Криогенный конденсационный насос

 

1. КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем внутри радиационного .экрана, связанного с заливным экраном, откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, снабженного трубкой-подвесом и шевронный экран, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса непрерывной работы и предельного давления, радиационный экран снабжен охватывающей его обечайкой, закрепленной нижним концом на корпусе, а в верхней части имеющей перфорированное кольцо, вакуум плотно соединенное с радиационным экраиОм, причем последний снабжен выполненными в зоне кольца отверстиями , смещенными относительно отверстий его перфорации. 2.Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью снижения теплопритоков по трубке-подвесу, в последней размещен заполненный газомкриосорбентом сильфонный вкладыщ с герметично закрытыми торцами , внутри которого установлены поперечные экраны с отверстиями. 3.Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью упрощения монтажа, щевронный экран выполнен съемным. (Л СХ)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК з (5ц F 04 В 37/08

) !.3

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСМОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

444a3ggp : в с 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3316196/25-06 (22) 10.07.81 (72) М. П. Ларин (46) 15.05.83. Вюл. № 18 (71) Ленинградский ордена Ленина политехнический институт им. М.И. Калинина (53) 621.527.8 (088.8) (56) 1. «Вопросы атомной науки и техники», Сер, «Физика и техника высокого вакуума», вып. 1/4/, Харьков., 1975, с. 15. . (54) (57) 1. КРИОГЕННЫИ КОНДЕНСАЦИОННЫИ НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем внутри радиационного,экрана, связанного с заливным экраном, откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, снабженного трубкой-подвесом; и шевронный экран, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса непрерывной работы и снижения пре„„SU„„1017817 A

1 дельного давления, радиационный экран снабжен охватывающей его обечайкой, закрепленной нижним концом на корпусе, а в верхней части имеющей перфорированное кольцо, вакуум плотно соединенное с радиационным экраном, причем последний снабжен выполненными в зоне кольца отверстиями, смещенными относительно отверстий его перфорации.

2. Насос по п. 1, отиичающийся тем, что, с целью снижения теплопритоков по трубке-подвесу, в последней размещен заполненный газом- криосорбентом сильфонный вкладыш с герметично закрытыми торцами, внутри которого установлены поперечные экраны с отверстиями.

3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью упрощения монтажа, шеврон- Я ный экран выполнен съемным.

1017817

Изобретение относится к .вакуумной технике.

Известен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус и размещенный в нем внутри радиационного экрана, связанного с заливным экраном, откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, снабженного трубкой-подвесом, и шевронный экран (11.

Однако насос характеризуется боль- 10 шими теплопритоками к сосуду от стенок корпуса и по трубке-подвесу, а также сложностью сборки и разборки узлов крионасоса.

Цель изобретения — увеличение ресурса непрерывной работы и снижение предельного давления.

Указанная цель достигается тем, что в криогенном конденсационном насосе, содержащем корпус и размещенный в нем внутри радиационного экрана, связанного с заливным экраном, откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, снабженного трубкой-подвесом, и шевронный экран, радиационный экран снабжен охватывающей его обечайкой, закрепленной нижним концом на корпусе, а в верхней части имеющей перфорированное кольцо, вакуум плотно соединенное с радиационным экраном, причем последний снабжен выполненными в зоне кольца отверстиями, смещенными относительно отверстий его перфорации.

Кроме того, с целью снижения теплопритоков по трубке-подвесу, в ней размещен заполненный газом-криосорбентом сильфонный вкладыш с герметично закрытыми торцами, внутри которого установлены поперечные экраны с отверстиями. 35

С целью упрощения монтажа насоса, шевронный экран выполнен съемным.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 — трубка-подвес насоса; на фиг. 3 — узел 1 на фиг. 1; на фиг. 4 — разрез A — А на фиг. 3. 4о

Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1, размещенный в нем внутри радиационного экрана 2, связанного с заливным экраном 3, откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 4, снаб- 4 женного трубкой-подвесом 5, и шевронный экран б.

Радиационный экран 2 снабжен охватывающей его обечай кой 7, закрепленной нижним концом на корпусе 1, а в верхней части имеющей перфорированное кольцо 8, Бц вакуум плотно соединенное с радиационным экраном 2, причем последний снабжен выполненными в зоне кольца 8 отверстиями 9, смещенными относительно отверстий

10 его перфорации.

В трубке-подвесе 5 размещен заполненный газом-криосорбентом сильфонный вкладыш 11 с герметично закрытыми торцами, внутри которого установлены поперечные экраны 12 с отверстиями 13.

Поверхности сосуда 4, радиационного экрана 2 и корпуса 1, обращенные в вакуумный объем, содержат покрытие в виде пленок чистых металлов.

Крионасос работает следующим образом.

Для запуска крионасоса откачивают весь объем между сосудом крионасоса и объемом рабочей камеры безмасляным форвакуумным насосом, например гелиевым форвакуумным насосом (не показан) . 3aтем откачивают указанные объемы высоковакуумным безмасляным насосом, после чего заливают жидкий азот в экран 3. Далее производят прогрев корпуса 1 в течение

4 — 8 ч при 250 — 350 С.

Поеле окончания прогрева, остывания корпуса 1 до комнатной температуры и достижения давления в ней порядка 10 в—

10 э торр производят заливку жидкого гелия в сосуд 4, после окончания которой вставляют вкладыш 11 в трубку 5. Дальнейшая откачка производится обычным образом.

Наличие обечайки 7, кольца 8 с отверстиями 10 и отверстий 9 в верхней части радиационного экрана 2 обеспечивает преимущества предлагаемого насоса.

Десорбируемые со стенок корпуса насоса молекулы газов, диффундируя через указанные отверстия, с большой степенью вероятности столкнутся с верхней частью боковой поверхности сосуда 4 и сконденсируются на ней, практически не попав через шеврон в откачиваемый объем.

Кроме того, это дает возможность производить напуск газа-криосорбента, например газообразного азота, который, сконденсировавшись на верхней части боковой поверхности сосуда 4, становится эффективным сорбентом неконденсирующегося гелия и плохо конденсирующегося водорода.

Наличие сильфонного вкладыша позволяет сократить теплоприток по газовому столбу испаряющегося гелия.

1017817 (Риг. фиа3

Состав и тель О. Ти ши на

Редактор Н. Киштулинец Техред И. Верес Корректор А. Повх

Заказ 3503 32 Тираж 665 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4