Устройство перемещения
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения. Техническая задача, на решение которой направлена предложенная полезная модель, состоит в том, чтобы обеспечить возможность локализации частиц в заданном порядке. Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещения, содержащем подложкодержатель с подложкой, привод вращения, связанный с подложкодержателем, согласно предложенной полезной модели, подложкодержатель с подложкой установлен в поле плоского конденсатора, перпендикулярно вектору Е напряженности электрического поля, а снаружи конденсатора расположен постоянный магнит таким образом, что вектор индукции В магнитного поля параллелен вектору Е напряженности электрического поля. Предложенная конструкция устройства позволяет локализовать частицы в заданном направлении.
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения.
Известно устройство перемещения, содержащее подложкодержатель с подложкой, привод вращения, связанный с подложкодержателем [Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн. Кн 7. Элионная обработка. Учебное пособие для ПТУ. Моряков О.С. - М.: Высшая школа, 1990. - стр.40 (аналог)].
Недостатком аналога является отсутствие возможности локализации частиц в заданном порядке.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения, содержащее подложкодержатель с подложкой, привод вращения, связанный с подложкодержателем [Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн. Кн 7. Элионная обработка. Учебное пособие для ПТУ. Моряков О.С. - М.: Высшая школа, 1990. - стр.86 (прототип)].
Недостатком прототипа также является отсутствие возможности локализации частиц в заданном порядке.
Техническая задача, на решение которой направлена предложенная полезная модель, состоит в том, чтобы обеспечить возможность локализации частиц в заданном порядке.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещения, содержащем подложкодержатель с подложкой, привод вращения, связанный с подложкодержателем, согласно предложенной полезной модели, подложкодержатель с подложкой установлен в поле плоского конденсатора, перпендикулярно вектору Е напряженности электрического поля, а снаружи конденсатора расположен постоянный магнит таким образом, что вектор индукции В магнитного поля параллелен вектору Е напряженности электрического поля.
Введение в устройство перемещения подложкодержателя с подложкой, установленного в поле плоского конденсатора, перпендикулярно вектору Е напряженности электрического поля, а снаружи конденсатора введение постоянного магнита таким образом, что вектор индукции В магнитного поля параллелен вектору Е напряженности электрического поля, обеспечивает возможность локализации частиц в заданном порядке.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1 и 2, где показано устройство перемещения.
Устройство перемещения состоит из подложкодержателя 1 с подложкой 2, привод вращения 3, связанный с подложкодержателем 1, подложкодержатель 1 с подложкой 2 установлен в поле плоского конденсатора 4, перпендикулярно вектору Е напряженности электрического поля, а снаружи конденсатора расположен постоянный магнит 5 таким образом, что вектор индукции В магнитного поля параллелен вектору Е напряженности электрического поля.
Устройство перемещения работает следующим образом.
Подложкодержатель 1 с подложкой 2, приводом 3, связанным с подложкодержателем 1, приводится в движение. А так как подложкодержатель 1 с подложкой 2 установлен в поле плоского конденсатора 4, перпендикулярно вектору Е напряженности электрического поля, а снаружи конденсатора расположен постоянный магнит 5 таким образом, что вектор индукции В магнитного поля параллелен вектору Е напряженности электрического поля, частицы, находящиеся на подложке под действием сил Лоренца перемещаются к центру подложки в заданном порядке (фиг.2).
Применение в устройстве перемещения подложкодержателя с подложкой, установленного в поле плоского конденсатора, перпендикулярно вектору Е напряженности электрического поля, а снаружи конденсатора введение постоянного магнита таким образом, что вектор индуцкции В магнитного поля параллелен вектору Е напряженности электрического поля, позволяет под действием сил Лоренца локализовать частицы в заданном направлении.
Устройство перемещения, содержащее подложкодержатель с подложкой, привод вращения, связанный с подложкодержателем, отличающееся тем, что подложкодержатель с подложкой установлен в поле плоского конденсатора, перпендикулярно вектору Е напряженности электрического поля, а снаружи конденсатора расположен постоянный магнит таким образом, что вектор индукции В магнитного поля параллелен вектору Е напряженности электрического поля.
