Патент ссср 120774

№ l20774

Класс 27d, Зв сссп

Г

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 129

Е. А. Коленко

ВЫСОКОВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА

ДЛЯ ДИФФУЗИОННЫХ НАСОСОВ

Заявлено 12 февраля 1959 г. за Ы 618274/25 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобрегений» Хо 12 за 1959 г.

При работе высоковакуумных диффузионных насосов часть паров рабочей жидкости насоса может проникать в откачиваемый объем, что приводит к загрязнению последнего и ухудшению предельного разрежения, обеспечиваемого насосом. Чтобы уменьшить проникновение

ocTB o÷Hûx паров рабочей жидкости между насосом и отка iHBBE"ìûì объемом помещаются ловушки, имеющие низкую температуру, в которых происходит конденсация паров рабочей жидкости.

Высоковакуумные ловушки для диффузионных насосов с использованием полупроводников для термоэлектрического охлаждения Новерхностей конденсации извес1ны.

В предлагаемой ловушке, в отличие от известных, в активной зон< насоса применены две последовательно соединенные полупроводниковьц батареи, каждая из них имеет самостоятельную границу поверхностей конденсации, а горячие спаи первой батареи выполнены в виде бобышек из оксидированного алюминия, залитых в легкоплавкий сплав.

Такое выполнение ловушки повышает интенсивность охлаждения и уменьшает тепловые потери.

На черте>ке изображена предлагаемая ловушка в разрезе.

Ловушка состоит из двух последовательно соединенных полунрoводниковых термоэлектрических батарей 1 и 2, каждая нз которых снабжена самостоятельной группой поверхностей 8 и 4 конденсации.

Батарея 1 охлаждает поверхность 8 до — 25 †.. -35 . а вторая батарея ? охлаждает поверхность 4 до температуры — 50 . Поверхности 8 и 4 конденсации выпопнены в виде конусных желобов, благодаря чему молекулы пара претерпевают по крайней мере тройное отражение, прежде чем они проникают в откачиваемый объем.

Для уменьшения тепловых потерь в системе теплоотвода от горячих спаев термобатареи 1 последняя припаяна к бобьпцкам из оксид:1рованного алюминия 5, которые залиты в специальный легкоплавкий сплав, Для исключения электрического контакта между бобьппкамн л

¹ 120774

Предмет изобретения

Высоковакуумная ловушка для диффузионных насосов с использованием полупроводников для термоэлектрического охлаждения поверхностей конденсации, отличающаяся тем, что, с целью повышения интенсивности охлаждения и уменьшения тепловых потерь, в активной зоне насоса применены две последовательно соединенные полупроводниковые термоэлектрические батареи, каждая из которых снабжена самостоятельной группой поверхностей конденсации, а горячие спаи первой батареи выполнены в виде бобышек из оксидированного а.поминия, залитых в легкоплавкий сплав.

Редактор A. К. Лейкина Техрсд А. Л. Сосина

Корректор Л. Якубовская

Подп. к печ 29Х111-6! г

Зак. 8255

Формат бум. 70Х 108 / г

Тираж 1050

ЦБТИ прп Комитете по делам изобретений и при Совете Министров СССР

Москва Центр, М. Черкасский пер., д.

Объем 0,18 изд л.

Цена 4 коп открытий

2/6

Типографии ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва Петровка, 14 и сплавом поверхность бобышек покрыта тонким слоем окиси алюминия, которая является изолятором и одновременно обладает малым тепловым сопротивлением. Отвод тепла от термобатареи 1 производится проточной водой, циркулирующей в кольцевом канале б. Питание термобатарей осуществляется через вакуумный ввод 7 и корпус ловушки.