системами введен согласующий слой материала с низким показателем преломления и оптической толщиной, равной 71/8. S 2. Фильтр поп, 1,отлича (Л ю щ и и с я тем, что в качестве ма-. териала с высоким показателем преломления использован германий, а материт ала с низким показателем преломления -С моноокись кремния.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) Ш!

ЗЮВ С 02 В 5 28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

fl0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНЯТИЙ (21) 3387317/ 8-10 (22) 27. 01. 82 (46) 23. 1!.84. Бюл. Р 43 (72) В.И.Ларченко, М.А.Орлов, В.А. Беляковский и В.И.Сергеев (71} Киевское научно-производственное объединение "Аналитприбор" (53) 535.345.67(088.8) (56) 1. Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрытия. Л., "Иащиностроение", 1977, с ° 77-78.

2. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л., 1973, с. 81 (прототип). (54)(57) 1. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫИ ОТРЕЗАЮЦИЙ ФИЛЬТР, содержащий прозрачную подложку с последовательно располо-. женными на ней первой и второй многослойными системами, состоящими из чередующихся четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показателями преломления Й выполненными с центром на

I . длине волны и -соответственно, при этом первый и последний слои первой и вторрй многослойных систем выполнены иэ материала с высоким показателем преломления и оптической ! толщиной g/8 и > /8 соответственно, отличающийся тем, что, с целью уменьшения интегрального коэффициента фона при сохранении максимального пропускания, между первой и второй многослойными системами введен согласующий слой материала с низким показателем преломления и оптической толщиной, равной P/8.

O о е

2. Фильтр поп. 1, о тли чаю шийся тем, что в качестве ма-. териала с высоким показателем прелом- С ления использован германий, а матери-.. ала с низким показателем преломления -р моноокись кремния. 21588

Изобретение относится к интерфе- .. ренционным покрытиям физики тонких пленок и может найти широкое применение в оптике, астрономии, спек" тральных и космических исследованиях, в частности в аналитическом приборостроении интерференционные фильтры могут быть использованы в качестве монохроматизирующих элементов для выделения полос поглощения анализи- ® руемых газовых компонентов.

Известен интерференционный фильтр, содержащий стеклянную, кварцевую или какую-либо иную прозрачную подложку, два четвертьволновых зеркала, f5 образованных чередующимися слоями диэлектриков с высоким и низким показателями преломления, при этом между зеркалами расположен ромежуточный диэлектрический слой с опти- 20 ческой толщиной, кратной половине длины световой волны Ц .

Недостатком такого устройства является то, что область максимального отражения сравнительно неве- 25 лика и имеет, кроме того, осцилляцию, т.е. участки с низким коэффициентом отражения.

Известен интерференционный отрезающий фильтр, содержащий прозрачную подложку с последовательно расположенными на ней первой и второй многослойными системами, состоящими из чередующихся четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показателями преломления, и выполненными с центром

I на длине волны и Я соответственйо. при этом первый и последний слои первой и второй многослойной системы выполнены из материала с высо ким показателем преломления и оптической тол циной g/8 и ) /8 соответственно (?) .

Известная конструкция расширяет область максимального отражения, но не устраняет осцилляции коэффициента отражения в области блокированИя, что приводит к увеличению интегрального значения фона. 50

Цель изобретения - уменьшение

l интегрального> коэффициента фона при сохранении максимального пропус" кания.

Поставленная цель достигается 55 тем, что в интерференционном отрезающем Фильтре,.содержащем прозрачную подложку с последовательно расположеяными на ней первой и второй многослойными системами, состоящими из чередующихся четвертьволновых по оптической толщине слоев материалов с высоким и низким показателями преломления и выполненными с центром на длине волны и соответственно, при этом первый и последний слои первой и второй многослойных систем выполнены из материала с высоким показателем преломления и оптической толщиной > /8 и ( j! /8 соответственно, между первой и второй многослойными системами введен согласующий слой материала с низким показателем преломления и оптической толщиной, равной /8.

При этом в качестве материала с высоким показателем преломления использован германий (е); а материала с низким показателем преломления— двуокись кремния (910).

На фиг. приведена конструкция . интерференционного отрезающего фильтра; на фиг. 2 — спектральная характеристика предлагаемого фильтра с согласующим слоем; на фиг, 3-то же, с согласующим слоем в области блокирования, где Т вЂ” коэффициент пропускания,% — длина волны (мкм).

Устройство содержит подложку 1, слои 2 с высоким показателем преломления, слои 3 с низким показателем преломления и согласующий слой 4.

Из фиг. 2 и 3 видно, что в области максимального отражения фильтра отсутствуют участки с низким коэффициентом отражения, чем улучшаются эксплуатационные характеристики фильтра, повышается его избирательность.

Например, для интерференционного отрезающего фильтра, состоящего из слоев германия и моноокиси кремния, для 13-слойной системы введение согласующего слоя приводит к уменьшению значения интегрального пропускания в области блокирования на порядок .Предлагаемое устройство может быть использовано во многих областях науки и техники: в оптике, астрономии, спектральных и космических исследованиях„ так как позволяет уменьшить осцилляции коэффициента з 1125588 4 отражения в области блокирования, что этом коэффициент пропуСкания и приводит к уменьшению интеграль- не усложняя технологии изготовного значения фона, не уменьшая при ления .

1 ур Я,мнм

Я,0, т,%

4,g Я,РФкн э %

Составитель И.Осташенко

Редактор P.Öèöèêà Техред .А.Бабинец Корректор С.Шекмар

Заказ 853á/35 Тираж 49б Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Щ-35, Раушская наб.,д.4/5

Филиал ППП "Патент", r.Ужгород,ул.Проектная,4