Емкостный преобразователь давления

Полезная модель относится к измерительной технике, в частности к емкостным датчикам давления преимущественно газообразных сред и может быть использовано в различных отраслях промышленности, например, в авиационной технике, в машиностроении, энергетике, нефтяной, химической промышленности и т.д.

Техническим результатом предлагаемого изобретения является повышение стабильности характеристик емкостного преобразователя давления. Технический результат достигается тем, что неподвижный электрод выполнен на основе плавленого кварца.

Неподвижный электрод может быть выполнен с напылением металлического зеркала на поверхности электрода, обращенной к мембране. Металлическое зеркало, полученное напылением обладает достаточно высокой технологичностью при удовлетворительных электрических характеристиках. В составе металла напыленного зеркала может присутствовать хром и никель. Хром повышает адгезию покрытия к стеклу, никель позволяет проводить соединение пайкой проводников с покрытием.

Технический результат - повышение стабильности характеристик достигается применением для изготовления неподвижного электрода плавленого кварца, благодаря однородности своей структуры обладающего стабильными механическими характеристиками.

Предлагаемая полезная модель может быть с успехом применена для изготовления емкостных преобразователей давления.

Полезная модель относится к измерительной технике, в частности к емкостным датчикам давления преимущественно газообразных сред и может быть использовано в различных отраслях промышленности, например, в авиационной технике, в машиностроении, энергетике, нефтяной, химической промышленности и т.д.

Известен «ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ» SU 823913 [1], содержащий корпус и мембрану на которых размещены соответственно неподвижный и подвижный электроды, корпус и мембрана выполнены из монокристаллов.

Недостатками известной конструкции являются высокая стоимость, обусловленная применением дорогостоящих монокристаллов.

Наиболее близким к заявляемому техническому решению является «ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ» SU 410794 [2], содержащий неподвижный электрод, токопроводящую мембрану и изолятор между токопроводящей мембраной и неподвижным электродом, неподвижный электрод выполнен с токопроводящим покрытием как минимум на поверхности электрода, обращенной к мембране. Неподвижный электрод в известном решении выполнен из ситалла.

Ситалл является более доступным материалом по сравнению с монокристаллами.

Недостатком является нестабильность характеристик, присущая поликристаллам с неоднородным составом.

Техническим результатом предлагаемого изобретения является повышение стабильности характеристик емкостного преобразователя давления.

Технический результат достигается тем, что неподвижный электрод выполнен на основе плавленого кварца.

Неподвижный электрод может быть выполнен с напылением металлического зеркала на поверхности электрода, обращенной к мембране. Металлическое зеркало, полученное напылением обладает достаточно высокой технологичностью при удовлетворительных электрических характеристиках.

В составе металла напыленного зеркала может присутствовать хром и никель. Хром повышает адгезию покрытия к стеклу, никель позволяет проводить соединение пайкой проводников с покрытием.

На фиг схематически представлен поперечный разрез предлагаемого устройства, где:

1 - неподвижный электрод;

2 - токопроводящая мембрана;

3 - изолятор;

4 - токопроводящее покрытие.

Устройство действует следующим образом: Неподвижный электрод 1 с токопроводящим покрытием 4 служит одной обкладкой, а токопроводящая мембрана 2 - второй обкладкой измерительного конденсатора. Изолятор 3 служит для изоляции обкладок друг для друга.

Технический результат - повышение стабильности характеристик достигается применением для изготовления неподвижного электрода плавленого кварца, благодаря однородности своей структуры обладающего стабильными механическими характеристиками.

Промышленное применение. Предлагаемая полезная модель может быть с успехом применена для изготовления емкостных преобразователей давления.

1. Емкостный преобразователь давления, содержащий неподвижный электрод, токопроводящую мембрану и изолятор между токопроводящей мембраной и неподвижным электродом, неподвижный электрод выполнен с токопроводящим покрытием как минимум на поверхности электрода, обращенной к мембране, отличающийся тем, что неподвижный электрод выполнен на основе плавленого кварца.

2. Емкостный преобразователь давления по п.1, отличающийся тем, что токопроводящее покрытие выполнено в виде металлического зеркала.

3. Емкостный преобразователь давления по п.2, отличающийся тем, что токопроводящее покрытие выполнено напылением.

4. Емкостный преобразователь давления по п.2, отличающийся тем, что в составе металла зеркала присутствует хром.

5. Емкостный преобразователь давления по п.2, отличающийся тем, что в составе металла зеркала присутствует никель.