Нанотехнологическое устройство перемещений

Полезная модель относится к области машиностроения, а именно к нанотехнологическим устройствам перемещений. В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить выполнение нанотехнологических процессов на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки. Поставленная техническая задача решается тем, что в нанотехнологическом устройстве перемещений, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, согласно предложенной полезной модели, на торце основного пьезопривода установлены три дополнительных пьезопривода, на торце каждого дополнительного пьезопривода жестко закреплен зонд, один из зондов выполнен из платиново-иридиевого сплава, а два других - из вольфрама, все три зонда расположены на одной линии. При этом расстояния между рабочими концами зондов равны 0,1-0,2 мм. Применение предполагаемого нанотехнологического устройства обеспечит возможность выполнения нанотехнологических процессов на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки.

Полезная модель относится к области машиностроения, а именно к нанотехнологическим устройствам перемещения.

Известно Нанотехнологическое устройство перемещений, содержащее основной пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием с возможностью реализации перемещения по вертикальной оси (Бинниг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия от рождения к юности. - Успехи физических наук, т.154, вып.2 - М.: Наука, 1988 - с.261-278 (аналог)).

Недостатком аналога является невозможность выполнения нанотехнологических процессов на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является Нанотехнологическое устройство перемещений, содержащее основной пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием с возможностью реализации перемещения по вертикальной оси. (Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие/ М.: МИЭТ, 2000-69 с. (прототип)).

Недостатком прототипа также является невозможность выполнения нанотехнологических процессов на ювенильной поверхности подложки.

В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить выполнение нанотехнологических процессов на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки.

Поставленная техническая задача решается тем, что в нанотехнологическом устройстве перемещений, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, согласно предложенной полезной модели, на торце основного пьезопривода установлены три дополнительных пьезопривода, на торце каждого дополнительного пьезопривода жестко закреплен зонд, один из зондов выполнен из платиново-иридиевого сплава, а два других - из вольфрама,

все три зонда расположены на одной линии. При этом расстояния между рабочими концами зондов равны 0,1-0,2 мм.

Введение в нанотехнологическое устройство перемещений трех дополнительных пьезоприводов с жестко закрепленными на них зондами, один из которых выполнен из платиново-иридиевого сплава и обеспечивает электрическое взаимодействие с подложкой, а два других выполнены из вольфрама и обеспечивают механическое взаимодействие с подложкой, дает возможность выполнения нанотехнологических процессов на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки.

Нанотехнологическое устройство перемещений (фиг.1) содержит основной пьезопривод 1, жестко связанный с неподвижным основанием 2 и реализующий перемещение по вертикальной. На торце 6 основного пьезопривода установлены три дополнительных пьезопривода 3, 4, 5, так же реализующие перемещение по вертикальной оси. С торцами 7, 8, 9 каждого соответствующего дополнительного пьезопривода 3, 4, 5 жестко связаны зонды 10, 11, 12. Обрабатываемая подложка 13 жестко закреплена на подложке-держатетеле 14, которая, в свою очередь, установлен на двухкоординатном столе 15 с перемещением по горизонтальным осям. Зонды 10 и 12 выполнены из вольфрама. Вольфрамовые зонды 10, 12 обеспечивают механическое взаимодействие на подложку 13. Зонд 11 выполнен из платино-иридиевого сплава и обеспечивает электрическое взаимодействие с подложкой. Платино-иридиевый зонд 11 и вольфрамовые зонды 10, 12 установлены вдоль линии перемещения двухкоординатного стола по горизонтальной оси. При этом расстояния между рабочими концами зондов равны 0,1-0,2 мм. Расстояние большее 0,2 мм не обеспечивает выполнением необходимых нанотехнологических операций, для которых предназначено устройство.

Нанотехнологическое устройство перемещений работает следующим образом. При подаче напряжения на пьезопривод 1 осуществляется перемещение устройства в сторону обрабатываемой поверхности подложки 13. Затем на дополнительный платиново-иридиевый пьезопривод 11 подается напряжение, и зонд 10 внедряется в поверхность обрабатываемой подложки 13. При

перемещении двухкоординатного стола 15 происходит обрабатывание поверхности подложки 13 с последующим выполнением нанотехнологических операций с помощью зонда 11, связанного с пьезоприводом 5. При этом вольфрамовый зонд 12 пьезопривода 4 поднят и обработка поверхности подложки с помощью этого зонда не осуществляется. При изменении направления движения координатного стола 15 вольфрамовый зонд 10 приподнят, а вольфрамовый зонд 12 обрабатывает поверхность подложки 13.

Таким образом, реализуется процесс выполнения нанотехнологических операций на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки.

Применение предполагаемого нанотехнологического устройства обеспечит возможность выполнения нанотехнологических процессов на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки.

1. Нанотехнологическое устройство перемещений, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, отличающееся тем, что на торце основного пьезопривода установлены три дополнительных пьезопривода, на торце каждого дополнительного пьезопривода жестко закреплен зонд, один из зондов выполнен из платиново-иридиевого сплава, а два других из вольфрама, все три зонда расположены на одной линии.

2. Нанотехнологическое устройство перемещений по п.1, отличающееся тем, что расстояния между рабочими концами зондов равны 0,1-0,2 мм.