Вакуумная установка

 

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, содержащая последовательно подключенные к откачиваемому объекту посредством затвора криогенный насос-ловушку, выеоковакуумный и форвакуумный,насосы , отличающаяся тем, что, с целью повышения скорости откачки , насос-ловушка закреплен на затворе.

СО1ОЭ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСМИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) З1511 Р 04 В 37/14

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,:

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTMA

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3562283/25-06 (22) 09.03.83 (46) 30.10.84. Бкл. ¹ 40 .(72) В.А.Печенкин и Ю.Г.Баженов (53) 533.59(088.8) . (56) 1. Изготовление тонких пленок в исследовании и в производстве.

Универсальная система катодного распыления A550VZK. Проспект фирмы

Leybold-Негаеиз 12. С2. 110Г. (54) (57) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, содержащая последовательно подключенные к откачиваемому объекту посредством затвора криогенный насос-ловушку, высоковакуумный и форвакуумный насосы, отличающая с я тем, что, с целью повышения скорости откачки, насос-ловушка закреплен на затворе.

112 1!4

Составитель О.Тишина

Редактор Л.Авраменко Техред С.Дегеза Корректор N.Ëåîíòþê

Заказ 7953/29 Тираж 623 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известна вакуумная установка, содержащая последовательно подключенные к откачиваемому объему посредством затвора криогенный насос, ловушку высоковакуумный и форвакуумный насосы (1).

Однако такая установка характеризуется недостаточно высокой скоростью10 откачки, так как отверстие, соединяющее рабочую камеру с откачной системой, понижает быстроту действия криогенного насоса-ловушки из-за своей ограниченной проводимости. 15

Цель изобретения - повьппение скорости откачки.

Указанная цель достигается тем, что .в вакуумной установке, содержащей последовательно подключенные к 20 откачиваемому объему посредством затвора криогенный насос-ловушку, высоковакуумный и форвакуумный насосы, насос-ловушка закреплен на затво ре. 25

На чертеже изображена предлагаемая установка.

Вакуумная установка содержит последовательно подключенные к откачиваемому объему 1 посредством затвора 30

2 криогенный насос-ловушку 3, высоковакуумный и форвакуумный насосы 4

92 2 и 5. Насос-ловушка 3 закреплен на затворе 2.

Насос-ловушка 3 установлен на затворе 2 через теплоизьлятор 6. Через гибкие трубопроводы 7 к насосу-ловушке 3 подводится и отводится хладагент. На затворе 2 имеются ограничи; тели 8 и 9.

Вакуумная установка работает следующим образом.

Запускают форвакуумный насос 5 и после достижения определенной степени вакуума запускают высоковакуумный насос 4. Затем откачивают объем

1 до давления 1-10 ПА, через один из трубопроводов 7 заполняют криогенный насос-ловушку 3 хладагентом.

Затем открывают затвор 2, и насословушка 3 вносится в объем 1, пони.жая давление в нем с высокой скоростью. Теплоизолятор 6 предохраняет запорный орган затвора 2 от переохлаждения. Ограничители 8 и 9 позволяют избежать черезмерного качания затвора 2, предотвращая касание насоса-ловушки о внутренние поверхности объема 1.

Таким образом, предлагаемая установка позволяет повысить скорость откачки за счет повьппение проводимости в процессе высоковакуумной откачки.