Термомолекулярный вакуумный насос

 

1.ТЕРМОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ HACOG, содержащий снабженный нагревателем рабогшй элемент с oceraJM каналом для прохода откачиваемого газа,о тлич ающий ся тем,что, с ;целью улучшения откачных характеристик , осевой канал выполнен с переменным поперечным сечением,монотонно увеличивающимся в направленин откачки . 2. Насос по п. 1, отличающийся тем,что он снабжен охлаждаемым элементом, имеющим осевой канал с переменным поперечным сечением , монотонно уменьшающимся в направлении откачки, и установленным последовательно с рабочим элементом. Щ i (Л о 41 GR 1 т

СОЮЗ COBETCHNX

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (И) F 04 О 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3484522/25-06 (22) 17 .08. 82 (46) 28.02.84. Бюл. 1(8 (72) В.В.Зотов ..(53) 621,527.8(088.8) (56) 1. Tracy 0.Н. ThermomoiecuIàã

pumping effect- J of Phiз1cs Е. Sci

entific Instruments", 1974, V.7, Р 7 р. 533-536. (54) (57) 1. П .РИОМОЛЕ1(УЛЯРНЬП1 ВЛЗУУИНЫЙ НАСОС, содержащий снабже нный нагревателем рабочий элемент с осевым каналом для прохода откачиваемого газа,отличающийся тем,что, с:,целью улучшения откачных характеристик, осевой канал выполнен с переменным поперечным сечением, монотонно. увеличивающимся в направлении откачки

2. Насоспо и. 1, отлкчаюшийся тем,что он снабжен охлаждаеиим элементом, имекп(им осевой канал с переменным поперечным сечением, монотонно уменьшающимся в направлении откачки, и установленным . последовательно с рабочим элементом.

1076632

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к молекулярным вакуумным насосам.

Известен термомолекулярный вакуумный насос, содержащий снабженный нагревателем рабочий элемент с осевым каналом для прохада откачиваемого газа (1) .

Недостатком известного насоса являются невысокие 1откачные характеристики, в частности степень сжатия на одной ступени насоса не превышает

1,32.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик.;

Указанная цель достигается тем, что в термомолекулярном вакуумном насосе, содержащем снабженный нагревателем рабочий элемент с осевым каналом для прохода откачиваемого газа, канал выполнен с переменным поперечным сечением, монотонно увеличивающемся в направлении откачки, Кроме того, насос снабжен охлаждаемым элементом, имеющим осевой канал с переменным поперечным сечением,монотонно уменьшакщимся в направлении откачки, и установленным последовательно с рабочим элементом.

На фиг.1 представлен рабочий элемент насоса с нагревателем; иа фиг.2 — комбинация рабочего элемен-. та с охлаждаежм; на фиг.З " многоступенчатый термомолекулярный вакуумный насос.

Термомолекулярный . вакуумный насос содержит снабженный нагревателем 1 рабочий элемент 2 с осевым каналом 3 для прохода откачиваемого газа причем канал выполнен с переменным

1 с. поперечным сечением монотонно увеличивающимся в направлении откачки.

Кроме того, насос снабжен охлаждаемым элементом 4, имеющим осевой

5 канап S с переменным поперечным сечением, монотонно уменьшающимся в направлении откачки, и установленным последовательно с рабочим элементом

2. Охлаждение элемента 4 осуществляется при помощи холодильника 6, а в качестве хладагента используется, например, жидкий азот.

Насос работает следующим образом.

При условии равенства температур газа и стенок рабочего элемента 2 вдоль канала 3 устанавливается два потока — прямой и обратный, равные по величине. Если температура стенок вьппе температуры газа, то молекуль1 газа при столкновении со стенкой получают дополнительный импульс,в .результате чего угол отражения молекул от стенки в среднем становится меньше угла падения. Вследствие этого поток газа, входящий через меньшее отверстие в канал 3, открывается больше, чем поток газа, покидающий полость рабочего элемента 2,что приводит к возникновению эффекта

30 откачки газа. Аналогично для охпаждаемого элемента 4 при температуре

rasa, превышающей температуру стенок, поток газа в направлении меньшего отверстия в.канале 5 оказывается меньше обратного потока, входящего в этот канал через указанное отверстие.

Эффект откачки тем выше, чем больше разница температур газа н стенок.

Установка последовательно большого количества чередующихся холодных и теплых ступеней позволяет добиться значительной степени сжатия насоса.

1076632

? °

ВНИИПИ Заказ 705/32

Тираж 624 Подпи ное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4