Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации

Полезная модель относится к области технологии тонких пленок, а более конкретно к системам контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации. В основу полезной модели положена задача повысить чувствительность системы. Эта задача решается тем, что в блок монохроматора дополнительно введено многослойное интерференционное фокусирующее зеркало, а устройство регистрации снабжено линейным координатно-чувствительным газовым детектором.

Полезная модель относится к области технологии тонких пленок, а более конкретно к системам контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации.

Известна система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации (RU 2199110 С2, 24.04.1997), содержащая источник рентгеновского излучения, коллимационную систему и детектор.

Недостатком аналога является низкая чувствительность, ввиду недостаточной интенсивности рентгеновского пучка.

Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому результату является система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации (RU 2087861 С1, 20.08.1997), включающая вакуумную камеру, расположенное в вакуумной камере устройство напыления, устройство откачки, устройство облучения объекта контроля потоком рентгеновского излучения, выполненное в виде рентгеновской трубки, блока коллимационных щелей и устройство регистрации отраженного излучения, выполненное в виде сцинтилляционного детектора.

Недостатком прототипа является также низкая чувствительность, ввиду недостаточной интенсивности рентгеновского пучка.

В основу полезной модели положена задача повысить чувствительность системы.

Эта задача решается тем, что в блок монохроматора дополнительно введено многослойное интерференционное фокусирующее зеркало, а

устройство регистрации снабжено линейным координатно-чувствительным газовым детектором.

Введение в систему многослойного интерференционного фокусирующего зеркала и линейного координатно-чувствительного газового детектора обеспечивает повышение чувствительности системы, т.к. возрастает интенсивность первичного рентгеновского пучка и регистрируется как зеркально-отраженное, так и диффузно-рассеянное излучение.

Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показана схема системы контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации.

Система содержит вакуумную камеру 1, устройство напыления 2, устройство откачки 3, устройство газонапуска 4. Устройство облучения 5 объекта контроля 6 потоком рентгеновского излучения выполнено в виде рентгеновской трубки 7, блока монохроматора 8 с установленным в нем многослойным интерференционным фокусирующим зеркалом 9, блока коллимационных щелей 10. Устройство регистрации отраженного излучения 11 выполнено в виде сцинтилляционного детектора 12 и линейного координатно-чувствительного газового детектора 13, соединенных с устройством сбора данных на основе персонального компьютера 14.

Проведение контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации проводится следующим образом: вакуумная камера 1 откачивается системой откачки 3, после чего в нее через систему газонапуска 4 подается рабочий газ и включается источник напыления 2. Пучок рентгеновского излучения от трубки 7 направляется в блок монохроматора 8 и попадает на многослойное интерференционное фокусирующее зеркало 9, откуда поступает в блок коллимационных щелей 10, после чего падает на образец 6 под углом . Детекторы 12, 13 регистрируют отраженное излучение. Устройство сбора данных на основе персонального компьютера 14 преобразует сигнал детектора в дискретную информацию.

Применение предложенной системы контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации повышает чувствительность без значительных капиталовложений и позволяет проводить измерения на синхротронном источнике рентгеновского излучения, а также использовать различные способы напыления пленок.

Система контроля параметров пленочных покрытий и поверхностей в вакууме в процессе их модификации, включающая вакуумную камеру, расположенное в вакуумной камере устройство напыления, устройство откачки, устройство газонапуска, устройство облучения объекта контроля потоком рентгеновского излучения, выполненное в виде рентгеновской трубки, блока монохроматора, блока коллимационных щелей, устройство регистрации отраженного излучения, выполненное в виде сцинтилляционного детектора и устройство сбора данных, отличающаяся тем, что в блок монохроматора дополнительно введено многослойное интерференционное фокусирующее зеркало, а устройство регистрации снабжено линейным координатно-чувствительным газовым детектором.