Устройство для рентгеновского микроанализа

 

1. Устройство для рентгеновского элементного и структурного микроанализа материалов, включающее корпус, источник рентгеновского излучения, устройство формирования рентгеновского луча, держатель образца, канал приема и регистрации рентгеновской флуоресценции со средствами детектирования ретгеновской флуоресценции, канал приема и регистрации рентгенодифракционного излучения материала образца со средствами детектирования дифрагированного излучения материала образца, выполненный с возможностью перемещения по дуге окружности относительно образца, гониометр, систему управления, систему сбора и обработки информации, отличающееся тем, что оно снабжено опорной плитой, на которой установлены двухдисковый гониометр вертикального исполнения, имеющий внешний и внутренний диски, держатель образца, а также датчик положения образца, устройство формирования рентгеновского луча содержит установленные последовательно с источником рентгеновского излучения сменную коллимирующую диафрагму и оптически связанные с ней фильтр первичного излучения и поликапиллярную рентгеновскую линзу, при этом источник рентгеновского излучения установлен на внутреннем диске гониометра с возможностью перемещения в направлении оптической оси устройства формирования рентгеновского луча, канал приема и регистрации рентгенодифракционного излучения включает средство детектирования, укрепленное на внешнем диске гониометра, а канал приема и регистрации рентгеновской флуоресценции со средством детектирования рентгеновской флуоресценции установлен на опорной плите.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве устройства формирования рентгеновского луча использован монокапиллярный коллиматор.

3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве датчика положения образца выбран лазерный триангуляционный диффузный датчик с компенсацией контраста объекта.

4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что средства детектирования выполнены в виде двух координатно-чувствительных детекторов, установленных на внешнем диске гониометра.

5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что держатель образца включает цифровой микроскоп, установленный на опорной плите и сопряженный с системой сбора и обработки информации.

6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что система сбора и обработки информации включает видеокамеру, установленную на опорной плите.



 

Наверх