Устройство для приготовления длинномерных высокотемпературных сверхпроводящих лент второго поколения с помощью лазерной абляции

 

Полезная модель относится к вакуумной напылительной технике, а именно к устройствам для приготовления ВТСП пленок с помощью лазерной абляции.

Технический результат направлен на создание устройства, которое позволит приготавливать пленки ВТСП второго поколения на протяженные ленты-подложки и минимизировать их термические деформации при малых затратах и тем самым повысить его эффективность.

Технический результат достигается тем, что на держателе подложек, размещенный на выдвижном вращающемся модуле, жестко зафиксирован цилиндр с основанием с закрепленными на его боковой поверхности длинномерными лентами-подложками.

1 фиг.

Полезная модель относится к вакуумной напылительной технике, а именно к устройствам для приготовления высокотемпературных сверхпроводящих (ВТСП) пленок.

Известен держатель плоских коротких образцов, используемый в установках для приготовления ВТСП пленок с помощью лазерной абляции [1]. Он позволяет проводить напыление на плоские короткие образцы, размеры, которых ограничены нагревателем (номинально диаметром до 50 мм).

Недостатками держателя плоских коротких образцов являются:

- размер подложки ограничен размерами нагревателя;

- отсутствие крепления ленты-подложки может приводить к ее деформации, изгибу и из-за этого к ухудшению качества наносимой пленки или даже при сильном изгибе к невозможности ее нанесения. Так как лента лежит свободно в держателе, то из-за разницы коэффициентов термического расширения материала нагревателя и ленты при нагреве могут возникнуть заметные термические деформации, которые вызовут изгиб или коробление ленты. Помимо этого, при напылении пленки на ленту из-за разницы коэффициентов термического расширения материала ленты и растущей пленки при нагреве могут возникать дополнительно заметные сжимающие или растягивающие термические напряжения.

Технический результат направлен на создание устройства, которое позволит приготавливать пленки ВТСП второго поколения на протяженные ленты-подложки и минимизировать их термические деформации при малых затратах и тем самым повысить его эффективность.

Технический результат достигается тем, что на держателе подложек, размещенный на выдвижном вращающемся модуле, жестко зафиксирован цилиндр с основанием с закрепленными на его боковой поверхности длинномерными лентами-подложками. При этом появляется возможность приготовления пленок ВТСП второго поколения на протяженные ленты-подложки и минимизирование их термических деформаций.

Это достигается тем, что:

- используется цилиндр держатель с основанием;

- ленты-подложки закреплены на цилиндре держателе;

- цилиндр держатель жестко укреплен на вращающемся выдвижном модуле для размещения фиксатора подложек.

На фиг.1 представлена схема устройства для приготовления длинномерных ВТСП лент второго поколения с помощью лазерной абляции с закрепленными лентами-подложками. На этой схеме: 1 - цилиндр с основанием, который жестко укреплен на вращающемся выдвижном модуле 5 для размещения держателя подложек 2. Ленты-подложки 3 закреплены на цилиндре держателе зажимами 4.

Устройство работает следующим образом. На стальной цилиндр с основанием 1 закрепляют длинномерные ленты-подложки 3 зажимами 4. Затем цилиндр жестко крепят к вращающемуся выдвижному модулю 5 для размещения держателя подложек 2, после чего проводят напыление ВТСП пленки.

Таким образом, устройство позволяет приготавливать пленки ВТСП второго поколения на протяженные ленты-подложки и минимизировать их термические деформации при малых затратах.

Список использованных источников:

1. Корпорация PVD Products «Система импульсного лазерного осаждения MBE/PLD-2000. Проект 183. Эксплуатация и обслуживание. Документ J5000001-36. 231 Andover Street Wilmington MA, 01887. http://www.pvdproducts.com/products/pld_2000_3000.aspx.

Устройство для приготовления длинномерных высокотемпературных сверхпроводящих лент второго поколения с помощью лазерной абляции, включающее держатель подложек, размещенный на выдвижном вращающемся модуле, отличающееся тем, что на держателе жестко зафиксирован цилиндр с основанием с закрепленными на его боковой поверхности длинномерными лентами-подложками.



 

Наверх