Высоковакуумная установка

О П И С А Н И Е (ц

Союз Советски и

Социалистических республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву N. 767391 (22) Заявлено 08. 10.80 (2< ) 2989979/25-06 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.82. Бюллетень М 18 (St)Nl. Кл.

F 04 В 37/14 ввударствсииь и квиитет

СССР кв двлэи имбретеиий и втирытий (53) УДК 621. .528(088.8)Дата опубликования описания 19.05.82 (72) Автор изобретения

И. Ф. Шмелев (7!) Заявитель (54) ВЫСОКОВАКУУМНА Я УСТАНОВКА

Изобретение относится к вакуумной

; технике.

По основному авт. св. М 767391 из вестна высоковакуумная установка, соцержашая высоковакуумный насос с охлажцаемой ловушкой и форвакуумный насос, нхоц

5 которого посредством трубопровоцв с регу лируюшим вентилем поцключен к полси;ти ловушки. Подключение вхс:ца механического насоса к полости ловушки позволяет т6 предотвратить проникновение паров масла . . в откачиваемый обьем и в некоторой степени предотвратить конценсацию паров в насосе при откачке последним влагосоцержащих смесей газов Ш.

Бель изобретения - снижение потребляемой мощности, т.е. повышение экономичности установки при откачке влагосоцер-жвших газов.

Указанная цель цсстигвется тем, что полость ловушки посрецством вспомогательного трубопровоца с регулирующим вентилем цополнительно сообщена с выхоцом форвакуумного насоса.

На чертеже показана схема прецлагаемой устайовки.

Высоковакуумная установка содержит высоковакуумный насос 1 с охлажцаемой ловушкой 2 и форввкуумный насос 3, вхоц которого посрецством трубопровоца 4 с регулирующим вентилем 5 поцключен к полости ловушки 2.

Дополнительно полость ловушки 2 сообщена посредством вспомогательного трубопровоцв 6 с регулируемым вентилем

7 с выхоцом форвакуумного насоса 3.

Высоковвкуумная система работает следующим образом.

Газообразный хлвцагент из полости ло вушки по трубопровоцам 4 и 6 с регули руюшими вентилями 5 и 7 поцвется на вхоц и выхоц форввкуумного насоса 3.

Поток сухого газообразного хлвцагента позволяет аффективно прецотвратить проникновение ттаров массы в отквчиваемый обьем и снизить потребляемую насосами мощность за счет уменьшенйя количестве балластного taas путем использования сухого газообразного хлада гента вместо влажного воздуха.

Формула изобретения

Высоковакуумная установка по авт., в. М.787391, о т л-и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения ааономичности, полость ловушки посредством

928069 вспомогательного трубопровода с регулирующим вентилем сообщена с ныходом форвакуумного насоса.

Источники информации, принятые во внимание при зкспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

M. 767391, кл. F 04 В 37/14, 1979.

Составитель H. Юшин

Редактор С. Запесочный Техрец М.Тепер Корректор H. Стец

Заказ 3204/47 Тираж 671 Подписное

ВНИИГК Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Фиа ал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4