Молекулярный вакуумный насос

 

МОЛЕКУЛЯРКЬЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС , содержащий расположенный в корпусе оси ротор с винтовыми пазами на наружной поверхности, о т л ич а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения степени сжатия, боковые стенки пазов наклонены к радиусу ротора в направлении его вращения. (Л а

„„Я0„„1160119

СОЮЗ COBETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

g(g)) F 04 D 13/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К амато сиоМ свидат ЛьСтв г

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

1 10 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПИЙ (21) 3695877/25-06 (22) 25.01.84 (46) 07.06.85. Бюл. М -. 21 (72) К.Е.Демихов, И.И.Оглоблин и

Т.К.Цыреторова (71) МВТУ им. Н.Э.Баумана. (53) 621.527.8(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство

СССР У 542025,кл.. F 04 2 19/04, 1977.

2. Патент СССР Ф 580850., кл. F 04 3 19/04, 1977. (54)(57) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий расположенный в корпусе оси ротор с винтовыми пазами на наружной поверхности, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, боковые стенки пазов наклонены к радиусу ротора в направлении его вращения.

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий статор и ротор со ступенчатыми поверхностями Р13.

Недостатком данного насоса являются значительные неретечки газа со стороны нагнетания на сторону всасывания, снижающие откачные характеристики.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является молекулярный вакуумный насос, содержащий расположейный в корпусе по оси ротор с винтовыми пазами на наружной поверхности 21.

Однако известный насос характеризуется невысокой степенью сжатия вследствие перетечек газа через радиальные зазоры.

Цель изобретения - повышение степени сжатия насоса.

Указанная цель достигается тем, что в молекулярном вакуумном насосе, содержащем расположенный в кор усе tio оси ротор с винтовыми пазами на наружной поверхности, бокоwe стенки пазов наклонены .к радиусу ротора в направлении его вращения

160119 2

На фиг. 1 представлен насос,продольный разрез; на фиг. 2-то же,поперечный разрез.

Молекулярный вакуумнйй насос содержит расположенный в корпусе 1 по оси ротор 2 с винтовыми пазами 3 на наружной поверхности, причем боковые стенки 4 пазов 3 наклонены к радиусу ротора 2 в направлении его

19 вращения.

Насос работает следующим образом.

Поступающие в полость насоса молекулы газа попадают s пазы 3 рото15 ра 2, где получают импульсы в направлении откачки. Молекулы, прошедшие винтовые пазы, удаляются со стороны нагнетания насоса дополнительным откачным средством.

2О Расположение боковых стенок 4 пазов 3.под углом.к радиусу ротора 2. приводит к тому, что молекулы газа, перетекающие со стороны нагнетания на сторону всасывания насоса, при

25 столкновении с набегающей стенкой 4 получают импульс в направлении от радиального зазора, тем самым обеспечивается удаление газа из зазора.

Таким образом, предложенное вы-, полнение молекулярного вакуумного насоса повышает степень сжатия.

4Ъз. g

ВНИИПИ Заказ: 3720/32 Тираж 586 Подписное

Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул. Проектная, 4