Способ измерения степени вакуума в отпаянных трех электродных вакуумных приборах
№ 124552
Класс 21@, 13зо
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
А. Е. Гершберг
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СТЕПЕНИ ВАКУУМА В ОТПАЯННЫХ
ТРЕХЗЛЕКТРОДНЫХ ВАКУУМНЫХ ПPИБОРАХ
Заявлено 22 ноября 1957 г. за № 586565/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 23 за 1959 г.
Известны спосооы измерения степени вакуума в отпаянных вакуумных приборах. Для массового контроля качества приборов по вакууму применяют способ измерения тока через отрицательно заряженную сетку в режиме, близком к рабочему. Недостаток этого способа состоит в малой чувствительности. Значительно большей чув=твптельностью обладает способ катодной модуляции. Однако в случае трехэлектродных систем преимущества способа катодной модуляции теряются.
В описываемом способе указанные недостатки устранены тем. что для измерения вакуума в отпаянных трехэлектродных вакуумных приборах на один из электродов подают положительные импульсы и замеряют на нем электронный ток. Степень вакуума оценивают по отрицательным импульсам напряжения, снимаемого с другого электрода. Так как положительное напряжение на электрод, ближайший к катоду, подается в виде импульсов, то оно может быть выбрано достаточно большим, что позволяет получить в приборе сильную ионизацпю. Правильный выоор длительности импульсов и постоянной времени измерительной цепи обеспечивает высокую защищенность измеряемого ионного тока от влияния емкостного и наведенного токов. Для этого длительность импульса должна быть значительно больше (например на порядок) постоянной времени измерительной цепи.
Предмет изобретения
Способ измерения степени вакуума в отпаянных трехэлектродных вакуумных приборах, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности измерений и отношения сигнал — шум, на ближайший к катоду электрод, например на управляющую сетку, подают положительные импульсы напряжения, а степень вакуума оценивают по амплитуде импульсов напряжения, появляющихся при этом на другом отрицательно заряженном электроде.
