Способ измерения диффузионной длины носителей тока в слитках германия и кремния
Класс 21g, 11„
21е, 37оз
21а4, 71 № 127334 ИСдюг8и
0ИВ11 l:gЫШ » 6М
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТ(;ЛЬСТВУ
Подписная группа № 97
Ю. А. Концевой
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИФФУЗИОННОЙ ДЛИНЫ НОСИТЕЛЕЙ
ТОКА В СЛИТКАХ ГЕРМАНИЯ И КРЕМНИЯ
Заявлено 16 сентября 1958 r. за № 607733/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 24 за 1962 г.
Диффузионная длина носителей тока в германии и кремнии обычно определяется по методу, основанному на модуляции проводимости точечного контакта. Основной недостаток этого метода — зависимость результатов измерений от уровня инъекции, т. е. от величины тока через точечный контакт.
Предлагаемый способ отличается от известных тем, что он устраняет зависимость результатов измерений от уровня инъекции и тем самым повышает точность измерений.
Это достигается тем, что для измерений диффузионной длины используют значения фотоэлектродвижущей силы холостого хода при поверхностной и объемной генерации пар носителей тока.
Сущность описываемого способа состоит в следующем.
Торец слитка освещают световым потоком, диаметр которого больше диффузионной длины носителей тока. Световой поток пропускается: при исследовании германия — через слой воды, а при исследовании кремния — через фосфатное стекло. В центре освещенной поверхности устанавливают точечный зонд и измеряют фотоэлектродвижущую силу холостого хода. Затем пропускают свет через интерференционный инфракрасный фильтр и вновь измеряют фотоэлектродвижущую силу, По результатам измерений определяют диффузионную длину носителей тока. № 127334
Предмет изобретения
Редактор В. Н. Погоржельский Техред А. А. Камышникова Корректор Л. М. Индрих
Объем 0,18 изд. л.
Пена 4 коп.
Подп. к печ. 15/111 — 63 г
Зак. 316/14
Формат бум. 70)j108 /io
Тираж 1100
ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6.
Типография, пр. Сапунова, 2.
Способ измерения диффузионной длины носителей тока в слитках германия и кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, торец слитка освещают световым потоком, диаметр которого больше диффузионной длины носителей тока, пропущенным при исследовании германия через слой воды, а при исследовании кремния — через фосфатное стекло, измеряют фотоэлектродвижущую силу посредством точечного зонда, пропускают свет через интерференционный инфракрасный фильтр, вновь измеряют фотоэлектродвижущую силу и по результатам измерений определяют диффузионную длину носителей тока.
