Ионный насос

Класс 27д, 302

Хо 121220

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

М. И. Виноградов

ИО Н НЪ|й НАСОС

Заявлено 29 ноября 1958 г. за № 612918/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Оп1бликовано в «Бюллетене изобретений» № 14 за 1959 г.

Для получения высокого вакуума применяют ионные часосы, в которых ионизация атомов откачиваемого газа происходит в результате их взаимодействия с электронами, движущимися в электрическом и магнитном полях. Основной недостаток известных насосов заключается в быстром насыщении поглощающей поверхности коллектора ионов, что приводит к обратной диффузии поглощенных атомов газа и ограничивает величину предельного вакуума насоса.

Предлагаемый насос свободен от указанного недостатка, так как в нем применено несколько последовательно соединенных камер, в каждой из которых имеется отдельный ионизатор и общий для всех камер коллектор ионов. Этот коллектор выполнен в виде бесконечной нити (илп ленты), движущейся через камеры из области низкого давления, где происходит поглощение откачиваемого газа, в камеру предварительного разряжения, где коллектор обезгаживается нагревателем, а выделившийся газ удаляется.

На чертеже изображен предлагаемый насос.

Насос содержит несколько последовательно соединенных камер, в каждой из которых имеется отдельный ионизатор 1 и общий для всех камер коллектор ионов 2. Коллектор 2 выполнен в виде бесконечной нити (или ленты), движущейся через камеры из области 8 низкого давления, где происходит поглощение откачиваемого газа, в область 4 предварительного разрежения, где происходит обезгаживание коллектора нагреванием и удалением выделяющегося газа. Камеры насоса отделены одна от другой перегородками 5, имеющими отверстия для движения коллектора и клапаны б для предварительной откачки.

При своем обратном движении коллектор обезгаживается, проходя через нагреватели 7, установленные перед каждой камерой. Для возмещения потери вещества коллектора от ионного распыления и ускорения выделения поглощенных коллектором атомов газа в камере предварительного разрежения установлена печь 8для покрытия коллектора легкоплавким металлом. № 121220

Предмет изобретения что в камере предварительного разрежения установлена печь для покрытия коллектора легкоплавким металлом, и во всех камерах, кроме последней установлены нагреватели для обезгаживания коллектора.

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Н. С. Кутафина Гр. 129

Поди. к печ. ЗХ11-59 r.

Тираж 1050 Цена 25 коп.

Информационно-издательский отдел.

Объем 0,17 и. л. Зак. 4112

Типография Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.

1. Ионный насос, в котором ионизация атомов откачиваемого газа происходит в результате их взаимодействия с электронами, движущимися в электриче|"ком и магнитном полях, отличающийся тем, что, с целью повышения предельного вакуума насоса, в нем применено несколько последовательно соединенных камер, в каждой из которых имеется отдельный ионизатор и общий для всех камер коллектор ионов, выполненный в виде бесконечной нити (или ленты), движущейся через камеры из области низкого давления, где происходит поглощение откачиваемого газа, в камеру предварительного разрежения, где коллектор обезгаживается нагревателем, установленным в этой камере, и выделившийся газ удаляется.

2. Форма выполнения устройства по п, 1, отл ич а юща я с я тем,