Стекло для межслойной изоляции

 

СТЕКЛО ДЛЯ МЕЖСЛОЙНОЙ ИЗОЛЯЦШ , включающее Si02, , B-Oj, BaO, ZnO, отличающееся тем, что, с целью снижения температуры кристаллизации, оно содержит указанные компоненты в следующих количествах, мас.%: SiOj36,5-38,0 AljOj2,0-8,5 BjOj1,5-5,5 BaO28,1-29,2 ZnO24,0-28,0

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) 01) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

FlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3669912/29-33 (22) 08.12.83 .(46) 23.02 ° 85 ° Бюл, Р 7 (72) Н.M.Áoáêoâà, Г.Е.Рачковская, Л,Г.Шишканова, М.А.Афанасьева и В.К.Осипова (71) Белорусский ордена Трудового

Красного Знамени технологический институт им.С.M.Êèðîâà (53) 666.112.6(088.8) (56) 1.Авторское свидетельство СССР

Ф 1033460, кл.С 03 С 3/10, 1982.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке. Ф 3617647/29-33, кл.С 03 С 3/22, 01.06.83 (прототип) 4(5ц С 03 С 3/066; С 03 С 10/04 (54) (57) СТЕКЛО ДЛЯ МЕЖСЛОЙНОЙ ИЗОЛЯЦИИ, включающее 8102, А1 03, В 0,, BaO, Zn0, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью снижения температуры кристаллизации, оно содержит указанные компоненты в следующих количествах, мас.7:

SiO2 36,5-38,0

А1203 2,0-8,5 в,о, l,5-5,5

ВаО 28,1-29,2

Zn0 24,0-28,0

1141076

30

Состав

SiO

36,5

37,0

38,0

2,9

BR03

1,5

5,5

ВаО

28,1

28,6

29,2. Изобретение относится к техноло- гии стекла и предназначено для изо- . ляции элементов интегральных схем на керамической подложке.

Известно стекло для межслойной 5 изоляции, содержащее мас. :

$ 0 30-35; В- О 18-23; ВаО 23-28;

А1гОз 4-6; Zn0 15-17 517.

Недостатками этого стекла являются неудовлетворительные диэ- 10 лектрические характеристики и повышенная температура кристаллиза- 4 ции (900 C).

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому 15 результату является стекло для межслойной изоляции .следующего состава, мас. : $хО 20,5-27,5; В О 11,5-17,5;

ВаО 29,5-37,0; Al О 6,5-8,5;

ZnO 17,5-19,0; Cd0 1,5-5,0 Г21.

Недостатком известного стекла является довольно высокая температура кристаллизации стекла 850-870 С.

Цель изобретения — снижение температуры кристаллизации. 25

Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее SiO, А1гОз, ВгОз ВаО, ZnÎ, содержит указанные компоненты в следующих количествах, мас. :

SiO2 36,5- 38,0

А12 Оэ 2,0-8,5

В,О, 1,5-5,5

ВаО 28,1-29,2

ZnO 24,0-28,0

Варку стекла осуществляют в газоо вой пламенной печи при 1450-1480 С.

В качестве сырьевых материалов для приготовления шихты используют песок кварцевый, глинозем, борную кислоту, барий углекислый, оксид цинка.

Компоненты и свойства

Сырьевые материалы — кварцевый песок, борная кислота, глинозем, углекислый барий и оксид цинка взве шивают на технических весах и тщательно смешивают. Готовая шихта засыпается в корундизовые тигли, которые погружаются в газовую пламенную печь. Скорость подъема температуры в печи 250-300 С в час. Время выдержки при максимальной температуре варки (1480 С 2)ч, Свар иная стекломасса выливается на воду для получения гранулята, который затем высушивается и размалывается в порошок.

Изготовление образцов для определения физико-химических свойств осуществляется методом литья в стальные формы. .Конкретные составы стекол и их физико-химические свойства приведены в таблице.

Ъ

Понижение температуры кристаллизации стекла до 720-730 С позволяет получить стеклокристаллические покрытия при более низких температурах, Уменьшение диэлектрической проницаемости до 7,0-7,2,т.е. до 30%, обеспечивает надежную изоляцию элементов интегральных схем на керамической подложке, Цветные стекла имеют высокие температуры кристаллизации и повышенную диэлектрическую проницаемость. Кроме того, они характеризуются высокой температурой варки, что делает нетехнологичным процесс их синтеза, Предлагаемое стекло по сравнению с известными является экономи- чески эффективным, так как позволяет проводить технологический процесс нанесения покрытий при более низких температурах.

1141076

Продолжение таблицы

Состав

Компоненты и свойства

8,5

4,9

ЕпО

24,0

28,0

25,3

)460

Температура варки, С

)460

1460

725

730

720

54,0

55,0

57,0

7,) 7,2

9,0

9,5

)О

9,6к)0 2,8х)0

5,8x)0 »

Составитель Г.Буровцева

Редактор Г.Волкова ТехредМ. КузьмаКорректор э).Эрдейи

Температура кристаллизации стекла, С

Температурный коэффициент линейного расширения в интервале 20-300 С, 10

Диэлектрическая проницаемость при и = 1 МГц Диэлектрические потери tgu )0 при f 1,0 МГц.Объемное удельное электрическое сопротивление, Ом.см

Заказ 410/20 Тираж 457 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035„ Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5

Фили

lt II илиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная, 4 (з