Устройство зондового перемещения для нанотехнологии

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам зондового перемещения. Техническая задача, состоит в том, чтобы создать устройство зондового перемещения для нанотехнологии с возможностью выполнения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку. Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве зондового перемещения для нанотехнологии, содержащем неподвижное основание, пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, зонд, жестко связанный с торцем пьезопривода и подложку, электрически связанную с зондом, согласно предложенной полезной модели, торцевая поверхность зонда выполнена в форме матрицы с нанесенными на нее линиями, расположенными в заданном технологическом порядке. Применение предлагаемого устройства зондового перемещения позволяет выполнять технологические операции нанесения заданного нанорисунка на подложку

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам зондового перемещения.

Известно устройство зондового перемещения, содержащее набор пьезотрубок с электродами и параллельными торцами, причем пьезотрубки связаны между собой посредством соединительных элементов, последний из которых связан с неподвижным основанием, а первый с зондом. [Патент США 6215121, МПК G01B 21/30; G01N 37/00; G01Q 10/04, опубл. 10.04.2001 (аналог)].

Недостатком известного устройства является отсутствие возможности выполнения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому техническому результату является устройство зондового перемещения, содержащее набор пьезотрубок с электродами и параллельными торцами, причем пьезотрубки связаны между собой посредством соединительных элементов, последний из которых связан с неподвижным основанием, а первый с зондом [Патент РФ 2199171, МПК H01L 41/09, H02N 2/02, опубл. 20.02.2003 (прототип)].

Недостатком известного устройства также является отсутствие возможности выполнения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку.

Техническая задача, на решение которой направлена заявляемая полезная модель, состоит в том, чтобы создать устройство зондового перемещения для нанотехнологии с возможностью выполнения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку.

Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве зондового перемещения для нанотехнологии, содержащем неподвижное основание, пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, зонд, жестко связанный с торцем пьезопривода и подложку, электрически связанную с зондом, согласно предложенной полезной модели, торцевая поверхность зонда выполнена в форме матрицы с нанесенными на нее линиями, расположенными в заданном технологическом порядке.

Техническим результатом, достижение которого обеспечивается реализацией всей заявляемой совокупности существенных признаков, является возможность нанесения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку за счет выполнения торца зонда фигурным в виде матрицы.

Сущность полезной модели поясняется рисунками, где

на фиг. 1 показан вид устройства зондового перемещения для нанотехнологии сбоку,

на фиг. 2, 3 и 4 показаны варианты выполнения зонда.

Устройство зондового перемещения для нанотехнологии (фиг. 1) содержит неподвижное основание 1, пьезопривод 2, зонд 3, торец пьезопривода 4 и подложку 5, причем пьезопривод 2 жестко связан с основанием 1, а зонд 3 жестко связан с торцем пьезопривода 4, а подложка 5 электрически связана с зондом 3.

Устройство зондового перемещения для нанотехнологии работает следующим образом.

При подаче напряжения на торец 4 пьезопривода 2, происходит его механическая деформация, вызванная явлением обратного пьезоэффекта. При этом зонд 3 перемещается перпендикулярно подложке 5, и, в результате сил электрического взаимодействия, на подложке 5 формируется негативный рисунок, т.е. рисунок обратный рисунку матрицы на зонде 3.

Применение предлагаемого устройства зондового перемещения позволяет выполнять технологические операции нанесения заданного нанорисунка на подложку.

Устройство зондового перемещения для нанотехнологии, содержащее неподвижное основание, пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, зонд, жестко связанный с торцем пьезопривода, и подложку, электрически связанную с зондом, отличающееся тем, что торцевая поверхность зонда выполнена в форме матрицы с нанесенными на нее линиями, расположенными в заданном технологическом порядке