Ионизационный насос
Класс 27(1, 31 № 114161
СССР
ОПИСАНЙ ИЗОБРЕТЕНИЯ
K АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Б. А. Остроумов
ИОНИЗАЦИОННЫЙ НАСОС
Заявлено 3 марта 1%5 т. в» X А-10011/45о022 в 11ннистерство радиотехнической ромышленпостп (:(. (;Р
Предметом изобретения является ионизационный насос с корпусом, ВЫПОЛНЕННЬП1 В ВИДЕ ЦИЛИНДРИЧЕской трубки с накапливаемыми катодами и управляющими электродами.
Извсстныс однокаскадныс ионизационные насосы, предназначенные для удаления остаточных газов в вакуум-сосудах, не обеспечивают глубокого вакуума.
Описываемое изобретение предназначено для повышения глубины вакуума в вакуумных сосудах. (; этой целью насос выполнен в виде каскадов откачки с -(етным числом управляющих электродов, а накапливаемые катоды помещены между цилиндрами так, что имеют промежуточный потенциал между потенциалами цилиндров.
На чертеже схематически показан продольный разрез ионизационного насоса, представляющего собой широкую цилиндрическую трубку 1, к одному концу которой присоединяется вакуум-сосуд, а через другой конец выбрасывается откачиваемый газ.
В трубке помещено четное число управляющих электродов 2, имеющих форму цилиндров с искривленными сетками и. Наклливасмыс
1(ятоды 4 в каждом каскаде помс п(ЯIотс51 Atc>I Влагодаря такому выполнению насоса ионы имеют возможность пробегать большие разности потенциалов и запасаться большой кинсти (сской энергией, чем электроны, не останавливаясь под действием поля между двумя соседними каскадами, а электроны, наоборот, могут совершать колебания возле сетки в аноде каскада и за пределы его нс выход5!т. Таким образом, ионы проходят все каскады, создавая в трубке поток одностороннего тсчения с возрастающей от каскада к каскаду скоростью. Изменением размеров и формы цилиндрических электродов с заклю"1aющимися в них сетками достигается изменение градиентов поте1щиалов на разли-шых участках длины трубки насоса. Предмет изобретения Ионизацонный насос, состоящий из корпуса в виде цилиндрической № 114161 Комитет по делам пвобретепп!! и откргятпй при Совете Министров ССС! Редактор Л. П. Ситпиков 1!иформапиоппо-издателги кпй отдель Объем О,!2, > и. л. :!як. «250.! ор. Ллатырь, типография М 2 Министерства культур1я Чувашской ЛССР. трубки с накативаех!ых!и катодами и управляющими электродами, отл и ч аю щ и йс я тем, что, с целью повышения глубины вакуума, в трубке размещено четное число управляющих электродов в форме цилиндров с искривленными ссткамп, образующими попарно отдельные каскады пасоса, накаливаемыс катоды которых помещены между цилиндрами так, что они имеют промежуточный потенциал между потенциалами цилиндров. Поди. к пеп. !2 X lfl-! 4 г. 1 ираки !ЗОИ. !1еиа 25 кои.