Устройство наноперемещений
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам. В основу полезной модели положена техническая задача повысить точность и качество проведения нанотехнологических операций локального нанесения материала на подложку и локального удаления материала с подложки. Поставленная техническая задача решается тем, в устройстве наноперемещений, содержащем пьезопривод, закрепленный на неподвижной платформе, установленный на торце пьезопривода зонд, подложку, согласно предложенной полезной модели, на торце пьезопривода установлены два лазерных когерентных источника с возможностью направления лазерных когерентных лучей под углом 40-50 градусов относительно плоскости подложки в зазор между зондом и подложкой. Применение предложенного устройства наноперемещений позволяет выполнять нанотехнологические операции с высокой точностью за счет активации поверхности подложки.
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам наноперемещений.
Известно устройство наноперемещений, содержащее пьезопривод, закрепленный на неподвижной платформе. Установленный на торце пьезопривода зонд, электрически связан с подложкой. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие. - М.: МИЭТ. 2000 (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность повышения качества нанотехнологических операций в виду отсутствия активации поверхности подложки и высокой энергии ионизации материала, из которого изготовлена подложка.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство наноперемещений, содержащее пьезопривод, жестко закрепленный на неподвижной платформе. Установленный на торце пьезопривода зонд, электрически связан с подложкой. [Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур. Труды научного семинара - М. МИФИ. 2001 (прототип)].
Недостатком прототипа является невозможность повышения качества нанотехнологических операций в виду отсутствия активации поверхности подложки и высокой энергии ионизации материала, из которого изготовлена подложка.
В основу полезной модели положена техническая задача повысить точность и качество проведения нанотехнологических операций локального нанесения материала на подложку и локального удаления материала с подложки.
Поставленная техническая задача решается тем, в устройстве наноперемещений, содержащем пьезопривод, закрепленный на неподвижной
платформе, установленный на торце пьезопривода зонд, подложку, согласно предложенной полезной модели, на торце пьезопривода установлены два лазерных когерентных источника с возможностью направления лазерных когерентных лучей под углом 40-50 градусов относительно плоскости подложки в зазор между зондом и подложкой.
Введение в устройство наноперемещений двух лазерных когерентных источников, установленных на торце пьезопривода, с возможностью направления лазерных когерентных лучей под углом 40-50 градусов относительно плоскости подложки в зазор между зондом и подложкой, позволяет воздействовать на поверхность подложки совместно с зондом, что обеспечивает активацию поверхности подложки, фотоэффект, ионизацию рабочего газа, который может быть запущен в технологический объем.
Сущность полезной модели поясняется (фиг.1), где показано устройство наноперемещений.
Устройство наноперемещений (фиг.1) содержит пьезопривод 1, закрепленный на неподвижной платформе 2, установленный на торце 3 пьезопривода 1 зонд 4, электрически связанный с подложкой 5. На торце 3 пьезопривода 1 также установлены два лазерных когерентных источника 6,7 с возможностью направления лазерных когерентных лучей 8,9 под углом 40-50 градусов относительно плоскости подложки 5 в зазор между зондом 4 и подложкой 5.
При подачи напряжения на пьезопривод 1 осуществляется перемещение зонда 4 в сторону обрабатываемой подложки 5, при этом реализуется нанотехнологический процесс, например, нанесение квантовых точек. Для повышения качества этого процесса включают лазерные источники 6, 7, лучи 8, 9 направлены в сторону обрабатываемой поверхности. В результате наложения двух лучей 8, 9 друг на друга происходит их интерференция, при которой напротив острия зонда 4 возникает интерференционный максимум на поверхности подложки 5, что увеличивает повышение качества выполнения нанотехнологических операций локального
нанесения материала на подложку и локального удаления материала с подложки.
Применение предложенного устройства наноперемещений позволяет выполнять нанотехнологические операции за счет активации поверхности подложки.
Устройство наноперемещений, содержащее пьезопривод, закрепленный на неподвижной платформе, установленный на торце пьезопривода зонд, подложку, отличающееся тем, что на торце пьезопривода установлены два лазерных когерентных источника с возможностью направления лазерных когерентных лучей под углом 40-50° относительно плоскости подложки в зазор между зондом и подложкой.
