Вакуумный агрегат

ОП ИСАНИЕ

ИЗОВРЕТЕ Н ИЯ

Х АВТОРСНЬМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублии м.981697 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22)Заявлено 29.12,80 (21) 3227421/25-06 с присоединением заявки М (23) Приоритет (51)М. Кл.

Г 04 D 19/04 фвуднрстаеиный комитет

СССР ав денни изобретений н открытий

Онубликовано 15. 12. 82. Бюллетень JO 46 (53) Уд K 621. 528.. 7 (088. 8) Дата ояубликования описания 15.12.82 (72) Автори изобретения

В. И. Бойцов и Б. В. Иванов

Московский ордена Трудового Красного Знамени институт химического машиностроения (Vi ) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ

Изобретение относится к вакуум,ной технике.

Известен вакуумный агрегат, содержащий соединенные последовательно турбомолекулярный насос и форвакуумный механический насос (1).

Недостатком известного агрегата является ограниченная скорость вращения ротора турбомолекулярного насоса вследствие использования в качестве привода электродвигателя, что обуславливает невысокую быстроту действия и степень сжатия насоса.

Известен также вакуумный агрегат, содержащий форвакуумный насос и тур-: бомолекулярный насос с приводом от газовой турбины(23.

Наличие привода от газовой турбины дает воэможность варьирования скорос-тв ,ти вращения ротора турбомолекулярного насоса в широких пределах, однако использование в качестве рабочей среды турбины сжатого воздуха ведет к от2, носительно низкой экономичности ег-;. регата.

Целью изобретения является повышение экономичности.

Указанная цель достигается тем, что вход турбины сообщен с атмосферой посредством регулирующего элемен" та, а выход - со входом форвакуумного насоса.

На чертеже представлена схема предлагаемого агрегата.

Вакуумный агрегат содержит форвакуумный насос 1 и турбомолекулярный насос 2 с приводом от газовой турбины 3, причем вход турбины 3 сообщен с атмосферой посредством регулирующего элемента 4, а выход - со входом форвакуумного насоса 1. На форвакуумных магистралях установлены регулирующие элементй 5,6 и 7.

Агрегат работает следующим. образом.

Перед запуском турбомолекулярного насоса 2 его полость откачивается до

697

Формула изобретения

Составитель В. Кряковкин

Техред Л.Пекарь Корректор,Jl. Бокшан, Редактор И. Келемеш

Заказ 9675/53 Тираж 678

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Nocxaa, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 981 давления запуска форвакуумным насосом 1. При этом регулирующие элементы (вентили) 5 и Ь, установленные на Форвакуумной магистрали, открыты.

По .достижении давления запуска в полости турбомолекулярного насоса 2 открывают регулирующий элемент 7 и откачивают полость турбины 3. После этого турбомолекулярный насос 2 готов к запуску, Запуск насоса 2 осуществляется путем подачи атмосферно го воздуха через регулирующий элемент 4 в турбину 3.

Поскольку на входе в тубрину 3 давление равно атмосферному, а на выходе - давлению всасывания форвакуумного насоса l, которое значительно ниже атмосферного, через турбину устанавливается поток воздуха, приводящий турбину, а вместе с нею и ротор насоса 2, во вращение . Величина потока воздуха через турбину, обусловливающая скорость вращения турбины, регулируется при помощи регулирующего элемента 4. ф

Предлагаемый вакуумный агрегат обеспечивает повышение экономичности вследствие использования в качестве рабочего газа турбины воздуха при атмосферном давлении.

10 Вакуумный агрегат, содержащий форвакуумный насос и турбомолекулярный насос с приводом от газовой турбины, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, вход

l турбины сообщен с атмосферой посредГ ством регулирующего элемента, а выход - со входом форвакуумного насоса.

Источники информации, рв принятые во внимание при экспертизе

l Вакуумная техника. Справочные материалы, М., "Реклама", 1975, с.30.

2 . Авторское свидетельство СССР по заявке N 2870715/25-06, 2з кл. Г 04 D 19/04, 12.01.80.