Электрохимический способ контроля качества диэлектрических оксидных пленок
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ОКСЙДНЖ ПЛЕНОК, например алюминия, вкяючанщий снятие вопьт-ампёриых характеристик в пр сутсувин противоэлектрода , католита и анолита, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения .. способа, в качестве анолита используют формовочный электролит, содержапрй 0,1-0,2 М тетрабо рата натрия и 0,05-0,10 М винной кисло.ты, в качестве противоэлектрода - непояяриз.ующийся ртутно-оксидный электрод в 0,1 М растворе гидроксида натрия, а-снятие вольт-амперных характеристик осуще§ ствляют в двухкамерной ячейке с вертикальным расположением камер О)
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИ)(РЕСПУБЛИК (ю))4 k G 01 N 27/48
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н ASTOPGXOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPtilTHA
;(21) 3724458/24-25 (22) 09.04.84 .(46) 30;09.85. Бюл. В 36 (72) Е;Ф.Сперанская, А.А.Мейрманова, А.В,Валько и Л.К.Гудин (71) Казахский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет нм. С.М.Кирова (53) 543.257(088.8) (56) Методы измерения в электрохимии.
Под ред. Э.Эгера, А.Залкинда. М.:
Мир, 1977, с. 173.
Авторское свидетельство СССР
В 742786, кл. G 01 N 27/48, 1980. (54)(57) ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСК Й СПОСОБ
КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ („)SU(„) A (ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК, например алюминия, включающий снятие вольт-амперных. характеристик в присутствии противоэлектрода, католита и анолита, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности-и упрощения,. способа, в качестве анолита используют формовочный электролит, содержащий 0,1-0,2 М тетрабората натрия и
0,05-0, 1О М винной кислоты, в качестве противоэлектрода — неполяризующийся ртутно-оксидный электрод в О, 1 М растворе гндроксида натрия, а -снятие вольт-амперных характеристик осущеC ствляют в двухкамерной ячейке с вер- Е тнкальным расположением камер2
1182377
ДЬг. 2
ИзобфетеЪие относится к электрохимии, конкретно. к способам контроля качества диэЛектрических оксидных
I пленок, и может найти применение в исследовании процессов электрохимической коррозии, а также на электрохимических производствах по изготовлению металло-оксидных электродов.
Целью изобретения является повышение точности и упрощение способа. На фиг. 1 изображена конструкция ячейки, в которой осуществляют сня.тие вольт-амперных характеристик алюминиевых анодов, на фиг. 2 — вольтамперная характеристика анода, снятая предлагаемым способом в двухэлектродной системе с ртутно-оксидным противоэлектродом (кривая А), и вольт-амперная характеристика анода, снятая в трехэлектродной системе с использованием насыщенного каломельного электрода в качестве электрода сравнения (кривая В); на фиг. 3 — вольт-амперная характеристика объемно-пористых алюминиевых анодов, снятая предлагаемым способом
Предлагаемый способ реализуют . в двухкамерной ячейке (фиг, 1), сос тоящей из ртутно-оксидного электрода 1, объединяющего функции противо электрода и электрода сравнения, платинового контакта 2, катодной камеры 3, стеклянной пористой диафрагмы 4, анодной камеры 5, алюминиевого объемно-пористого анода 6 и шлифа 7.
Способ осуществляют следующим образом.
В катодную камеру 3 электрохимической ячейки (фиг. 1) наливают 5 мл х.ч. ртути, пасту (растертая смесь
10 г оксида ртути (II) с 5 мл х.ч. ртути) и заливают смесь деоксигенизированным 0,1 М раствором гидроксида натрия. Анодную камеру 5 заполняют, раствором винно-боратного электролита (О, 1 М бура + 0,05 M винная кислота, рН 6,5) и вставляют ее в катодную камеру 3, пришлифовывая шлифом 7 (диафрагма 4 погружается на глубину
0 5 см в католит). Погружают объемнопористый алюминиевый.-анод 6 с нанесенной диэлектрической оксидной пленкой в анолит..
1182377
Е,Р
Составитель Л.Васильева
Техред Л.Микеш Корректор В.Синицкая.
Редактор А.Лежнина
Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðoä, ул.Проектная, 4
Заказ 6097/41 Тираж 896 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
